The utility model discloses a three piezoelectric drive mechanism, 2D parallel precision positioning comprises a base, inner and outer ring, the inner ring and the outer ring is the center, and between the inner and outer rings evenly connected with three groups respectively the first drive module, drive module, second drive module, third drive module driver; the module comprises a piezoelectric stack, the displacement amplification mechanism; the piezoelectric stack is arranged in the displacement amplification mechanism, the utility model through the corresponding control, three sets of driving modules cooperate with each other to realize the direction of movement of the actuating range of said, and can realize the X axis translation and Y axis translation; output displacement by using the triangle amplification principle of piezoelectric stack amplifier, small piezoelectric stack control range, this mechanism has the advantages of simple structure, high precision, large range of motion It can be applied in the fields of precise positioning, optical anti vibration and precise manufacturing.
【技术实现步骤摘要】
一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构
本技术属于压电精密致动仪器领域,具体是一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构。
技术介绍
随着微电子技术,宇航,生物工程等学科的迅速发展,微定位系统在电子,光学,机械制造等
得到了越来越广泛的应用。所以微定位技术的研究对精密制造和和光学显示等领域的发展有较好的促进作用,微定位平台是由压电陶瓷驱动,由于压电陶瓷的高精度,高分辨率,响应快等优点,使得微定位平台可以应用在各种精密领域。压电陶瓷驱动器具有位移分辨率高、结构简单、发热少、体积小、刚度高、响应速度快、不收磁场干扰、无磨损、不许润滑等优点被广泛应用于微定位系统中。微定位平台在最近几年迅速发展,大多数采用压电陶瓷驱动放大机构,之后带动平台的微动,目前采用比较多的有杠杆放大、三角放大、桥式放大基本原理,根据原理的不同,平台表现出的特点就有所不同,为了使输出的位移与输入电压有较好的线性关系,必须采用误差小,有较好的刚度的放大机构。传统的技术中使用二维微定位机构,其运用的是杠杆放大原理,但是运用该原理带来的回复力不足、误差大、以及迟滞效应的问题一直是本领域技术人员厄待解决的问题;然而根据三角放大原理设计的位移放大机构结构简单,对位移放大的倍数关系只与放大角有简单关系,且输出力很稳定,能达到快速精准驱动和定位的目的,因此将三角放大原理设计应用于压电精密致动仪器领域应运而生。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足,提出了一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构,采用了基于三角放大原理的位移放大机构,每个放大机构组成一个放大模块,共三个放大模块位于内外圈之间,且均匀分布,即每个之 ...
【技术保护点】
一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构,包括基座(1),内圈(5)以及外圈(2),其特征在于,所述的内圈(5)、外圈(2)共圆心,且内圈(5)与外圈(2)之间均匀连接有三组驱动模块,分别为第一驱动模块(13),第二驱动模块(14),第三驱动模块(15);所述的驱动模块包括压电叠堆(3),位移放大机构(4);所述压电叠堆(3)设置在位移放大机构(4)的内部。
【技术特征摘要】
1.一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构,包括基座(1),内圈(5)以及外圈(2),其特征在于,所述的内圈(5)、外圈(2)共圆心,且内圈(5)与外圈(2)之间均匀连接有三组驱动模块,分别为第一驱动模块(13),第二驱动模块(14),第三驱动模块(15);所述的驱动模块包括压电叠堆(3),位移放大机构(4);所述压电叠堆(3)设置在位移放大机构(4)的内部。2.根据权利要求1所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构,其特征在于,所述的压电叠堆(3)两端通过楔形块(8)与位移放大机构(4)相连接。3.根据权利要求2所述的一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构,其特征在于,所述的位移放大机构(4)有四个斜边,所述的斜边与驱动方向成10°的薄板。4.根据权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔志勇,黄卫清,孙梦馨,王寅,
申请(专利权)人:南京航空航天大学,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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