炉管清洗机密封机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种炉管清洗机密封机构，用以清洗石英炉管，炉管清洗机密封机构包括炉管清洗机构以及密封机构。炉管清洗机构具有清洗槽，清洗槽用以放置密封机构。密封机构具有一固定装置、炉管夹紧气缸、高度调节钮、陶瓷轴承、炉管活动密封盖、炉管驱动轴以及炉管驱动滚轮。炉管清洗机密封机构一端为固定装置，通过高度调节钮调节固定装置的高度，从而可以清洗不同尺寸的石英炉管，提高炉管清洗机密封机构的利用率；通过气缸增压，使得炉管活动密封盖密封炉管；密封机构的另一端为清洗药剂进出口，HF酸可以不断循环；密封机构的底部装有炉管驱动轴及炉管驱动滚轮，将炉管放置在驱动滚轴上，转动炉管驱动滚轴，使炉管随滚轴一起转动，从而炉管内部清洗，达到不断循环清洗的效果，提高清洗效率，减少炉管壁厚的损失，延长炉管的寿命。

Sealing mechanism of furnace tube cleaning machine

The utility model provides a sealing mechanism for a furnace tube cleaning machine, which is used for cleaning a quartz furnace tube, and the sealing mechanism of a furnace tube cleaning machine comprises a furnace tube cleaning mechanism and a sealing mechanism. The cleaning mechanism of the furnace tube has a cleaning groove, and the cleaning tank is used for placing a sealing mechanism. The sealing mechanism has a fixing device, a furnace tube, a clamping cylinder, a height adjusting button, a ceramic bearing, a furnace tube, a movable sealing cover, a furnace tube driving shaft, and a furnace tube driving roller. Furnace tube cleaning machine sealing mechanism is fixed through the device, a height adjusting button adjusting device for fixing the height of which can be cleaned with different sizes of quartz furnace tube, improve the sealing mechanism of furnace tube cleaning machine; through the cylinder pressure, the furnace tube movable sealing cover sealing tube; the other end of the sealing mechanism for cleaning agent import and export, HF acid can continuously cycle; the sealing mechanism is arranged at the bottom of the furnace tube and the drive shaft tube driving roller, the furnace tube was placed in the drive roller, rotary furnace tube driving roller, the roller rotates with the furnace tube, and furnace tube internal cleaning, achieve continuous circulation cleaning effect, improve cleaning efficiency, reducing furnace tube wall thickness loss, prolong the life of furnace tube.

【技术实现步骤摘要】
炉管清洗机密封机构
本技术与半导体工艺装置有关；具体涉及一种用于清洗石英炉管的炉管清洗机密封机构。
技术介绍
半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。半导体行业隶属电子信息产业，属于硬件产业，以半导体为基础而发展起来的一个产业，信息时代的基础。近期，全球半导体龙头企业纷纷表示，将继续加大在中国的投资和合作，与以往不同的是，人力成本和融资成本已经不再是合作最大的看点，更多的涉及龙头企业的最先进技术。在政策扶持、资金和国外技术转移的多重驱动下，国内半导体产业有望通过技术合作和并购实现快速崛起。在现今竞争激烈的半导体行业中，如何延长生产产品治具的寿命和提高工作效率，以降低生产过程中所产生的异常损失，是各家厂商所追求的目标之一。在各种半导体生产过程中，化学气相沉积设备的颗粒污染问题时关注的重点之一，这是由其的工作原理决定的。化学气相沉积设备通常会用于形成常用的氧化硅、氮化硅等薄膜，沉积时，向反应室内混合并发生反本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种炉管清洗机密封机构，用以清洗石英炉管，所述炉管清洗机密封机构包括：一炉管清洗机构，具有一清洗槽；一密封转动机构，具有一固定装置、炉管夹紧气缸、陶瓷轴承、高度调节钮、炉管活动密封盖、炉管驱动滚轴以及炉管驱动滚轮；其特征在于，所述密封转动机构设置于所述炉管清洗机构内，所述密封转动机构一端具有一固定装置，所述固定装置上具有高度调节钮，通过调节两侧高度调节使得两侧密封盖与炉管同心；所述炉管夹紧气缸连接并夹紧炉管活动密封盖；所述炉管活动密封盖密封炉管；所述炉管放置在炉管驱动滚轴上方；所述炉管驱动滚轴连接炉管驱动滚轮。

【技术特征摘要】
1.一种炉管清洗机密封机构，用以清洗石英炉管，所述炉管清洗机密封机构包括：一炉管清洗机构，具有一清洗槽；一密封转动机构，具有一固定装置、炉管夹紧气缸、陶瓷轴承、高度调节钮、炉管活动密封盖、炉管驱动滚轴以及炉管驱动滚轮；其特征在于，所述密封转动机构设置于所述炉管清洗机构内，所述密封转动机构一端具有一固定装置，所述固定装置上具有高度调节钮，通过调节两侧高度调节使得两侧密封盖与炉管同心；所述炉管夹紧气缸连接并夹紧炉管活动密封盖；所述炉管活动密封盖密封炉管；所述炉管放置在炉管驱动滚轴上方；所述炉管驱动滚轴连接炉管驱动滚轮。2.如权利要求1所述的炉管清洗机密封机构，其特征在于，所述炉管清洗机构与密封旋转机构形成清洗槽，清洗槽底部放置炉管驱动滚轮及炉管驱动滚轴；炉管清洗机构具有一清洗槽，放置密封转动机构。3.如权利要求1所述的炉管清洗机密封机构，其特征在于，所述清洗槽底部具...

【专利技术属性】
技术研发人员：李汉生，王尚森，吕亚明，黄建光，徐新华，
申请(专利权)人：昆山中辰矽晶有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32