洁净室的表面粒子检测用测试膜制造技术

本发明专利技术涉及通过对因表面粒子而引起的洁净室的受污染程度进行测定来用于防止产品不良的洁净室的表面粒子检测用测试膜，本发明专利技术提供如下的洁净室的表面粒子检测用测试膜，即，所述洁净室的表面粒子检测用测试膜包括：基板，具有规定厚度，且由透明的合成树脂材质形成；第一粘结层，形成于所述基板的一侧，用于收集表面粒子；离型膜，附着于所述第一粘结层，当收集表面粒子时，从所述第一粘结层分离；第二粘结层，形成于所述基板的另一侧；以及保护膜，附着于所述第二粘结层来保护所述基板，标有刻度。根据本发明专利技术，在涂敷有粘结剂的基板的粘结层的涂敷面收集附着于被测定物的表面粒子之后，通过肉眼或利用放大镜、显微镜等机构测定表面粒子的数量、大小、分布等，由此具有可方便快捷地确认洁净室是否受到污染的效果。

Test film for surface particle inspection in clean room

The present invention relates to test for determination of membrane surface particles in clean room to prevent bad product detection based on the clean room caused by surface particle pollution degree, the surface of particles of the invention provide clean room as detected by the test membrane, i.e., including the use of the test film on the surface of particles of the clean room detection a board having a prescribed thickness, and forming a transparent synthetic resin material; a first adhesive layer, is formed on the substrate surface, for collecting particles; from the film, attached to the first adhesive layer, when the particle collecting surface when separated from the first bonding layer; the bonding layer on the other second. One side is formed on the substrate; and a protective film, attached to the second adhesive layer to protect the substrate, with the scale. According to the invention, coating surface adhesive layer of adhesive coated substrate in the collection is attached to the surface of particle material to be measured, by using the naked eye or magnifying glass, microscope and other institutions for determination of surface particle number, size and distribution, which is convenient to confirm whether the effect of cleanroom contamination.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及洁净室的表面粒子检测用测试膜，更加详细地，涉及通过对因表面粒子而引起的洁净室的受污染程度进行测定来用于防止产品不良的洁净室的表面粒子检测用测试膜。
技术介绍
一般情况下，随着产业的高度发展，除了办公环境之外，在生产现场中，也会增加控制灰尘等粒子(particle)的必要性，为了使生产现场始终维持清洁的状态，以防止粒子对产品产生的不良影响，从而导入了洁净室(cleanroom)。这种洁净室为如下的空间，即，通过将空气悬浮粒子的浓度控制为指定的清洁度水平界限之内来控制污染，并且根据需要，对温度、湿度、室内压、光照度、噪声、振动等环境的营造方面进行控制及管理，目前，所述洁净室被导入于半导体、液晶(LCD)显示器、航空、制药、医院及食品等多种产业领域，并且正处于运营当中。尤其，在半导体制造工序、液晶显示器制造工序等包括纳米级高精密工序的尖端产业中，就连产品制造现场的微小环境条件也可能对产品的质量产生很大的影响，因而实际情况为逐渐加强对洁净室的清洁度的要求。例如，在半导体制造工序中，由于从自动化装置等发生振荡的粒子沉积于晶片表面，从而被指出所产生的图案缺陷成为产品收率下降的主要原因。像这样，在产品制造现场内存在粒子的情况下，由于在制造工序中粒子转移到产品中，从而这可能成为引起产品不良的致命原因，这种多个粒子累积于产品制造现场的顶棚、壁面、地面、生产设备、计测设备以及各种用具等，而且还附着于工作人员的衣服表面，由于随着机器人、工作人员、产品的移动及空间温度的不均衡而引起气流的移动，从而使累积于工作人员、物体或相邻部分表面的多个表面粒子转移到产品上并污染产品，由此导致产品的不良。一般情况下，会利用借助滤纸或过滤器来收集悬浮于空气中的多个粒子的方法，但由于洁净室内的所述多个粒子的直径大致非常小，因而也可能存在无法用肉眼识别的情况，从而为了对内部的污染物质的粒子进行测定而使用额外的粒子测定仪，并利用这种粒子测定仪来实时对设备内的特定腔室的粒子的分布状态进行测定。作为具体的现有技术，在韩国授权专利公报第10-0567789号(2006年04月05日公开)中公开了如下的粒子测定装置，即，所述粒子测定装置包括：粒子带电单元，用于使粒子带电；内部导管，用于导入净化空气；电极，向长度方向设置于所述内部导管；多个粒子分离装置，位于内部导管的外侧，所述多个粒子分离装置的长度长于内部导管的长度，在所述多个粒子分离装置与内部导管之间流入被粒子带电单元所带电的多个粒子，下流设置有具有粒子回收部的外部导管；供电单元，向多个粒子分离装置供给不同电源，以在各个电极形成电压差；以及多个粒子计数单元，用于对由粒子分离装置回收的多个粒子的数量进行测定。并且，作为另一现有技术，在韩国授权专利公报第10-1264075(2013年05月13日公开)中公开了如下的光学粒子测定装置，即，所述光学粒子测定装置的特征在于，包括：测定腔室，包括吸入口和排出口，所述吸入口用于使空气被吸入于测定空间的内部，所述排出口用于使经过测定空间内部的空气排出；多个光源部，用于分别向测定腔室的测定空间的内部照射不同波长的光；多个感光部，对分别从多个光源部照射，并被包含于经过测定空间内部的空气中的粒子所散射的光进行感测，从而产生基于光量的电信号；除光部，用于对分别从多个光源部照射的光中的未被粒子所散射的光进行去除；多个运算部，通过由多个感光部分别检测的电信号的大小和频率来计算粒子的大小分布和不同大小粒子的数量及浓度；以及多个镜子，在测定腔室的内部逐个配置于多个感光部中的各个感光部的对面，用于向相对应的感光部反射被散射的光，多个镜子以使被多个镜子所反射的光互不重叠的方式配置，多个光源部同时向测定空间内部照射不同波长的光。但是，为了测定粒子，所述现有技术需要额外购买高价的粒子测定装置，因而存在不仅消耗高额费用，设备应用复杂，检查时消耗很多时间，而且因设备大而占规定空间的问题。并且，所述现有技术的多个粒子测定装置虽然可以对洁净室的所有粒子的数量、大小或分布等进行测定，但难以确认所收集的试样，并且难以对所收集的高额费用多个粒子从何种被测定物发生以及大量流入的被测定物流向何处等进行判断，因而存在很难基于洁净室中的多个粒子来控制污染的问题。并且，还存在如下方法，即，在用干净的水清洗被测定物的表面之后，借助液体中的粒子计数器对所述洗涤水进行计数并检查，但由于用水进行清洗后实施检查，因而存在难以对溶解于水中并被液体化的粒子进行检测的问题。
技术实现思路
技术问题本专利技术为了解决所述全部问题而提出，本专利技术的目的在于，提供如下的洁净室的表面粒子检测用测试膜，即，在涂敷有粘结剂的基板的粘结层涂敷面收集附着于被测定物的表面粒子之后，通过肉眼或利用放大镜、显微镜等机构测定表面粒子的数量、大小、分布等，从而可方便快捷地确认洁净室是否受到污染。解决问题的方案为了解决所述问题，本专利技术提供如下的洁净室的表面粒子检测用测试膜，即，所述洁净室的表面粒子检测用测试膜包括：基板，具有规定厚度，且由透明的合成树脂材质而形成；第一粘结层，形成于所述基板的一侧，用于收集表面粒子；离型膜，附着于所述第一粘结层，当收集表面粒子时，从所述第一粘结层分离；第二粘结层，形成于所述基板的另一侧；以及保护膜，附着于所述第二粘结层来保护所述基板，标有刻度。在此情况下，本专利技术的特征在于，所述基板由硬质合成树脂而形成。而且，本专利技术的特征在于，所述基板由选自聚碳酸酯(PC)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚乙烯(PE)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)及聚苯乙烯(PS)中的一种而形成。不仅如此，本专利技术的特征在于，所述基板包括：本体部；把持部，形成于所述本体部的一端部；以及切开部，形成于所述本体部与所述把持部之间，在把持所述把持部的状态下，可容易地分离所述离型膜。并且，本专利技术的特征在于，在所述离型膜被分离的状态下以附着于所述第一粘结层的方式收集表面粒子之后，使被分离的所述离型膜重新附着于所述第一粘结层。其中，本专利技术的特征在于，可通过对因被收集的表面粒子而产生于所述离型膜的气泡的数量进行计数或观察气泡的大小来判断是否受到污染。与此同时，本专利技术的特征在于，所述保护膜以可装拆的方式附着于所述第二粘结层，从而能够以分离所述保护膜或在所述第二粘结层附着其他保护膜的方式使用。并且，本专利技术的特征在于，在所述保护膜上附着具有颜色的彩色膜。专利技术的效果根据本专利技术，具有如下效果：在涂敷有粘结剂的基板的粘结层的涂敷面收集附着于被测定物的表面粒子之后，通过肉眼或利用放大镜、显微镜等机构测定表面粒子的数量、大小、分布等，从而可方便快捷地确认洁净室是否受到污染。并且，本专利技术具有如下效果：容易对所收集的试样进行确认，可以对所收集的多个表面粒子为从何种被测定物检测出的粒子进行判断，通过对从特定被测定物收集的表面粒子的数量和分布等进行测定来检测出表面粒子大量流入的位置，从而可通过在洁净室适当地对多个表面粒子的污染进行控制来维持超净化洁净室状态。并且，本专利技术具有如下效果：基板由不易弯曲的材质形成，因而当利用显微镜进行检查时，可以准确地进行测定，由于离型膜以可装拆的方式附着于粘结层，因而在通常情况下，可从并非为测定对象的粒子中保护粘结层的涂敷面，当收集粒子时，通过分离离型膜来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种洁净室的表面粒子检测用测试膜，用于检测存在于洁净室的表面粒子，其特征在于，包括：基板，具有规定厚度，且由透明的合成树脂材质而形成；第一粘结层，形成于所述基板的一侧，用于收集表面粒子；离型膜，附着于所述第一粘结层，当收集表面粒子时，从所述第一粘结层分离；第二粘结层，形成于所述基板的另一侧；以及保护膜，附着于所述第二粘结层来保护所述基板，标有刻度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.22 KR 10-2014-01435641.一种洁净室的表面粒子检测用测试膜，用于检测存在于洁净室的表面粒子，其特征在于，包括：基板，具有规定厚度，且由透明的合成树脂材质而形成；第一粘结层，形成于所述基板的一侧，用于收集表面粒子；离型膜，附着于所述第一粘结层，当收集表面粒子时，从所述第一粘结层分离；第二粘结层，形成于所述基板的另一侧；以及保护膜，附着于所述第二粘结层来保护所述基板，标有刻度。2.根据权利要求1所述的洁净室的表面粒子检测用测试膜，其特征在于，所述基板由硬质合成树脂而形成。3.根据权利要求2所述的洁净室的表面粒子检测用测试膜，其特征在于，所述基板由选自聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯、聚对苯二甲酸乙二酯及聚苯乙烯中的一种而形成。4.根据权利要求1所述的洁净室的表面粒子检测用测试膜，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：金镇浩，
申请(专利权)人：杰德克思股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR