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本申请公开了一种抽真空系统，用于对真空室进行抽真空。抽真空系统包括前级泵、主抽泵、预抽阀和主阀，其中主阀设有进口、预抽口和出口，主阀的进口与真空室的抽真空口连通，主阀的预抽口与预抽阀的入口连通，主阀的出口与主抽泵的抽气口连通，以及前级泵的抽...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

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