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本发明涉及通过对因表面粒子而引起的洁净室的受污染程度进行测定来用于防止产品不良的洁净室的表面粒子检测用测试膜，本发明提供如下的洁净室的表面粒子检测用测试膜，即，所述洁净室的表面粒子检测用测试膜包括：基板，具有规定厚度，且由透明的合成树脂材质...
该专利属于杰德克思股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杰德克思股份有限公司授权不得商用。

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