一种高真空双插板阀制造技术

本发明专利技术公开了一种高真空双插板阀，包括：主阀体，用于实现高真空控制的阀体；所述的主阀体内部设置有活动密封连接的双阀板；执行机构，用于提供动力的机构；所述的执行机构设置在主阀体上；传动机构，用于传递执行机构动力的机构；所述的传动机构分别与执行机构和主阀体连接；先导阀，用于对主阀体内部高真空度进行破除的阀；所述的先导阀设置在主阀体内部与阀板固定连接，并且与传动机构传动连接。该高真空双插板阀，使得高真空插板阀在从关闭位置打开时，先导阀会先开启，平衡阀板两边的压力，使得阀板在开启时不受力，可避免因未平衡阀板两遍的压力就开启而导致的阀门损坏；且该插板阀结构稳定可靠，经济安全，安装占空小，实现了PLC控制。

High vacuum double flashboard valve

The invention discloses a high vacuum flapper valve, including a main valve body, for the realization of high vacuum control valve; the main body is arranged inside the movable sealing double valve plate connection; actuator for providing a dynamic mechanism; actuator is arranged on the main valve body; transmission for the transfer mechanism, actuator dynamic mechanism; the transmission mechanism is respectively connected with the actuator and the main valve; pilot valve, used to get rid of the valve on the main valve inside the high vacuum; pilot valve arranged fixed and connected to the main valve body and the valve plate, and the transmission is connected with the drive mechanism. The double high vacuum flapper valve, the high vacuum flapper valve in closed position is opened, will first open the pilot valve, pressure balance valve plate on both sides of the valve plate when opening force, can be avoided due to unbalanced pressure valve plate two times the valve opened and damaged; the gate valve structure is stable and reliable, economic security, installation space is small, the PLC control.

【技术实现步骤摘要】
一种高真空双插板阀
本专利技术涉及阀门
，尤其涉及一种高真空双插板阀。
技术介绍
高真空双插板阀具有通经大，介质无阻碍，结构简单稳定，真空密封性能可靠等特点，广泛应用于真空镀膜、真空热处理、真空焊接、等真空行业中。高真空双插板阀上安装有电磁阀连接阀腔，在打开时起到先平衡阀瓣两边压力的作用，可减小打开所需的输出力，降低成本。但是，当电磁阀失效时，如果阀门继续运动，则阀瓣两边压力达不到平衡，而电机还在继续转动，这可能造成阀瓣密封圈的损坏，同时，可能造成电机的损坏，最后造成比较大的经济损失。由于自动化工业的推进，高真空双插板阀上安装有电机，再配上电磁感应装置，可实现电磁感应限位，进而控制电机运作，实现PLC控制。但是，电磁感应装置感应力对不同的金属，感应距离是有很大差异，存在失效的风险。同时，电机传动不稳定，传动效率低，如果需要实现远程控制，则需要花上较大的代价或大空间安装其他附件，不经济。所以，有必要对此类情况进行技术改进，以满足使用要求。中国专利文献（公告日：2013年8月21日，公告号：CN103256397A）公开了一种双向密封插板阀，包括插板阀壳体、阀门启闭机构、插板阀阀门和插板阀连接法兰，插板阀壳体两平行侧面底部开有与插板阀阀门相配的连接孔，阀门启闭机构包括两个升降气缸、两组插板阀升降座和两组插板阀联动拉臂，升降气缸伸出杆端部固定连接有插板阀联动拉臂，插板阀联动拉臂上铰接有插板阀升降座，插板阀升降座端部固连有插板阀阀门，两插板阀阀门分别正对插板阀壳体侧面底部相应的连接孔。管路抽真空低压作用，使得插板阀阀门越吸越紧；管路中为正压力，其中一侧的插板阀阀门被迫打开，使得正压力作用在另外一侧的插板阀阀门上，使得该插板阀阀门越吸越紧。中国专利文献（公告日：2012年7月11日，公告号：CN102563112A）公开了一种真空室用的真空插板阀，包括气缸、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与气缸末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。本真空插板阀克服传统真空插板阀占用空间大的缺陷，也可较好地应用于大型玻璃镀膜工艺用的真空镀膜室。同时，其密封效果好，阀芯结构也较为稳固，不易变形，加工及日常维护都较为方便。中国专利文献（公告日：2015年7月29日，公告号：CN204512485U）公开了一种气动真空插板阀，包括真空插板阀，所述的真空插板阀包括阀体、在阀体内作往复运动的阀芯、位于阀芯内的密封板A、密封板B，其特征在于：所述的气动真空插板阀还包括气缸。上述技术方案插板阀也存在结构稳定性差，阀门主体因附件失效易损坏等问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决现有的高真空双插板阀所存在的上述问题，而提供一种结构稳定可靠，经济安全，避免出现因附件失效而造成阀门主体损坏，能够可经济得实现控制的高真空双插板阀。本专利技术实现其专利技术目的所采用的技术方案是：一种高真空双插板阀，包括：主阀体，用于实现高真空控制的阀体；所述的主阀体内部设置有活动密封连接的双阀板；执行机构，用于提供动力的机构；所述的执行机构设置在主阀体上；传动机构，用于传递执行机构动力的机构；所述的传动机构分别与执行机构和主阀体连接；先导阀，用于对主阀体内部高真空度进行破除的阀；所述的先导阀设置在主阀体内部与阀板固定连接，并且与传动机构传动连接。该高真空双插板阀，通过在主阀体内部设置一先导阀，同时利用一传动机构将执行机构与先导阀连接在一起，使得高真空插板阀在从关闭位置打开时，先导阀会先行开启，破除主阀体内部的真空，以平衡阀板两边的压力，使得阀板在开启时不受力，可避免因未平衡阀板两边的压力就开启而导致的阀门损坏。当主阀体处于关闭状态时，通过执行机构输出一定的力，带动传动机构使先导阀打开，但是保持阀板不动，阀板两侧的压力因先导阀的串通而达到平衡，此时，阀板两侧均不受力。而后，传动机构继续动作，提起阀板，阀门打开。当需要关闭处于开启状态的主阀体时，通过执行机构输出一定的力，带动阀板往下运动。当阀板到达限位点时，使阀板与主阀体内部的密封面接触并压紧密封。传动机构继续动作，直到关闭先导阀并密封。阀门运作停止，阀门关闭。该高真空双插板阀，使得高真空插板阀在从关闭位置打开时，先导阀会先开启，平衡阀板两边的压力，使得阀板在开启时不受力，可避免因未平衡阀板两遍的压力就开启而导致的阀门损坏；而且该插板阀结构稳定可靠，经济安全。作为优选，所述的先导阀包括先导阀挂架、先导阀支架、扭转弹簧、先导阀芯、阀芯压盖和先导阀座。先导阀的上述结构既方便也主阀体的连接，同时也方便实现先导阀与主阀体阀板之间的顺序动作。作为优选，所述的先导阀座固定在阀板上，所述的先导阀芯的一端与先导阀座通过一密封环活动密封连接，所述的先导阀芯的另一端与先导阀支架固定连接并通过先导阀支架带动实现开关动作，所述的阀芯压盖压设在先导阀芯上。上述结构既方便先导阀的设置，同时也能够保证在阀板打开之前先导阀芯先行打开，以平衡阀板两侧的压力，使得阀板在打开时不受力，保证阀门的正常使用。作为优选，所述的先导阀支架上设置有阀芯安装孔，所述的先导阀芯设置在阀芯安装孔内部。先导阀支架上设置阀芯安装孔，方便先导阀芯的安装以保证先导阀芯能够通过先导阀支架带动实现打开或关闭。作为优选，所述的先导阀挂架固定在阀板上，所述的先导阀支架设置在先导阀挂架的内侧，并且先导阀支架的上端通过一上端销轴与先导阀挂架连接，所述的扭转弹簧设置在先导阀支架的内侧并套设在上端销轴上，所述的扭转弹簧压紧在先导阀挂架和先导阀支架上，所述的扭转弹簧的下端抵设在先导阀芯上。先导阀挂架和先导阀支架优选结构为U型结构，这样的结构既方便与阀板之间的固定连接，同时也方便实现先导阀芯与阀板的顺序打开，当处于关闭状态时，先导阀挂架、先导阀支架以及先导阀芯被扭转弹簧压紧在阀板上，同时阀板也处于原始密封位置，当需要打开阀门时，先导阀支架在传动机构的带动下克服弹簧力提起先导阀芯，使先导阀打开，进而再使阀板打开，实现顺序动作，保证阀板在打开时两侧不受力。作为优选，所述的先导阀通过一导向连接机构与传动机构连接。先导阀通过一导向连接机构与传动机构连接，这样可以通过导向连接机构对先导阀动作起到导向和力的传递作用。作为优选，所述的导向连接机构包括一连接块、传动杆和导向块，所述的导向块设置在传动机构上，所述的连接块与先导阀连接，所述的传动杆的下端与连接块螺纹连接，所述的传动杆的上端穿设在导向块上。为了方便先导阀与传动机构连接，设置一导向连接机构，通过连接块与先导阀连接，通过导向块与传动机构连接，这样的结构是为了保证在先导阀芯打开后与阀板打开前有一段缓冲时间，以保证真空能够完全破除，同时，能够实现阀板先向后脱离密封面，然后再被提升这样的过程。导向块是为了实现在在传动杆带动先导阀支架动作的过程中进行导向。作为优选，所述的传动机构包括挂架、挂臂、滚珠丝杠和滚珠丝母，所述的挂架固定在主阀体内部，所述的挂臂设置在挂架内侧并且通过一预紧装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高真空双插板阀，其特征在于包括：主阀体（1），用于实现高真空控制的阀体；所述的主阀体（2）内部设置有活动密封连接的双阀板（2）；执行机构（3），用于提供动力的机构；所述的执行机构（3）设置在主阀体（1）上；传动机构（4），用于传递执行机构（3）动力的机构；所述的传动机构（4）分别与执行机构（3）和主阀体（1）连接；先导阀（5），用于对主阀体（1）内部高真空度进行破除的阀；所述的先导阀（5）设置在主阀体（1）内部与阀板（2）固定连接，并且与传动机构（4）传动连接。

【技术特征摘要】
1.一种高真空双插板阀，其特征在于包括：主阀体（1），用于实现高真空控制的阀体；所述的主阀体（2）内部设置有活动密封连接的双阀板（2）；执行机构（3），用于提供动力的机构；所述的执行机构（3）设置在主阀体（1）上；传动机构（4），用于传递执行机构（3）动力的机构；所述的传动机构（4）分别与执行机构（3）和主阀体（1）连接；先导阀（5），用于对主阀体（1）内部高真空度进行破除的阀；所述的先导阀（5）设置在主阀体（1）内部与阀板（2）固定连接，并且与传动机构（4）传动连接。2.根据权利要求1所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的先导阀（5）包括先导阀挂架（6）、先导阀支架（7）、扭转弹簧（8）、先导阀芯（9）、阀芯压盖（10）和先导阀座（11）。3.根据权利要求2所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的先导阀座（11）固定在阀板（2）上，所述的先导阀芯（9）的一端与先导阀座（11）通过一密封环（13）活动密封连接，所述的先导阀芯（9）的另一端与先导阀支架（7）固定连接并通过先导阀支架（7）带动实现开关动作，所述的阀芯压盖（10）压设在先导阀芯（9）上。4.根据权利要求2所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的先导阀挂架（6）固定在阀板（2）上，所述的先导阀支架（7）设置在先导阀挂架（6）的内侧，并且先导阀支架（7）的上端通过一上端销轴（15）与先导阀挂架（6）连接，所述的扭转弹簧（8）设置在先导阀支架（7）的内侧并套设在上端销轴（15）上，所述的扭转弹簧（8）压紧在先导阀挂架（6）和先导阀支架（7）上，所述的扭转弹簧（8）的下端抵设在先导阀芯（9）上。5.根据权利要求1所述的一种高真空双插板阀，其特征在于：所述的先导阀（5）通过一导向连接机构（16）与传动机构（4）连接。6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张永亮，李培华，韩家洋，
申请(专利权)人：浙江永盛科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33