流量检定单元制造技术

本发明专利技术提供一种流量检定单元，其利用在使第2关闭阀处于闭阀的状态下由压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由温度计测定出的温度测定值，而计算出流量控制阀与第2关闭阀之间的容积，并且在对质量流量控制器的流量逐个进行检定的流量检定单元中，在压力计的上游侧设置有以拆装自如的方式而与气体集成单元连接的第1检定侧连接部2，且使直列连接的检定气体输入阀、检定侧质量流量控制器以及检定侧流量控制阀相对于第2关闭阀而并列地设置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流量检定单元
本专利技术涉及一种对于具有多个质量流量控制器的气体集成单元而逐个检定质量流量控制器的流量的流量检定单元。
技术介绍
气体集成单元由多个气体供给管线集成而成。气体集成单元例如与反应容器相连接，并通过气体供给管线而对向真空状态的反应容器供给的1种或2种以上气体进行控制。向反应容器供给的作用气体的流量会影响产品质量。因此，气体供给管线分别具备：测定流量的质量流量控制器、和以使质量流量控制器的测定值与设定流量相一致的方式而进行工作的流量控制阀。质量流量控制器例如根据作用气体在流通于较细的内部配管时的上游侧与下游侧的温差而对流量进行测量。当作用气体的生成物附着于内部配管的内壁而使内部配管的内径发生变化时，在质量流量控制器的测定值中将会产生误差。因此，气体集成单元使用流量检定单元，而逐个检定质量流量控制器的流量。图8是现有的流量检定单元101与气体集成单元110的回路图。气体集成单元110具备对冲洗气体进行控制的冲洗气体管线111、以及第1～第3气体供给管线121A、121B、121C。冲洗气体管线111具备输入冲洗气体的冲洗气体输入口117，并从上游侧起依次直列地连接有调节器11本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量检定单元，其针对将具备质量流量控制器和流量控制阀的多个气体供给管线被并列地配置的气体集成单元而逐个检定所述质量流量控制器的流量，该流量检定单元直列地配置有压力计、温度计以及关闭阀，利用在使所述关闭阀处于闭阀的状态下由所述压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由所述温度计测定出的温度测定值，而计算出所述流量控制阀与所述关闭阀之间的容积，从而实施流量检定，所述流量检定单元的特征在于，具有被设置于所述压力计的上游侧并以拆装自如的方式而与所述气体集成单元连接的连接部；直列地连接有对检定气体的输入进行控制的检定气体输入阀、对所述检定气体的流量进行测量的检定侧质量流量控制器、以及以使所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.05 JP 2014-2250181.一种流量检定单元，其针对将具备质量流量控制器和流量控制阀的多个气体供给管线被并列地配置的气体集成单元而逐个检定所述质量流量控制器的流量，该流量检定单元直列地配置有压力计、温度计以及关闭阀，利用在使所述关闭阀处于闭阀的状态下由所述压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由所述温度计测定出的温度测定值，而计算出所述流量控制阀与所述关闭阀之间的容积，从而实施流量检定，所述流量检定单元的特征在于，具有被设置于所述压力计的上游侧并以拆装自如的方式而与所述气体集成单元连接的...

【专利技术属性】
技术研发人员：城山直也，杉野彰仁，伊藤稔，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP