抽真空系统技术方案
Vacuum pumping system
The present invention discloses a vacuum pumping system for vacuuming a vacuum chamber. The vacuum system includes pre pump, pump, pre pumping valve and main valve, the main valve is provided with inlet, inlet and outlet is communicated with the pre pumping, vacuum pumping inlet and the vacuum chamber main valve, the main valve entrance pre pumping port and pre pumping valve communicated with the main valve and the main export. Pump suction and exhaust port communicated before the pump via the three connector and pumping valve and the exhaust port and the main pump pre export directly connected. The vacuum system of this application allows the vacuum chamber to achieve the desired vacuum in a very short time.
【技术实现步骤摘要】
抽真空系统
本技术涉及真空设备，具体涉及对真空室进行抽真空的抽真空系统。
技术介绍
常规的抽真空系统通常包括前级泵、主抽泵、前级阀、预抽阀以及主阀，其中前级泵经由管道与真空室的预抽口连接，该管道上设有上述预抽阀。主抽泵的抽气口经由主阀与真空室的抽真空口连接，主抽泵的排气口经由管道与前级泵的排气口连接，该管道上设有前级泵。该常规抽真空系统的工作过程如下：首先关闭前级阀和主阀，开启前级泵，开启预抽阀，当真空室内达到预定真空度时，关闭预抽阀，然后开启主抽泵、前级阀和主阀，继续抽真空，直到达到所需的真空度。采用目前的抽真空系统，通常要在10～60分钟之后，真空室才能达到所要求的真空度。这在一些需要更快速获得所需真空度，尤其是高真空度的应用场合中不能满足要求
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够快速获得真空度的抽真空系统和方法，为实现上述目的，根据本技术的一方面，本技术提供了一种抽真空系统，用于对真空室进行抽真空，其中，所述抽真空系统包括前级泵、主抽泵、预抽阀和主阀，其中所述主阀设有进口、预抽口和出口，所述主阀的进口与所述真空室的抽真空口连通，所述主阀的预抽口与所述预抽阀的入口...
【技术保护点】
一种抽真空系统，用于对真空室进行抽真空，其特征在于，所述抽真空系统包括前级泵、主抽泵、预抽阀和主阀，其中所述主阀设有进口、预抽口和出口，所述主阀的进口与所述真空室的抽真空口连通，所述主阀的预抽口与所述预抽阀的入口连通，所述主阀的出口与所述主抽泵的抽气口连通，以及所述前级泵的抽气口经由三通接头同时与所述主抽泵的排气口和所述预抽阀的出口直接连通。
【技术特征摘要】
1.一种抽真空系统，用于对真空室进行抽真空，其特征在于，所述抽真空系统包括前级泵、主抽泵、预抽阀和主阀，其中所述主阀设有进口、预抽口和出口，所述主阀的进口与所述真空室的抽真空口连通，所述主阀的预抽口与所述预抽阀的入口连通，所述主阀的出口与所述主抽泵的抽气口连通，以及所述前级泵的抽气口经由三通接头同时与所述主抽泵的排气口和所述预抽阀的出口直接连通。2.根据权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述真空室的容积和所述前级泵的参数根据如下选择：如果所述真空室的容积是A1L，而所述前级泵的抽速参数为B1L/S，则A1*0.5≤B1≤A1。3.根据权利要求1所述的抽真空系统，其特征在于，所述前级泵是机械泵，所述主抽泵是罗茨泵，以及...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宏宇，黄晓霞，张国栋，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。