显微镜的检测治具及包含其的显微镜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种显微镜的检测治具及包含其的显微镜装置。显微镜的检测治具包含致动模组及动力源。致动模组包含：致动件，用以接触待测物的表面以及驱使待测物相对于待测物的几何中心轴方向进行自体旋转运动；及承载件，其上设置有致动件动力源与致动件相互连接以驱动致动件转动。本实用新型专利技术的显微镜的检测治具可用于具有立体结构的待测物进行显微镜检测。

【技术实现步骤摘要】
显微镜的检测治具及包含其的显微镜装置
本技术是有关一种显微镜的检测治具，特别是一种可用于检测具有立体结构的待测物的检测治具和及包括其的显微镜装置。
技术介绍
一般来说，不论是在光学显微镜或是电子显微镜的检测过程中，为了使光束或带电粒子束穿透待测物以进行检测，常使用切割或辗磨等方法将待测样品制备为薄切片。然而，随着科技发展以及制程的演进，待检测物的种类及检测目的越趋广泛，可包含，例如：零组件完成品的整体结构、或超高精度陶瓷的细部结构等。在此情况下，若将待测样品制备为薄切片必然会造成样品的破坏与损毁，且由于待测物具有立体结构，故检测目标就不仅局限于二维平面。因此，有必要开发可适用于检测立体结构的显微镜检测治具。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种显微镜的检测治具及包含该检测治具的显微镜装置，其中，一种显微镜的检测治具，其可固定并旋转待测物，以供显微镜针对具有立体结构的待测物进行检测。本技术一实施例的显微镜的检测治具包含：一致动模组，致动模组包含：致动件，用以接触一待测物的表面以及驱使待测物相对于待测物的几何中心轴方向进行自体旋转运动；及承载件，其上设置有致动件；以及一动力源，与致动件相互连接以驱动致动件转动。较佳地，致动件可包含一第一滚轮元件，其设置于待测物下并与待测物的一外表面直接接触、承载待测物以及带动待测物进行自体旋转运动；一支撑件，其相对于第一滚轮元件而设置于该待测物下并抵靠所述待测物的表面以支撑待测物。较佳地，致动件可包含一对第二滚轮元件，成对的第二滚轮元件分别设置于待测物下、与待测物的一外表面直接接触以及带动待测物进行自体旋转运动。较佳地，致动件可包含卷带，其绕设于待测物上以与待测物的一外表面接触，并且卷带带动待测物进行自体旋转运动。较佳地，致动件与待测物的一外表面直接接触，并透过致动件与待测物的表面之间的摩擦力而驱使待测物进行自体旋转运动。较佳地，本技术的显微镜的检测治具可更包含一辅助元件，其设置于待测物上以施加一外力于待测物上而增加致动件与待测物之间的摩擦力。本技术的显微镜的检测治具可更包含一延伸件，其延伸设置于待测物上，致动件与延伸件直接接触，并透过致动件与延伸件之间的一摩擦力而驱使该待测物进行该自体旋转运动。较佳地，致动件可包含一转轴，其插入待测物中并使待测物进行自体旋转运动。较佳地，本技术的显微镜的检测治具所包含的动力源可透过连接件与致动件相互连接，连接件可包含万向接头、连杆或齿轮组。较佳地，本技术的显微镜的检测治具更包含一限位元件，其设置于待测物上以保持或改变待测物的几何中心轴方向。较佳地，限位元件可为一夹具，其夹持待测物以保持或改变待测物的几何中心轴方向。较佳地，本技术的显微镜的检测治具更包含一限位元件，其插入待测物中以固定或改变待测物的几何中心轴方向。较佳地，承载件可沿着其X轴方向、Y轴方向及Z轴方向的至少其中的一方向移动。本技术的另一实施例提供一种显微镜装置，其包含：一发射组件，发射组件包含一发射源及一透镜组件；一检测治具，其包含：一致动模组，其包含致动件及承载该致动件的承载件，致动件接触待测物的表面并驱使待测物相对于待测物的几何中心轴方向进行自体旋转运动；及一动力源，与致动件相互连接以驱动致动件运动；其中，发射源发射一能量源，透镜组件将能量源导向待测物。本技术的再一实施例提供一种显微镜装置，其包含：一发射组件，发射组件包含一发射源及一透镜组件；一检测治具，其包含：一致动模组，其包含致动件及承载该致动件的承载件，致动件接触待测物的表面并驱使待测物相对于待测物的几何中心轴方向进行自体旋转运动；及一动力源，与致动件相互连接以驱动致动件运动；以及一真空腔体，检测治具设置于其中；其中，发射源发射能量源，透镜组件将能量源导向待测物。与现有技术相比，本技术的优点如下：本技术提供的显微镜的检测治具可用于立体结构的显微镜检测，传统的检测方法是将待测物制备为薄切片，不仅对待测样品造成破坏，且其检测目标也仅局限于平面。而本技术的显微镜的检测治具可在保持待测样品完整结构的情况下进行检测，可用于零组件完成品的良率检测。且本技术的显微镜的检测治具透过致动件或限位元件的驱动，使待测物产生转动或改变与光束/电子束之间的角度，因此可针对待测物外观的每一个面向进行检测，改善传统检测方法无法检测立体结构的缺点。附图说明以下附图仅旨在于对本技术进行示意性说明和解释，并不限定本技术的范围。其中：图1为根据本技术第一实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图2为根据本技术第二实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图3为根据本技术第三实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图4为根据本技术第四实施例的显微镜的检测治具的侧视示意图。图5为根据本技术第五实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图6为根据本技术第六实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图7为根据本技术第七实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图8为根据本技术第八实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图9为根据本技术第九实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图10为根据本技术第十实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图11为根据本技术第十一实施例的显微镜的检测治具的侧视立体示意图。图12为图11的正面示意图。图13为根据本技术包含检测治具的显微镜装置的第一实施例的系统方块示意图。图14为根据本技术包含检测治具的显微镜装置的第二实施例的系统方块示意图。图15为根据本技术一实施例的显微镜装置检测方法示意图。图16为根据本技术另一实施例的显微镜装置检测方法示意图。附图标号说明：10、致动模组；11、待测物；20、动力源；30、延伸件；40、连接件；50、辅助元件；60、61、限位元件；101、致动件；102、承载件；111、第一滚轮元件；112、支撑件；113、第二滚轮元件；114、卷带；115、转轴；A、几何中心轴；B、轴心；C、检测光束或电子束方向；D、间距；E、观察方向；d1、d2、d3、d4、待测点；α、角度；701、发射组件；702、检测治具；703、控制系统；704、信号侦测系统；705、真空系统；706、真空腔体；711、发射源；721、透镜组件。具体实施方式以下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显微镜的检测治具，其特征在于，所述显微镜的检测治具包含：/n一致动模组，其包含：/n一致动件，其接触一待测物的表面以及驱使所述待测物相对于所述待测物的一几何中心轴方向进行一自体旋转运动；及/n一承载件，其上设置有所述致动件；以及/n一动力源，与所述致动件相互连接以驱动所述致动件运动。/n

【技术特征摘要】
20190701 TW 1081230951.一种显微镜的检测治具，其特征在于，所述显微镜的检测治具包含：
一致动模组，其包含：
一致动件，其接触一待测物的表面以及驱使所述待测物相对于所述待测物的一几何中心轴方向进行一自体旋转运动；及
一承载件，其上设置有所述致动件；以及
一动力源，与所述致动件相互连接以驱动所述致动件运动。


2.根据权利要求1所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述致动件包含：
一第一滚轮元件，其与所述待测物的一外表面接触、承载所述待测物以及带动所述待测物进行所述自体旋转运动；以及
一支撑件，其抵靠所述待测物的所述表面以支撑所述待测物；或
一对第二滚轮元件，成对的所述第二滚轮元件分别设置于所述待测物下、与所述待测物的一外表面接触以及带动所述待测物进行所述自体旋转运动；或
一卷带，其绕设于所述待测物上以与所述待测物的一外表面接触，并且所述卷带带动所述待测物进行所述自体旋转运动；或
一转轴，其插入所述待测物中并使所述待测物进行所述自体旋转运动。


3.根据权利要求1所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述致动件与所述待测物的一外表面直接接触，并透过所述致动件与所述待测物的表面之间的一摩擦力而驱使所述待测物进行所述自体旋转运动。


4.根据权利要求3所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述显微镜的检测治具更包含一辅助元件，其设置于所述待测物上以施加一外力于所述待测物上而增加所述致动件与所述待测物之间的所述摩擦力。


5.根据权利要求1所述的显微镜的检测治具，其特征在于，所述显微镜的检测治具更包含一延伸件，其延伸设置于所述待测物上...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢德宇，黄祖纬，
申请(专利权)人：台湾电镜仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71