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本实用新型提供一种炉管清洗机密封机构，用以清洗石英炉管，炉管清洗机密封机构包括炉管清洗机构以及密封机构。炉管清洗机构具有清洗槽，清洗槽用以放置密封机构。密封机构具有一固定装置、炉管夹紧气缸、高度调节钮、陶瓷轴承、炉管活动密封盖、炉管驱动轴以...
该专利属于昆山中辰矽晶有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山中辰矽晶有限公司授权不得商用。

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