电子显微镜制造技术

一种电子显微镜，包含：带电粒子束产生器、检测器、薄膜以及承载单元。带电粒子束产生器是用以产生第一带电粒子束以轰击待测物。检测器是用以检测来自待测物的第二带电粒子以形成影像。薄膜是设置于带电粒子束产生器的下游侧，且具有第一表面以及第二表面，其中带电粒子束产生器及薄膜的第一表面之间为真空环境。承载单元是设置于薄膜的第二表面侧，且具有承载表面以及背面，其中待测物设置于承载单元的承载表面，使待测物的待测表面与薄膜的距离小于预定间距，且待测表面与薄膜之间具有液体空间，以充填液体。

【技术实现步骤摘要】
电子显微镜
本专利技术是有关一种电子显微镜，特别是有关于一种检测液体或浸润于液体的待测物的电子显微镜。
技术介绍
在目前的半导体工艺，例如洗涤、光刻胶移除、电镀、刻蚀、研磨等需使用液体的工艺中，通常需待整个工艺结束后方能得知工艺结果，若能于工艺期间即时检测液料本身的劣化程度或液料与待反应物的作用是否成功，则应可更加精准的控制工艺过程，提高良品率。然而，传统的带电粒子束分析设备需处于真空环境下，对于液体或是含水样品的观测具有一定的限制，亦无法解析浸润于液体环境的基材。而光学检测虽然不受限于真空环境的要求，但受限于光学波长，解析度不易下降至100nm以下，即便使用动态散射光等非直接影像式分析，亦无法达到20nm以下的解析度，因此无法满足半导体产业所需要的原物料检验的需求。承上所述，若能发展可分析液体中悬浮颗粒与浸润液体环境基材且解析度良好的工艺检验方法，应可达到提升制造效率的效果。
技术实现思路
本专利技术提供一种电子显微镜，包含：带电粒子束产生器，其用以产生第一带电粒子束以轰击待测物；检测器，其用以检测来自该待测物的第二带电粒子以形成影像；薄膜，其设置于带电粒子束产生器的下游侧，且具有第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子显微镜，其特征在于，包含：一带电粒子束产生器，其用以产生一第一带电粒子束以轰击一待测物；一检测器，其用以检测来自该待测物的一第二带电粒子以形成一影像；一薄膜，其设置于该带电粒子束产生器的一下游侧，且具有一第一表面以及一第二表面，其中该带电粒子束产生器以及该薄膜的该第一表面之间为一真空环境；以及一承载单元，其设置于该薄膜的该第二表面侧，且具有一承载表面以及一背面，其中该待测物设置于该承载单元的该承载表面，使该待测物的一待测表面与该薄膜的距离小于一预定间距，且该待测表面与该薄膜之间具有一液体空间，以充填一液体。

【技术特征摘要】
2016.03.14 TW 1051078241.一种电子显微镜，其特征在于，包含：一带电粒子束产生器，其用以产生一第一带电粒子束以轰击一待测物；一检测器，其用以检测来自该待测物的一第二带电粒子以形成一影像；一薄膜，其设置于该带电粒子束产生器的一下游侧，且具有一第一表面以及一第二表面，其中该带电粒子束产生器以及该薄膜的该第一表面之间为一真空环境；以及一承载单元，其设置于该薄膜的该第二表面侧，且具有一承载表面以及一背面，其中该待测物设置于该承载单元的该承载表面，使该待测物的一待测表面与该薄膜的距离小于一预定间距，且该待测表面与该薄膜之间具有一液体空间，以充填一液体。2.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该薄膜以及该承载单元以可分离的方式连接，并形成一密闭容器。3.如权利要求2所述的电子显微镜，其特征在于，该薄膜以及该承载单元彼此螺合连接，以形成该密闭容器。4.如权利要求2所述的电子显微镜，其特征在于，该承载单元与一推杆连接，且该推杆推动该承载单元相对于该薄膜移动。5.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该薄膜以及该承载单元彼此相对移动，以调整该薄膜以及该承载单元间的距离。6.如权利要求1所述的电子显微镜，其特征在于，该薄膜以及该带电粒子束产生器连接，以形成该真空环境。7.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈福荣，黄祖纬，刘铈谊，陈宜君，陈志玮，曾英硕，黄钰珊，林信余，方建闵，徐金良，杨丽巧，
申请(专利权)人：台湾电镜仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71