MO源罐装钢瓶的自动清洗装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了MO源罐装钢瓶的自动清洗装置及方法，碱液池、酸液池、自来水管网和超纯水管网的出口分别通过管路与超声波前清洗槽相连，超声波前清洗槽与超声波后清洗槽之间连接MO源罐装钢瓶，MO源罐装钢瓶的插底管通过软管与超声波前清洗槽相连通，MO源罐装钢瓶的气管通过软管与超声波后清洗槽相连通，中和池通过管路与超声波后清洗槽相连通，第一泵进口通过管路与超声波后清洗槽相连，第一泵出口分别通过管路与碱液池、酸液池相连，第二泵进口通过管路经阀门与超声波前清洗槽相连，第二泵出口分别通过管路与碱液池、酸液池、中和池相连。实现碱超声洗、酸超声洗、自来水冲洗和高纯水冲洗，清洗非常干净，无金属杂质和有机物残留。

Automatic cleaning device and method for MO source canned cylinder

The invention discloses a device and method for automatically cleaning MO source canned cylinder, alkali tank, acid bath, tap water and ultra pure water pipe outlet respectively through a pipeline and the ultrasonic cleaning tank is connected with the ultrasonic cleaning tank, ultrasonic cleaning cylinder connecting groove between the canned MO source, MO source canned cylinder bottom pipe through the hose and ultrasonic cleaning tank is communicated with the cylinder through the trachea canned MO source and ultrasonic cleaning tank after the hose is communicated with the neutralization tank through a pipeline and the ultrasonic cleaning tank is communicated with the first pump inlet through the pipe and ultrasonic wave cleaning tank connected to the first pump outlet separately through pipelines and alkali tank, acid bath the second is through the pump inlet pipeline through valve and ultrasonic cleaning tank is connected respectively by the second pump outlet pipe and alkali pool, acid bath, and the pool is connected. Realize alkali ultrasonic washing, acid ultrasonic washing, tap water washing and high pure water washing, cleaning is very clean, no metal impurities and organic residues.

【技术实现步骤摘要】
MO源罐装钢瓶的自动清洗装置及其方法
本专利技术涉及一种MO源罐装钢瓶的自动清洗装置及其方法。
技术介绍
MO源是伴随着MOCVD技术而发展起来的。6N(6N＝99.9999％)纯度的MO源是制造半导体薄膜材料的主要金属源，常作为如GaN、GaAs、InP、A1GaAs等半导体超薄型膜材料的基础源。这些新型光电材料广泛应用于激光器、红外探测器、太阳能电池等高技术行业领域。MO源的储存和运输是使用一种特殊设计的钢瓶，此钢瓶可以和MOCVD设备相吻合，专利公开号为CN201512580U和CN203797323U的专利公开了钢瓶的结构。该钢瓶在保证坚固的同时，还需要有超高的纯度，防止高纯MO源产品被污染。如何清洗钢瓶则成为需要研究的问题。目前钢瓶清洗主要靠人工灌碱、灌酸，操作人员存在被酸碱灼伤的危险，同时还要忍受超声波的噪音污染，并且需要耗费大量的时间和人力，对环境亦有影响。如何需要设计一种可减轻操作人员劳力、减少酸碱灼伤的危险、省时省力的清洗设备。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种MO源罐装钢瓶的自动清洗装置及其方法。本专利技术的目的通过以下技术方案来实现：MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：包含超声波前清洗槽、超声波后清洗槽、第一泵以及第二泵，碱液池、酸液池、自来水管网和超纯水管网的出口分别通过管路与超声波前清洗槽相连通，其每一连接管路上设有阀门，于超声波前清洗槽与超声波后清洗槽之间连接MO源罐装钢瓶，MO源罐装钢瓶的插底管通过软管经阀门与超声波前清洗槽相连通，MO源罐装钢瓶的气管通过软管经阀门与超声波后清洗槽相连通，中和池通过管路经阀门与超声波后清洗槽相连通，第一泵的进口通过管路经阀门与超声波后清洗槽相连通，第一泵的出口分别通过管路与碱液池、酸液池相连通，其每一连接支路上设有阀门，第二泵的进口通过管路经阀门与超声波前清洗槽相连通，第二泵的出口分别通过管路与碱液池、酸液池、中和池相连通，其每一连接支路上设有阀门。进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述超声波前清洗槽与超声波后清洗槽之间并联有多只MO源罐装钢瓶。进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述软管为1/4VCR编织软管。进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述第一泵和第二泵为耐酸碱液体循环泵。进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述阀门均为气动阀。进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述第一泵与碱液池、酸液池之间的连接管路采用PTFE管。进一步地，上述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其中，所述第二泵与碱液池、酸液池之间的连接管路采用PTFE管。本专利技术MO源罐装钢瓶的自动清洗方法，首先进行碱超声清洗，打开碱液池与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的进口与超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的出口与碱液池之间管路上的阀门，开启第一泵，碱液自动分流到MO源罐装钢瓶中，流出的碱液经第一泵回流到碱液池中，碱液在钢瓶中不停循环，进行超声清洗，然后关闭第一泵，关闭碱液池与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的进口与超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的出口与碱液池之间管路上的阀门；此过程中酸液池与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的出口与酸液池之间管路上的阀门处于关闭状态；回收MO源罐装钢瓶中碱液，打开超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与碱液池之间管路上的阀门，第二泵启动，MO源罐装钢瓶中的碱液被泵抽回到碱液池中，关闭第二泵，关闭超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与碱液池之间管路上的阀门；MO源罐装钢瓶中残留少量碱液，采用自来水冲洗，开启MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门，再开启自来水管网与超声波前清洗槽之间管路上的阀门，自来水冲洗MO源罐装钢瓶，废水自动流入中和池，冲洗后，依次关闭自来水管网与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门；自来水冲洗后将自来水泵出，打开超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与中和池之间管路上的阀门，第二泵启动，MO源罐装钢瓶中的自来水被泵抽回到中和池中，关闭第二泵，关闭超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与中和池之间管路上的阀门；然后进行酸超声清洗，打开酸液池与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的进口与超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的出口与酸液池之间管路上的阀门，开启第一泵，酸液自动分流到MO源罐装钢瓶中，流出的酸液经第一泵回流到酸液池中，酸液在钢瓶中不停循环，进行超声清洗，然后关闭第一泵，关闭酸液池与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的进口与超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的出口与酸液池之间管路上的阀门；此过程中碱液池与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的出口与碱液池之间管路上的阀门处于关闭状态；回收MO源罐装钢瓶中酸液，打开超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与酸液池之间管路上的阀门，第二泵启动，MO源罐装钢瓶中的酸液被泵抽回到酸液池中，关闭第二泵，关闭超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与酸液池之间管路上的阀门；MO源罐装钢瓶中残留少量酸液，采用自来水冲洗，开启MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门，再开启自来水管网与超声波前清洗槽之间管路上的阀门，自来水冲洗MO源罐装钢瓶，废水自动流入中和池，冲洗后，依次关闭自来水管网与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门；自来水冲洗后将自来水泵出，打开超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与中和池之间管路上的阀门，第二泵启动，MO源罐装钢瓶中的自来水被泵抽回到中和池中，关闭第二泵，关闭超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与中和池之间管路上的阀门；清空MO源罐装钢瓶内部的液体；最后进行超纯水超声清洗，开启MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门，再开启超纯水管网与超声波前清洗槽之间管路上的阀门，超纯水冲洗MO源罐装钢瓶本文档来自技高网...

【技术保护点】
MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：包含超声波前清洗槽、超声波后清洗槽、第一泵以及第二泵，碱液池、酸液池、自来水管网和超纯水管网的出口分别通过管路与超声波前清洗槽相连通，其每一连接管路上设有阀门，于超声波前清洗槽与超声波后清洗槽之间连接MO源罐装钢瓶，MO源罐装钢瓶的插底管通过软管经阀门与超声波前清洗槽相连通，MO源罐装钢瓶的气管通过软管经阀门与超声波后清洗槽相连通，中和池通过管路经阀门与超声波后清洗槽相连通，第一泵的进口通过管路经阀门与超声波后清洗槽相连通，第一泵的出口分别通过管路与碱液池、酸液池相连通，其每一连接支路上设有阀门，第二泵的进口通过管路经阀门与超声波前清洗槽相连通，第二泵的出口分别通过管路与碱液池、酸液池、中和池相连通，其每一连接支路上设有阀门。

【技术特征摘要】
1.MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：包含超声波前清洗槽、超声波后清洗槽、第一泵以及第二泵，碱液池、酸液池、自来水管网和超纯水管网的出口分别通过管路与超声波前清洗槽相连通，其每一连接管路上设有阀门，于超声波前清洗槽与超声波后清洗槽之间连接MO源罐装钢瓶，MO源罐装钢瓶的插底管通过软管经阀门与超声波前清洗槽相连通，MO源罐装钢瓶的气管通过软管经阀门与超声波后清洗槽相连通，中和池通过管路经阀门与超声波后清洗槽相连通，第一泵的进口通过管路经阀门与超声波后清洗槽相连通，第一泵的出口分别通过管路与碱液池、酸液池相连通，其每一连接支路上设有阀门，第二泵的进口通过管路经阀门与超声波前清洗槽相连通，第二泵的出口分别通过管路与碱液池、酸液池、中和池相连通，其每一连接支路上设有阀门。2.根据权利要求1所述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：所述超声波前清洗槽与超声波后清洗槽之间并联有多只MO源罐装钢瓶。3.根据权利要求1所述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：所述软管为1/4VCR编织软管。4.根据权利要求1所述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：所述第一泵和第二泵为耐酸碱液体循环泵。5.根据权利要求1所述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：所述阀门均为气动阀。6.根据权利要求1所述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：所述第一泵与碱液池、酸液池之间的连接管路采用PTFE管。7.根据权利要求1所述的MO源罐装钢瓶的自动清洗装置，其特征在于：所述第二泵与碱液池、酸液池之间的连接管路采用PTFE管。8.权利要求1所述装置实现MO源罐装钢瓶的自动清洗方法，其特征在于：首先进行碱超声清洗，打开碱液池与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的进口与超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的出口与碱液池之间管路上的阀门，开启第一泵，碱液自动分流到MO源罐装钢瓶中，流出的碱液经第一泵回流到碱液池中，碱液在钢瓶中不停循环，进行超声清洗，然后关闭第一泵，关闭碱液池与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的进口与超声波后清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的出口与碱液池之间管路上的阀门；此过程中酸液池与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第一泵的出口与酸液池之间管路上的阀门处于关闭状态；回收MO源罐装钢瓶中碱液，打开超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与碱液池之间管路上的阀门，第二泵启动，MO源罐装钢瓶中的碱液被泵抽回到碱液池中，关闭第二泵，关闭超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与碱液池之间管路上的阀门；MO源罐装钢瓶中残留少量碱液，采用自来水冲洗，开启MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门，再开启自来水管网与超声波前清洗槽之间管路上的阀门，自来水冲洗MO源罐装钢瓶，废水自动流入中和池，冲洗后，依次关闭自来水管网与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、MO源罐装钢瓶与超声波前清洗槽和超声波后清洗槽之间管路上的阀门、超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门；自来水冲洗后将自来水泵出，打开超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、第二泵的进口与超声波前清洗槽之间管路上的阀门、第二泵的出口与中和池之间管路上的阀门，第二泵启动，MO源罐装钢瓶中的自来水被泵抽回到中和池中，关闭第二泵，关闭超声波后清洗槽与中和池之间管路上的阀门、...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐耀中，顾逸凡，刘宇，万欣，许从应，林俊元，潘兴华，顾大公，
申请(专利权)人：江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32