一种等离子体发生器及其等离子体产生方法技术

本发明专利技术公开了一种等离子体发生器，包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源，多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内，相邻催化隔板电极之间形成等离子体腔室；电源正极和电源负极以交错间隔方式与所述催化隔板电极连接；催化隔板电极包括有具有透气功能的电介质和电极，电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成。本发明专利技术通过将多级催化隔板电极以交错间隔方式与电源连接，且催化隔板电极采用具有透气孔的电介质和电极制成，而电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成，可以充分利用放电过程中产生的光辐射能量和电子能量，达到在较低放电电压下产生高电子密度的等离子体。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子体发生器及其等离子体产生方法
本专利技术涉及电气装备
，具体涉及一种等离子体发生器及其等离子体的产生方法。
技术介绍
介质阻挡放电是产生冷等离子体最简单的方法。介质阻挡放电是一种非平衡放电，其在位于电极之间的放电空间内插入绝缘介质，可以在较广的气压范围和较宽的频域内工作。气体放电以后，在放电空间会产生一定密度的电子和不同频率的光辐射，当冷等离子体与催化剂协同作用时，尤其是与光催化剂或电催化剂协同作用时，会极大的提高能量利用效率，降低气体击穿电压，同时也会进一步促进反应物的转化。但是，目前通用的圆筒型介质阻挡反应器和平板型介质阻挡反应器均存在光辐射能量和电子能量利用率低，以及放大性差的问题。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种可以充分利用光辐射能量和电子能量，以及可放大性好的等离子体发生器及其等离子体产生方法。为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：一种等离子体发生器，包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源，其特征在于：所述多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内，相邻催化隔板电极之间具有一定距离，形成等离子体腔室；电源正极和电源负极以交错间隔方式与所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体发生器，包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源，其特征在于：所述多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内，相邻催化隔板电极之间具有一定距离，形成等离子体腔室；电源正极和电源负极以交错间隔方式与所述催化隔板电极连接，连接电源的相邻两个催化隔板电极与催化隔板电极之间的腔室共同形成放电腔室；气体沿着垂直于催化隔板电极的方向导入以及导出所述反应器腔体；所述催化隔板电极包括有具有透气功能的电介质和电极，电极紧密安装在两边的电介质中间；所述电介质由光催化材料、或铁电催化材料、或光催化和铁电材料的混合物质组成。

【技术特征摘要】
1.一种等离子体发生器，包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源，其特征在于：所述多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内，相邻催化隔板电极之间具有一定距离，形成等离子体腔室；电源正极和电源负极以交错间隔方式与所述催化隔板电极连接，连接电源的相邻两个催化隔板电极与催化隔板电极之间的腔室共同形成放电腔室；气体沿着垂直于催化隔板电极的方向导入以及导出所述反应器腔体；所述催化隔板电极包括有具有透气功能的电介质和电极，电极紧密安装在两边的电介质中间；所述电介质由光催化材料、或铁电催化材料、或光催化和铁电材料的混合物质组成。2.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：所述光催化材料为TiO2、ZnO、CdS、WO3、Fe2O3、PbS、SnO2、ZnS、SrTiO3或SiO2；所述铁电催化材料为BaTiO3、CaTiO3、SrTiO3、PbTiO3、ZnTiO3、BaZrO3、PbZrO3或由前面任意两种或几种铁电催化材料组合形成的固溶体。3.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：所述多级催化隔板电极至少设有三个。4.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：所述催化隔板电极之间的间距为0.1-100mm。5.根据权利要求1所述的等离子体发生器，其特征在于：所述电介质中的透气孔的孔径为1nm-5mm。6.根据权利要求5所述的等离子体发生器，其特征在于：所述电介质的透气孔的孔径为50nm至1μm。...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖建忠，张宝顺，鲍守珍，宗冰，蔡延国，王体虎，
申请(专利权)人：亚洲硅业青海有限公司，青海省亚硅硅材料工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：青海,63