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本发明公开了一种等离子体发生器，包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源，多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内，相邻催化隔板电极之间形成等离子体腔室；电源正极和电源负极以交错间隔方式与所述催化隔板电极连接；催化隔板电极包括有具有透气功能的电...该专利属于亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚洲硅业（青海）有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司授权不得商用。