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本发明提供一种流量检定单元，其利用在使第2关闭阀处于闭阀的状态下由压力计测定出的压力测定值的每单位时间的压力变动值与由温度计测定出的温度测定值，而计算出流量控制阀与第2关闭阀之间的容积，并且在对质量流量控制器的流量逐个进行检定的流量检定单元...
该专利属于CKD株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过CKD株式会社授权不得商用。

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