一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，包括基座，内圈以及外圈，所述的内圈、外圈共圆心，且内圈与外圈之间均匀连接有三组驱动模块，分别为第一驱动模块，第二驱动模块，第三驱动模块；所述的驱动模块包括压电叠堆，位移放大机构；所述压电叠堆设置在位移放大机构的内部，本实用新型专利技术通过相应的控制，将三组驱动模块运动的相互配合，实现各方向对称的作动范围，且能够实现X轴平动和Y轴平动；通过利用三角放大原理将压电叠堆的输出位移放大，可用小的压电叠堆控制大范围，此机构具有结构简单、运动范围大、高精度等特点，能有应用显微镜的精密定位、光学防抖、精密制造等领域。

A two dimensional parallel precision positioning mechanism driven by three directions piezoelectric actuator

The utility model discloses a three piezoelectric drive mechanism, 2D parallel precision positioning comprises a base, inner and outer ring, the inner ring and the outer ring is the center, and between the inner and outer rings evenly connected with three groups respectively the first drive module, drive module, second drive module, third drive module driver; the module comprises a piezoelectric stack, the displacement amplification mechanism; the piezoelectric stack is arranged in the displacement amplification mechanism, the utility model through the corresponding control, three sets of driving modules cooperate with each other to realize the direction of movement of the actuating range of said, and can realize the X axis translation and Y axis translation; output displacement by using the triangle amplification principle of piezoelectric stack amplifier, small piezoelectric stack control range, this mechanism has the advantages of simple structure, high precision, large range of motion It can be applied in the fields of precise positioning, optical anti vibration and precise manufacturing.

【技术实现步骤摘要】
一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构
本技术属于压电精密致动仪器领域，具体是一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构。
技术介绍
随着微电子技术，宇航，生物工程等学科的迅速发展，微定位系统在电子，光学，机械制造等
得到了越来越广泛的应用。所以微定位技术的研究对精密制造和和光学显示等领域的发展有较好的促进作用，微定位平台是由压电陶瓷驱动，由于压电陶瓷的高精度，高分辨率，响应快等优点，使得微定位平台可以应用在各种精密领域。压电陶瓷驱动器具有位移分辨率高、结构简单、发热少、体积小、刚度高、响应速度快、不收磁场干扰、无磨损、不许润滑等优点被广泛应用于微定位系统中。微定位平台在最近几年迅速发展，大多数采用压电陶瓷驱动放大机构，之后带动平台的微动，目前采用比较多的有杠杆放大、三角放大、桥式放大基本原理，根据原理的不同，平台表现出的特点就有所不同，为了使输出的位移与输入电压有较好的线性关系，必须采用误差小，有较好的刚度的放大机构。传统的技术中使用二维微定位机构，其运用的是杠杆放大原理，但是运用该原理带来的回复力不足、误差大、以及迟滞效应的问题一直是本领域技术人员厄待解决的问题；然而根据三角放本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，包括基座（1），内圈（5）以及外圈（2），其特征在于，所述的内圈（5）、外圈（2）共圆心，且内圈（5）与外圈（2）之间均匀连接有三组驱动模块，分别为第一驱动模块（13），第二驱动模块（14），第三驱动模块（15）；所述的驱动模块包括压电叠堆（3），位移放大机构（4）；所述压电叠堆（3）设置在位移放大机构（4）的内部。

【技术特征摘要】
1.一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，包括基座（1），内圈（5）以及外圈（2），其特征在于，所述的内圈（5）、外圈（2）共圆心，且内圈（5）与外圈（2）之间均匀连接有三组驱动模块，分别为第一驱动模块（13），第二驱动模块（14），第三驱动模块（15）；所述的驱动模块包括压电叠堆（3），位移放大机构（4）；所述压电叠堆（3）设置在位移放大机构（4）的内部。2.根据权利要求1所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，其特征在于，所述的压电叠堆（3）两端通过楔形块（8）与位移放大机构（4）相连接。3.根据权利要求2所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，其特征在于，所述的位移放大机构（4）有四个斜边，所述的斜边与驱动方向成10°的薄板。4.根据权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔志勇，黄卫清，孙梦馨，王寅，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：新型
国别省市：江苏,32