固体激光装置、光纤放大器系统和固体激光系统制造方法及图纸

本公开提供一种固体激光装置，其可以具备：第一振荡器，射出种子光；激光束生成部，射出基于种子光生成的脉冲激光束；以及多级光纤放大器，串联配置在脉冲激光束的光路上，并且包含末级光纤放大器，该末级光纤放大器含有掺铒镱石英光纤。将石英光纤的截面积除以光纤长度所得的值可以为大于等于0.7nm且小于等于1.64nm。

Solid state laser device, optical fiber amplifier system and solid laser system

The present invention provides a solid laser device, which can be provided with a first oscillator, a laser beam emitted light seed; generating unit, injection seed pulse laser beam generated by light based; and multi-stage fiber amplifier series configuration in the optical path of laser beam, and contains the last stage of the final optical fiber amplifier, erbium-doped fiber amplifier with ytterbium doped silica fiber. The value of the cross sectional area of the quartz fiber divided by the length of the fiber may be greater than or equal to 0.7nm and less than or equal to 1.64nm.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】固体激光装置、光纤放大器系统和固体激光系统
本公开涉及一种生成脉冲激光束的固体激光装置、光纤放大器系统和固体激光系统。
技术介绍
随着半导体集成电路的微细化、高集成化，在半导体曝光装置中，对分辨力提出了更高的要求(在下文中，将半导体曝光装置仅称为“曝光装置”)。因此，正在推进从曝光用光源输出的光的短波长化。在曝光用光源中，使用气体激光装置来代替以往的水银灯。现在，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长为248nm的紫外线的KrF准分子激光装置、以及输出波长为193nm的紫外线的ArF准分子激光装置。作为现在的曝光技术，如下的液浸曝光已被投入实际使用：通过将曝光装置侧的投影透镜与晶片之间的间隙用液体充满，来改变该间隙的折射率，从而使曝光用光源的外观波长短波长化。在将ArF准分子激光装置作为曝光用光源使用、且进行液浸曝光的情况下，对晶片照射在水中的波长为134nm的紫外光。该技术称为ArF液浸曝光。ArF液浸曝光也被称为ArF液浸光刻。因为KrF、ArF准分子激光装置的自然振荡的光谱线宽度约为350～400pm、比较宽，所以由曝光装置侧的投影透镜缩小投影在晶片上的激光束(紫外线光)产生色本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固体激光装置，具备：第一振荡器，射出种子光；激光束生成部，射出基于所述种子光生成的脉冲激光束；以及多级光纤放大器，串联配置在所述脉冲激光束的光路上，并且包含末级光纤放大器，所述末级光纤放大器含有掺铒镱石英光纤，将所述石英光纤的截面积除以光纤长度所得的值为大于等于0.7nm且小于等于1.64nm。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种固体激光装置，具备：第一振荡器，射出种子光；激光束生成部，射出基于所述种子光生成的脉冲激光束；以及多级光纤放大器，串联配置在所述脉冲激光束的光路上，并且包含末级光纤放大器，所述末级光纤放大器含有掺铒镱石英光纤，将所述石英光纤的截面积除以光纤长度所得的值为大于等于0.7nm且小于等于1.64nm。2.根据权利要求1所述的固体激光装置，其中，所述多级光纤放大器是3级光纤放大器。3.根据权利要求1所述的固体激光装置，其中，所述石英光纤的光纤直径为约25μm，所述石英光纤的光纤长度为大于等于0.3m且小于等于0.7m。4.根据权利要求1所述的固体激光装置，其中，进一步具备控制部，所述控制部控制所述激光束生成部，以使从所述末级光纤放大器输出的脉冲激光束的脉冲宽度为大于等于1nsec且小于等于30nsec。5.根据权利要求1所述的固体激光装置，其中，进一步具备：第二振荡器，射出波长不同于所述脉冲激光束的波长的泵浦光，第一光学元件，配置在所述脉冲激光束的光路上，并且将所述泵浦光导入所述石英光纤，以及第二光学元件，配置在所述脉冲激光束的光路上，并且将所述泵浦光导入所述脉冲激光束的光路外。6.根据权利要求5所述的固体激光装置，其中，所述第一光学元件配置在所述脉冲激光束的光路上的所述第二光学元件的上游。7.根据权利要求5所述的固体激光装置，其中，所述第一光学元件配置在所述脉冲激光束的光路上的所述第二光学元件的下游。8.根据权利要求5所述的固体激光装置，其中，所述第一光学元件包含分色镜，所述分色镜以反射面的法线方向与所述脉冲激光束的光路方向不同的方式配置。9.根据权利要求5所述的固体激光装置，其中，所述第一光学元件包含泵浦合束器。10.根据权利要求5所述的固体激光装置，其中，所述第二光学元件包含分色镜，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵智刚，小林洋平，伊藤绅二，若林理，
申请(专利权)人：国立大学法人东京大学，极光先进雷射株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP