焊管卡套装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种焊管卡套装置，用于固定、密封、冷却真空封焊的石英管，包括一真空管接头、与真空管接头固定连接的一环形前端、与石英管嵌入连接的一环形后端，所述环形前端与环形后端一体成型，其内部为用于流通冷却介质的一冷却空腔；所述环形前端或环形后端设有至少一冷却介质输入口和至少一冷却介质输出口；所述环形前端与石英管管口的连接处设有一密封凹槽。本实用新型专利技术的焊管卡套装置增大了冷却空腔的空间，增强了冷却效果，同时设置一密封凹槽，只需配合使用一U型剖面的密封圈即可达到原来的两个密封圈的效果。本实用新型专利技术省去了焊管卡套使用时，缠绕湿水巾纸的步骤，节约成本，增强了冷却效果和密封效果，从而提高了焊管效率。

Welding pipe sleeve device

The utility model relates to a pipe clamping device, used for fixing and sealing and cooling vacuum sealing quartz tube, comprising a vacuum pipe joint, a joint ring is fixedly connected with the front end, a rear end ring embedded quartz tube connected with the vacuum tube, forming one of the front and rear annular ring, the interior of which is used for a cooling cavity circulation cooling medium; the annular ring is provided with at least one of the front or rear cooling medium input port and at least one cooling medium output port; at the junction of the annular front end and the quartz tube is provided with a sealing groove. The utility model of the pipe clamping device increases the cooling cavity space, enhance the cooling effect, and is provided with a sealing groove, only with the use of a U type section of the sealing ring can reach two of the original seal effect. The utility model omits the steps of winding the wet water towel paper when used in the use of the welding pipe clamp, saves the cost, enhances the cooling effect and sealing effect, thereby improving the efficiency of the welded pipe.

【技术实现步骤摘要】
焊管卡套装置
本技术涉及一种焊管卡套的装置，具体地涉及一种石英焊管冷却一体化的卡套装置。
技术介绍
半导体行业中，一些高纯材料如碲化镉、砷化镓等的合成要求在真空条件下进行，需对石英管进行抽真空封焊。常用方法是将外径略小于大口径的石英管内径的石英管帽放在石英管口处采用氢氧焰进行辅助封焊。焊接时高温焊接区的温度最高达1700℃以上，持续焊接时间约4min，而高温焊接区距离冷却卡套后端面仅约50mm，如果焊管卡套的冷却效果不好，极易使卡套与石英管之间的两个密封圈过热受损，丧失密封作用。如附图1所示是一种现有焊管卡套装置结构示意图，附图2是图1的左视图。焊管卡套装置的环形前端220与环形后端230为独立连接的两部分，与真空管接头210连接的环形前端220设有冷却腔体240，焊管时，冷却腔体240内部流通有循环冷却介质，因腔体空间太小，致使冷却效果太弱，第一密封圈251和第二密封圈252过热受损，丧失密封效果。常用的补救措施是在卡套装置后端的石英管270上缠绕约2cm厚的湿水巾纸260，以阻隔氢氧焰的高温辐射。但是，湿水巾纸260有时会因高温氢氧焰热辐射而失水，以致于被氢氧焰烧蚀，部分丧失隔热本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种焊管卡套装置，用于固定、密封、冷却真空封焊的石英管，所述焊管卡套装置包括一真空管接头、与真空管接头固定连接的一环形前端、与石英管嵌入连接的一环形后端，其特征在于：所述环形前端与环形后端为一体成型，其内部为用于流通冷却介质的一冷却空腔；所述环形前端或环形后端设有至少一冷却介质输入口和至少一冷却介质输出口；所述环形前端与石英管管口的连接处设有一密封凹槽。

【技术特征摘要】
1.一种焊管卡套装置，用于固定、密封、冷却真空封焊的石英管，所述焊管卡套装置包括一真空管接头、与真空管接头固定连接的一环形前端、与石英管嵌入连接的一环形后端，其特征在于：所述环形前端与环形后端为一体成型，其内部为用于流通冷却介质的一冷却空腔；所述环形前端或环形后端设有至少一冷却介质输入口和至少一冷却介质输出口；所述环形前端与石英管管口的连接处设有一密封凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗爱斌，李勇，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44