插座制造技术

一种插座，包括：接触测头；和支撑接触测头的绝缘支撑体。接触测头包括：将与待检测对象连接的第一柱塞；将与检测板连接的第二柱塞；和构造为将第一柱塞和第二柱塞在相互分离的方向上推压的弹簧。在第一柱塞的顶端被释放的状态中，在弹簧的自然长度的情况下，第二柱塞从绝缘支撑体的突出量为零。

【技术实现步骤摘要】
插座
本专利技术涉及一种插座，其中接触测头受到绝缘支撑体支撑。
技术介绍
在检测待检测对象诸如半导体集成电路的情形中，使用了其中接触测头受到绝缘支撑体支撑的插座，从而将待检测对象与测量器械的检测板连接。每一个接触测头具有适于与待检测对象连接的第一柱塞、适于与检测板连接的第二柱塞，和用于推压第一和第二柱塞从而使其相互分离的弹簧。在例如在JP-A-2015-215223中公开的相关技术中，插座已经被设计为使得当插座被设定在检测板上时，在压缩弹簧的同时第二柱塞被检测板上的电极挤压以由此后退。为此目的，在第一柱塞的顶端被释放的状态中(在无任何外力被施加到第一柱塞的顶端的状态中)，利用弹簧的推压力，具有特定值或者更大的接触力在第二柱塞和检测板上的电极之间产生。这个接触力(负载)被称为预载，并且已经考虑到该预载有助于接触稳定性的改进以及接触电阻的降低和稳定。预载将引起用于支撑接触测头的绝缘支撑体的翘曲。根据设计的观点，要求将绝缘支撑体的翘曲抑制成等于或低于预定值。在另一方面，在近来的半导体检测领域中，除了传统的、降低成本的要求，还强烈地要求增加插针的数目以实现多功能，并且实现尺寸的降低以应对高频。插针数目的增加招致插座预载的整体上的增加，并且放大绝缘支撑体的翘曲。而且，为了实现尺寸降低，绝缘支撑体应该具有更小的壁厚，这也放大了绝缘支撑体的翘曲。此外，根据降低成本的观点，实际上不可能使用其中翘曲不太可能发生的、具有高刚度的材料作为用于绝缘支撑体的材料。由于这些原因，在传统的设计概念中，因为绝缘支撑体的翘曲，所以已经不可能遵守增加插针数目、实现尺寸降低和实现成本降低的要求。
技术实现思路
已经鉴于上述情况实现了本专利技术。本专利技术的一个目的在于提供一种插座，该插座在增加插针的数目并且实现尺寸降低方面是有利的，并且还能够实现成本降低。根据本专利技术的第一个方面，提供一种插座，包括：接触测头；和支撑接触测头的绝缘支撑体，其中接触测头具有：将与待检测对象连接的第一柱塞；将与检测板连接的第二柱塞；和构造为将第一柱塞和第二柱塞沿着相互分离的方向推压的弹簧，并且，在第一柱塞的顶端被释放的状态中，能够在弹簧的自然长度下使得第二柱塞从绝缘支撑体的突出量为零。在第一柱塞和第二柱塞沿着相互分离的方向的移动受到限制的状态中，弹簧可以在接触测头中被加载，而不依赖于绝缘支撑体。接触测头可以具有与第一柱塞一体地设置的导电管，第二柱塞可以在防止从导电管脱落的状态中被设置在导电管内侧，并且弹簧可以被设置在导电管内侧。第一柱塞和第二柱塞中的一个可以具有穿过弹簧的棒状部，并且第一柱塞和第二柱塞中的另一个可以设置有与棒状部接合的锁定部。在第一柱塞的顶端被释放并且第二柱塞从绝缘支撑体的突出量为零的状态中，弹簧的推压力可以是等于或低于10gf。在第一柱塞的顶端被释放并且第二柱塞从绝缘支撑体的突出量为零的状态中，弹簧的推压力可以等于或低于在检测时弹簧的推压力的三分之一。根据本专利技术的第二方面，提供一种插座，包括：接触测头；和支撑接触测头的绝缘支撑体，其中接触测头具有：将与待检测对象连接的第一柱塞；和将与检测板连接并且构造为沿着使得第一柱塞的顶端从绝缘支撑体突出的方向推压第一柱塞的弹簧，并且，在第一柱塞的顶端被释放的状态中，能够在弹簧的自然长度下使得弹簧从绝缘支撑体的突出量为零。在第一柱塞的顶端被释放并且弹簧从绝缘支撑体的突出量为零的状态中，弹簧的推压力可以等于或低于10gf。在第一柱塞的顶端被释放并且弹簧从绝缘支撑体的突出量为零的状态中，弹簧的推压力可以等于或低于在检测时弹簧的推压力的三分之一。如上所述的构成元素的任意组合和在方法和系统之间转换的本专利技术的说明作为本专利技术的方面也是有效的。附图说明图1A是在第一柱塞10的顶端和第二柱塞20的顶端这两者均被释放的状态中在根据本专利技术的实施例1中的插座1的截面视图。图1B是在插座1被安装在检测板8上并且第一柱塞10的顶端被释放的状态中插座1的截面视图。图1C是在插座1被安装在检测板8上并且待检测装置9上的焊料隆起9a被挤压在第一柱塞10的顶端上的状态中插座1的截面视图。图2是与在对照示例中的关系一起地示出在接触测头70的行程和插座1中的弹簧30的推压力(弹簧压力)之间的关系的曲线图。图3是示出在插座1中的弹簧30的初始弹簧压力和在检测板8上的电极8a中形成的压力标记的深度之间的关系的曲线图。图4A是在第一柱塞10的顶端和第二柱塞20的顶端这两者均被释放的状态中在根据本专利技术的实施例2中的插座2的截面视图。图4B是在第一柱塞10的顶端和第二柱塞20的顶端这两者均被释放的状态中在根据本专利技术的实施例3中的插座3的截面视图。图4C是在第一柱塞10的顶端和第二柱塞20的顶端这两者均被释放的状态中在根据本专利技术的实施例4中的插座4的截面视图。图5A是在第一柱塞10的顶端和弹簧30的顶端这两者均被释放的状态中在根据本专利技术的实施例5中的插座5的截面视图。图5B是在第一柱塞10的顶端和弹簧30的顶端这两者均被释放的状态中在根据本专利技术的实施例6中的插座6的截面视图。图6A是在第一柱塞10的顶端和第二柱塞20的顶端这两者均被释放的状态中在对照示例中的插座7的截面视图。图6B是在插座7被安装在检测板8上并且第一柱塞10的顶端被释放的状态中插座7的截面视图。图6C是在插座7被安装在检测板8上并且待检测装置9上的焊料隆起9a被挤压在第一柱塞10的顶端上的状态中插座7的截面视图。具体实施方式下文中，将参考绘图详细描述本专利技术的优选实施例。在分别的绘图中示出的相同或者等价的构成元件、部件等等由相同的附图标记表示，并且重复的说明将被适当地省略。实施例并不限制本专利技术，而是仅仅示例本专利技术，并且在实施例中描述的所有的特征和特征的组合并不是必要地对于本专利技术而言是必须的。实施例1如在图1A中所示，在这个实施例中的插座1包括接触测头70，和用于支撑接触测头70的绝缘支撑体50。虽然图1A示出仅仅一个接触测头70，但是插座1可以是其中多个接触测头70受到公共的绝缘支撑体50支撑的多插针式的。绝缘支撑体50由例如树脂形成，并且设置有用于包含接触测头70的通孔53。绝缘支撑体50包括相互组合并且利用螺钉等紧固的第一绝缘支撑体51和第二绝缘支撑体52。接触测头70具有第一柱塞10、第二柱塞20、弹簧30和导电管40。第一柱塞10和第二柱塞20这两者均由金属材料诸如铜或者铜合金形成。第一柱塞10适于与待检测对象9诸如半导体集成电路连接，并且第二柱塞20适于与测量器械的检测板8连接。弹簧30是由普通材料诸如钢琴丝、不锈钢丝形成的卷簧，并且将第一柱塞10和第二柱塞20在相互远离的方向上推压。按照从顶端侧的次序，第一柱塞10具有顶端侧柱状部11、凸缘部12，和基端侧柱状部13。在检测时(图1C)，顶端侧柱状部11的顶端用作接触部11a，并且与待检测对象9上的焊料隆起9a形成接触。凸缘部12具有比顶端侧柱状部11更大的直径。凸缘部12与在绝缘支撑体50的第一绝缘支撑体51中的通孔53中形成的台阶部53a接合以由此防止第一柱塞10从绝缘支撑体50脱落，并且同时，限制第一柱塞10从绝缘支撑体50的突出量。而且，凸缘部12与导电管40的一端接触。基端侧柱状部13具有比凸缘部12更小的直径，并且位于导电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种插座，包括：接触测头；和绝缘支撑体，所述绝缘支撑体支撑所述接触测头，其中所述接触测头包括：将与待检测对象连接的第一柱塞；将与检测板连接的第二柱塞；和弹簧，所述弹簧构造为将所述第一柱塞和所述第二柱塞在相互分离的方向上推压，并且，在所述第一柱塞的顶端被释放的状态中，在所述弹簧的自然长度的情况下，所述第二柱塞从所述绝缘支撑体的突出量为零。

【技术特征摘要】
2016.02.29 JP 2016-0382081.一种插座，包括：接触测头；和绝缘支撑体，所述绝缘支撑体支撑所述接触测头，其中所述接触测头包括：将与待检测对象连接的第一柱塞；将与检测板连接的第二柱塞；和弹簧，所述弹簧构造为将所述第一柱塞和所述第二柱塞在相互分离的方向上推压，并且，在所述第一柱塞的顶端被释放的状态中，在所述弹簧的自然长度的情况下，所述第二柱塞从所述绝缘支撑体的突出量为零。2.根据权利要求1所述的插座，其中在所述第一柱塞和所述第二柱塞在相互分离的方向上的移动受到限制的状态中，所述弹簧在所述接触测头中被加载，而不依赖于所述绝缘支撑体。3.根据权利要求2所述的插座，其中所述接触测头包括导电管，所述导电管与所述第一柱塞一体地设置，所述第二柱塞在防止从所述导电管脱落的状态中被设置在所述导电管内侧，并且所述弹簧被设置在所述导电管内侧。4.根据权利要求2所述的插座，其中所述第一柱塞和所述第二柱塞中的一个柱塞包括棒状部，所述棒状部穿过所述弹簧，并且所述第一柱塞和所述第二柱塞中的另一个柱塞设置有锁定部，所述锁定部与所述棒状部接合。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本次男，佐藤贤一，奥野刚欣，
申请(专利权)人：株式会社友华，
类型：发明
国别省市：日本,JP