The invention discloses an objective lens used for a large area flat projection lithography machine of a I line, which adopts a dual telecentric and 28 piece 4 group symmetrical structure, wherein 2 low order aspheric surfaces are used. The design of the image field can reach 132 * 132mm, numerical apertures can increase to 0.17 decline to make up for domestic optical processing caused by resolution, can significantly improve the domestic large area plate lithography imaging quality and production efficiency.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术设计一种i线大面积平板投影光刻机的物镜设计,属于微纳加工设备中的光学系统设计领域。
技术介绍
目前,几乎所有的新一代显示设备都采用液晶平板(LCD、LED)作为显像设备,市场前景十分广阔。但国产大面积液晶平板制造设备几乎处于空白状态,所有成熟生产线都十分依赖进口设备。所以基于i线的大面积平板投影光刻机是液晶平板生产线国产化需要攻克的核心设备之一。国内现有大面积平板光刻机主要存在图像传输能力差和生产效率低两个问题。而造成这两个问题的主要原因就是国内缺乏一款大视场、高数值孔径的光刻投影物镜。日本早期专利JP2000199850A公布了一种用于i线大面积平板光刻机的投影物镜设计。该物镜的数值孔径NA约为0.1,有效视场83.2×83.2mm,放大倍率约为M=-1.67×。整套光学系统根据使用场合不同镜片数在36~40枚之间浮动,其中采用了一个低阶非球面来矫正波像差。由于数值孔径较低且非球面数只有一个,这款物镜的分辨率不会太高。根据公式可知,即使工艺因子降低到0.5,物镜实际能达到的分辨率也不会低于2um。但整个物镜拥有超过36枚镜片,这样依然可以将场曲控制在5um以内,畸变控制在-2.5×10-4%到2.5×10-4%之间。由于上述投影物镜包含镜片数过多,导致其光学透过率较低,对于新一代的大面积平板光刻机来说并不是好的选择。日本随后公布的专利JP2007079015A中提出一款超高数值孔径的大面积平板 ...
【技术保护点】
一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜,其特征是从入射方向开始依次设置有第一透镜组编号G1,镜片编号L1~L6,共6枚镜片; 第二透镜组编号G2,镜片编号L7~L13,共7枚镜片、光栏(STOP),其中第4枚镜片朝向像方的入射面为一个14阶非球面; 第三透镜组编号G3,镜片编号L14~L21,共8枚镜片; 以及第四透镜组编号G4,镜片编号L22~L28,共7枚镜片,其中第1枚镜片朝向物方的入射面为一个14阶非球面;四个透镜组总共28枚镜片关于光栏对称构成一个双远心光路,其中有2个面采用了低阶非球面(14阶)以平衡像差。
【技术特征摘要】
1.一种用于i线大面积平板投影光刻机的物镜,其特征是从入射方向开始依次设置有第一透镜组编号G1,镜片编号L1~L6,共6枚镜片;
第二透镜组编号G2,镜片编号L7~L13,共7枚镜片、光栏(STOP),其中第4枚镜片朝向像方的入射面为一个14阶非球面;
第三透镜组编号G3,镜片编号L14~L21,共8枚镜片;
以及第四透镜组编号G4,镜片编号L22~L28,共7枚镜片,其中第1枚镜片朝向物方的入射面为一个14阶非球面;四个透镜组总共28枚镜片关于光栏对称构成一个双远心光路,其中有2个面采用了低阶非球面(14阶)以平衡像差。
2.根据权利要求1所述的用于i线大面积平板投影光刻机的物镜,其特征是:其光学系统共轭距小于1500mm,物方工作距80mm,像方工作距大于100mm,工作波长为365nm。
3.根据权利要求1所述的用于i线大面积平板投影光刻机的物镜,其特征是:其光...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘俊伯,赵立新,陈铭勇,朱咸昌,胡松,何渝,陈昌龙,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:四川;51
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