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本实用新型公开了一种三向压电驱动的二维并联精密定位机构，包括基座，内圈以及外圈，所述的内圈、外圈共圆心，且内圈与外圈之间均匀连接有三组驱动模块，分别为第一驱动模块，第二驱动模块，第三驱动模块；所述的驱动模块包括压电叠堆，位移放大机构；所述压...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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