应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片，其包括基底以及设置于基底上端面的第一、第二电极，所述第一电极具有开口部，所述第二电极一端部具有一个以上贯穿所述第二电极的观测窗口，至少是所述第二电极的一端部设于所述开口部内，且所述第二、第一电极之间无直接接触。本发明专利技术的芯片的结构简单，易于制作，且其两个电极之间的距离可以精确控制，成品率高，性能稳定，同时其观测电极上具有多个窗口，窗口边缘均为观测点，观测点比较多，更容易寻找样品，而利用本发明专利技术的芯片工作时，只要将正、负极分别放置在第二电极的窗口处和第一电极上，在该两电极间滴加电解液后即可组成正常工作的电池或电容器，原位观测其化学反应，操作简单。

Chip for in situ electrochemical reaction measurements in TEM

The invention discloses an application of in situ electrochemical reaction to measure the TEM chip, which comprises a substrate and the first and second electrodes on the substrate surface, the first electrode has an opening portion, the second electrode end has more than one through the observation window of the second electric pole, at least the the second electrode is arranged on the end of the opening, no direct contact between the first electrode and the second. The structure of the chip of the invention is simple, easy to make, and between the two electrode distance can be accurately controlled, high yield, stable performance, while the observation electrode has a plurality of windows, the edge of the window are observation points, observation points are more easier for the sample, and the use of the chip of the invention work when, as long as the positive and negative electrodes were placed in the window of the second electrode and the first electrode, battery or capacitor component of the normal work in the two electrode electrolyte can be added, in situ observation of the chemical reaction, simple operation.

【技术实现步骤摘要】
应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片
本专利技术涉及一种液体芯片，特别是一种应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片。
技术介绍
透射电子显微镜(TEM)用聚焦电子束作照明源，使用对电子束透明的薄膜试样，以透过试样的透射电子束或衍射电子束所形成的图像来分析试样内部的显微组织结构。TEM是观察和分析材料的形貌、组织和结构的有效工具，已被广泛的应用于科学研究及工业领域。随着技术的发展，仅仅得到材料原子级高分辨率、样品表面形貌和化学元素能谱等信息等已经不能满足人们的需要，研发人员希望能看到整个反应或生物生长过程。因而产生了TEM原位测试技术，即实时的、在线的、将待测目标置于原有体系中进行TEM检测。丘勇才等研究人员设计了一种TEM原位电化学芯片(参阅图1)，并以该芯片对锂硫电池的反应机理做了研究。但该芯片在使用时需手工搭金线于两电极之间，很难精确控制搭金线后，金线与对电极间的距离在40微米左右，其操作困难，成品率低，此外，观测点仅分布在金线上，样品可测试点相对少，不易于找到理想样品进行观测。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片，藉此芯片可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片，其特征在于包括基底以及设置于基底上端面的第一电极和第二电极，所述第一电极具有开口部，所述第二电极一端部具有一个以上贯穿所述第二电极的观测窗口，至少是所述第二电极的一端部设于所述开口部内，且所述第二电极与第一电极之间无直接接触。

【技术特征摘要】
1.一种应用于TEM进行原位电化学反应测量的芯片，其特征在于包括基底以及设置于基底上端面的第一电极和第二电极，所述第一电极具有开口部，所述第二电极一端部具有一个以上贯穿所述第二电极的观测窗口，至少是所述第二电极的一端部设于所述开口部内，且所述第二电极与第一电极之间无直接接触。2.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于包括形成在所述基底上的电极层，所述电极层包括所述第一电极和第二电极。3.根据权利要求2所述的芯片，其特征在于：所述电极层与所述基底之间还分布有绝缘层。4.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于：所述第二电极具有1～500个观测窗口。5.根据权利要求4所述的芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：张跃钢，侯远，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：江苏,32