生产金刚石的籽晶承载盘制造技术

本实用新型专利技术提供了一种生产金刚石的籽晶承载盘，包括基台，所述基台上放置一籽晶承载盘，所述籽晶承载盘的中心端面开设有凹陷部，所述凹陷部大于等于2个，且所述凹陷部的下部和中部均呈倒梯形状。该籽晶承载盘形成的金刚石单晶形状对称，边缘圆润。

Seed crystal bearing plate for producing diamond

The utility model provides a seed production of diamond bearing plate, including the base station, placing a seed of the base station on the bearing plate, the seed bearing end plate is provided with a center recess, the recess portion is greater than or equal to 2, the lower part and the concave part and the middle part of each inverted trapezoidal shape. The seed bearing plate forms a diamond single crystal shape with a rounded edge.

【技术实现步骤摘要】
生产金刚石的籽晶承载盘
本技术涉及用于微波等离子体化学气相沉积法生长金刚石单晶的新型籽晶承载盘。
技术介绍
金刚石是世界上最硬的材料,具有极低的热膨胀系数,高热导率,宽禁带,良好的光透过率等优异性能。非常适合做光学窗口和光学透镜的保护膜,金刚石膜也可用做大功率激光器件。其中，微波等离子体化学气相沉积法生长金刚石单晶是一种方法。
技术实现思路
本技术提供了一种生产金刚石的籽晶承载盘，包括基台，所述基台上放置一籽晶承载盘，所述籽晶承载盘的中心端面开设有凹陷部，所述凹陷部大于等于2个，且所述凹陷部的下部和中部均呈倒梯形状。可选地，所述承载盘的直径为25～30mm，高度为20～25mm。可选地，所述凹陷部的数量为2个。可选地，所述凹陷部的中部倒梯形上边长为12.5-13.5mm，下边长为7.5-8.5mm，所述凹陷部的下部倒梯形的上边长为为7.5-8.5mm，下边长为2.5-3.5mm。可选地，所述凹陷部的总深度为1.5～2.8mm。本技术提供的籽晶承载盘形成的金刚石单晶形状对称，边缘圆润。附图说明图1是本技术单个籽晶承载盘的剖视图；具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种生产金刚石的籽晶承载盘，包括基台，所述基台上放置一籽晶承载盘，所述籽晶承载盘的中心端面开设有凹陷部，其特征在于，所述所述凹陷部大于等于2个，且所述凹陷部的下部和中部均呈倒梯形状。

【技术特征摘要】
1.一种生产金刚石的籽晶承载盘，包括基台，所述基台上放置一籽晶承载盘，所述籽晶承载盘的中心端面开设有凹陷部，其特征在于，所述所述凹陷部大于等于2个，且所述凹陷部的下部和中部均呈倒梯形状。2.如权利要求1所述的籽晶承载盘，其特征在于，所述承载盘的直径为25～30mm，高度为20～25mm。3.如权利要求1所述的籽晶承载盘，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚闯，吴剑波，朱长征，余斌，
申请(专利权)人：上海征世科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31