流量检定单元制造技术

本发明专利技术提供一种流量检定单元，其利用在使第2关闭阀处于闭阀的状态下由压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由温度计测定出的温度测定值，而计算出流量控制阀与第2关闭阀之间的容积，并且在对质量流量控制器的流量逐个进行检定的流量检定单元中，在压力计的上游侧设置有以拆装自如的方式而与气体集成单元连接的第1检定侧连接部2，且使直列连接的检定气体输入阀、检定侧质量流量控制器以及检定侧流量控制阀相对于第2关闭阀而并列地设置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流量检定单元
本专利技术涉及一种对于具有多个质量流量控制器的气体集成单元而逐个检定质量流量控制器的流量的流量检定单元。
技术介绍
气体集成单元由多个气体供给管线集成而成。气体集成单元例如与反应容器相连接，并通过气体供给管线而对向真空状态的反应容器供给的1种或2种以上气体进行控制。向反应容器供给的作用气体的流量会影响产品质量。因此，气体供给管线分别具备：测定流量的质量流量控制器、和以使质量流量控制器的测定值与设定流量相一致的方式而进行工作的流量控制阀。质量流量控制器例如根据作用气体在流通于较细的内部配管时的上游侧与下游侧的温差而对流量进行测量。当作用气体的生成物附着于内部配管的内壁而使内部配管的内径发生变化时，在质量流量控制器的测定值中将会产生误差。因此，气体集成单元使用流量检定单元，而逐个检定质量流量控制器的流量。图8是现有的流量检定单元101与气体集成单元110的回路图。气体集成单元110具备对冲洗气体进行控制的冲洗气体管线111、以及第1～第3气体供给管线121A、121B、121C。冲洗气体管线111具备输入冲洗气体的冲洗气体输入口117，并从上游侧起依次直列地连接有调节器112、布顿管(BourdonTube)式压力计113、压力计114、第1冲洗阀115以及第2冲洗阀116。第1气体供给管线121A具备输入第1气体的气体输入口127A，并从上游侧起依次直列地连接有压力计122A、气体输入阀123A、质量流量控制器124A以及流量控制阀125A。此外，第1气体供给管线121A在气体输入阀123A与质量流量控制器124A之间具备冲洗气体输入阀126A，该冲洗气体输入阀126A对从冲洗气体管线111所分流出的冲洗气体的输入进行控制。第2、第3气体供给管线121B、121C亦以与第1气体供给管线121A相同的方式而构成。冲洗气体管线111与第1～第3气体供给管线121A～121C经由共同流道130而并列地连接于共同输出阀131。流量检定单元101包括第1关闭阀102、压力计103、温度计104以及第2关闭阀105，并且第1关闭阀102与共同流道130连接。流量检定单元101例如在实施质量流量控制器124A的流量检定的情况下，将气体输入阀123A～123C、第2冲洗阀116、流量控制阀125B、125C、共同输出阀131以及第2关闭阀105设为闭阀状态，并将第1冲洗阀115、冲洗气体输入阀126A、流量控制阀125A以及第1关闭阀102设为开阀状态，从而使冲洗气体流至质量流量控制器124A，并将冲洗气体填充于第2冲洗阀116、流量控制阀125A～125C、共同输出阀131以及第2关闭阀105之间。然后，流量检定单元101根据压力计103所测定的压力测定值而求得测定时间内的压力上升值，并根据该压力上升值、温度计104所测定的温度测定值、测定时间、第2冲洗阀116、流量控制阀125A～125C、共同输出阀131以及第2关闭阀105之间的容积V，而计算出质量流量控制器124A的绝对流量。并且，流量检定单元101求得所计算出的绝对流量与设定流量之间的误差，若该误差位于正常范围与异常范围之间的容许范围，则对设定流量进行补正。此外，若误差位于异常范围，则流量检定单元101实施指示更换质量流量控制器124A的显示。此处，气体集成单元110即使是相同的回路结构，也会因构成部件的公差或组装公差等而使第2冲洗阀116、流量控制阀125A～125C、共同输出阀131以及第1关闭阀102之间的容积V1在固体间发生偏差(也将容积V1称为“槽容积V1”)。槽容积V1的偏差成为容积V的偏差，从而使流量检定的精度降低。因此，现有的流量检定单元101例如将第1冲洗阀115、冲洗气体输入阀126A、流量控制阀125A以及第1关闭阀102设为开阀状态，并将流量控制阀125B、125C、冲洗气体输入阀126B、126C、共同输出阀131以及第2关闭阀105设为闭阀状态，且向冲洗气体管线111供给冲洗气体，并求得从压力计103测定出既定初始压力起至测定出目标压力为止的每单位时间的压力上升值，从而根据压力上升值与温度计104所测定的温度测定值而计算出容积V。由于流量检定单元101已知第1关闭阀102与第2关闭阀105之间的容积V2(也将容积V2称为“已知容积V2”)，因此通过从容积V减去已知容积V2而计算出槽容积V1，并使槽容积V1的偏差反映至质量流量控制器124A～124C的流量检定中(例如，参照专利文献1)。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开2011-64707号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，现有的流量检定单元101例如使用气体集成单元110的质量流量控制器124A来测定容积V(槽容积V1)。当质量流量控制器124A～124C被用于气体控制时，由于生成物可能附着于内部配管，因此，对于现有的流量检定单元101而言，不得不在气体集成单元110出厂前或开始使用前对容积V(槽容积V1)进行计算。而且，由于该容积V(槽容积V1)是该气体集成单元110所固有的值，因此为了保持流量检定的精度，而针对每一台气体集成单元110各设置一台现有的流量检定单元101。流量检定以每周一次的方式而定期地进行。因此，流量检定单元未被有效地使用。用于解决课题的手段本专利技术正是为了解决上述问题点而完成的，其目的在于，提供一种能够换装于多个气体集成单元来进行流量检定的流量检定单元。本专利技术的一个形态具有如下的构成。(1)一种流量检定单元，其针对将具备质量流量控制器和流量控制阀的多个气体供给管线被并列地配置的气体集成单元逐个检定所述质量流量控制器的流量，该流量检定单元中直列地配置有压力计、温度计以及关闭阀，利用在使所述关闭阀处于闭阀的状态下由所述压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由所述温度计测定出的温度测定值，而计算出所述流量控制阀与所述关闭阀之间的容积，从而实施流量检定，所述流量检定单元的特征在于，具有设置于所述压力计的上游侧并以拆装自如的方式而与所述气体集成单元连接的连接部；直列地连接有对检定气体的输入进行控制的检定气体输入阀、对所述检定气体的流量进行测量的检定侧质量流量控制器、以及以使所述检定侧质量流量控制器所测定出的检定气体流量测定值与设定流量一致的方式而进行控制的检定侧流量控制阀；所述检定气体输入阀、所述检定侧质量流量控制器以及所述检定侧流量控制阀相对于所述关闭阀而并列地设置。上述结构的流量检定单元经由连接部而以拆装自如的方式与气体集成单元连接。在该情況下，根据将连接部连接于气体集成单元的状况，气体集成单元的流量控制阀与关闭阀之间的容积会产生偏差。但是，在上述结构的流量检定单元中，直列连接的检定气体输入阀、检定侧质量流量控制器以及检定侧流量控制阀相对于关闭阀而并列地被设置。因此，即使流量检定单元不使用气体集成单元的质量流量控制器，只要将关闭阀设为闭阀的状态、将检定气体输入阀设为开阀的状态，则也能够经由检定侧质量流量控制器和检定侧流量控制阀将检定气体控制为设定流量，并使之填充于与关闭阀相比而靠上游侧。只要流量检定单元在该情況下使用压力计所测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值和温度计所测定出的温度测定值，就能够计算出从流量控制阀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量检定单元，其针对将具备质量流量控制器和流量控制阀的多个气体供给管线被并列地配置的气体集成单元而逐个检定所述质量流量控制器的流量，该流量检定单元直列地配置有压力计、温度计以及关闭阀，利用在使所述关闭阀处于闭阀的状态下由所述压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由所述温度计测定出的温度测定值，而计算出所述流量控制阀与所述关闭阀之间的容积，从而实施流量检定，所述流量检定单元的特征在于，具有被设置于所述压力计的上游侧并以拆装自如的方式而与所述气体集成单元连接的连接部；直列地连接有对检定气体的输入进行控制的检定气体输入阀、对所述检定气体的流量进行测量的检定侧质量流量控制器、以及以使所述检定侧质量流量控制器所测定出的检定气体流量测定值与设定流量一致的方式而进行控制的检定侧流量控制阀；所述检定气体输入阀、所述检定侧质量流量控制器以及所述检定侧流量控制阀相对于所述关闭阀而并列地设置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.05 JP 2014-2250181.一种流量检定单元，其针对将具备质量流量控制器和流量控制阀的多个气体供给管线被并列地配置的气体集成单元而逐个检定所述质量流量控制器的流量，该流量检定单元直列地配置有压力计、温度计以及关闭阀，利用在使所述关闭阀处于闭阀的状态下由所述压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由所述温度计测定出的温度测定值，而计算出所述流量控制阀与所述关闭阀之间的容积，从而实施流量检定，所述流量检定单元的特征在于，具有被设置于所述压力计的上游侧并以拆装自如的方式而与所述气体集成单元连接的...

【专利技术属性】
技术研发人员：城山直也，杉野彰仁，伊藤稔，
申请(专利权)人：CKD株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP