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一种电子显微镜，包含：带电粒子束产生器、检测器、薄膜以及承载单元。带电粒子束产生器是用以产生第一带电粒子束以轰击待测物。检测器是用以检测来自待测物的第二带电粒子以形成影像。薄膜是设置于带电粒子束产生器的下游侧，且具有第一表面以及第二表面，其...
该专利属于台湾电镜仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾电镜仪器股份有限公司授权不得商用。

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