An aperture coupled lateral asymmetric half cavity MIM filter based on the structure, including the metal film and the air layer on the metal film are etched on the waveguide, the non symmetric semicircular cavity on both sides of the etching waveguide, the semicircular cavity through the channel and the waveguide, the waveguide, semicircular cavity and channel filled with air to form air layer. The present invention proposes a MIM filter with transverse asymmetrical semicircular cavity based on aperture coupling for the first time. In the same radius, the semicircular cavity structure can be reduced by half of the structure size compared to the disk or torus structure. The integration density of micro nano integrated optical devices in integrated optical circuits can be greatly improved by reducing the structure size. Secondly, the aperture coupling based transverse asymmetric distributed semicircle cavity structure can improve the coupling efficiency and broaden the bandwidth of the filter. Finally, it has the characteristics of compact structure, small size and easy fabrication of the device.
【技术实现步骤摘要】
一种基于口径耦合的横向非对称半圆腔MIM结构滤波器
本专利技术涉及微纳集成光学器件
,具体是指利用口径耦合的方法构造的一种表面等离激元横向非对称半圆腔MIM(Metal-Insulator-Metal,金属-介质-金属)结构滤波器。
技术介绍
表面等离激元波(SPPs,SurfacePlasmonpolaritons)是一种沿着金属介质表面传播的电磁表面波,在垂直于界面方向以指数形式衰减。SPPs具有良好的局域特性,并能突破传统光学中的衍射极限,从而实现亚波长光学器件的集成。SPPs的多层系统中有两种最典型的三层结构是IMI和MIM。相比于IMI结构,MIM结构拥有更小的模式尺寸,可以将传播长度限制在微米量级(如JournalofPhysicsDAppliedPhysics,2010,43(38):385102-385109(8).)。因此,MIM型结构的SPPs传输可用于光学器件构造中,这有助于实现超密集的集成光电路。目前,基于MIM结构SPPs的光学功能器件已经在理论和实验研究方面取得了突破,其中滤波器技术在微纳集成光学器件发展中至关重要。基于MIM结构SPPs滤波器常见的耦合方式主要有直接耦合、边界耦合、口径耦合三种。直接耦合对应的滤波器一般为带通滤波器(如OpticsExpress,2009,17(26):24096-101,OpticsExpress,2011,19(4):3513-8.和Plasmonics,2015,10(1):139-144.);边界耦合对应的滤波器一般为带阻滤波器(如JournalofModernOptics,201 ...
【技术保护点】
一种基于口径耦合的横向非对称半圆腔MIM结构滤波器,包括金属膜和空气层,其特征在于:在金属膜(1)上刻蚀有波导管(2),在该波导管(2)两侧非对称刻蚀半圆腔(3),该半圆腔(3)通过通道(4)和波导管(2)贯通,在波导管(2)、半圆腔(3)和通道(4)中填充空气形成空气层。
【技术特征摘要】
1.一种基于口径耦合的横向非对称半圆腔MIM结构滤波器,包括金属膜和空气层,其特征在于:在金属膜(1)上刻蚀有波导管(2),在该波导管(2)两侧非对称刻蚀半圆腔(3),该半圆腔(3)通过通道(4)和波导管(2)贯通,在波导管(2)、半圆腔(3)和通道(4)中填充空气形成空气层。2.根据权利要求1所述的一种基于口径耦合的横向非对称半圆腔MIM结构滤波器,其特征在于:所述半圆腔(3)的半径r为50nm~100nm,通道(4)口径A为35nm~50nm,半圆腔(3)中心之间的距离为D为150nm~250nm。3.根据权利要求2所述的一种基于口径耦合...
【专利技术属性】
技术研发人员:张冠茂,王志爽,乔利涛,刘海瑞,
申请(专利权)人:兰州大学,
类型:发明
国别省市:甘肃,62
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