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该激光装置可以具有：振荡器，其包括第1激光腔室、光谐振器和配置在第1激光腔室中的第1放电电极对，该振荡器输出激光；第1放大器，其包括配置在从振荡器输出的激光的光路上的第2激光腔室、和以第1间隙间隔配置于第2激光腔室中的第2放电电极对，该第1...
该专利属于极光先进雷射株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过极光先进雷射株式会社授权不得商用。

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