一种真空涂层设备的冷却系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种真空涂层设备的冷却系统，包括板式热交换器、三通自动切换阀和水加热器，板式热交换器连接冷却水进水管和冷却水回水管，三通自动切换阀的第一接口与板式热交换器的左端连接，三通自动切换阀的第二接口与板式热交换器的右端连接，三通自动切换阀的第三接口与水加热器连接，水加热器的出水端所连接的冷却水管路上又连接有温度表和水压表，水压表之后的冷却水管路连接真空涂层设备的阴极部、离子室和腔室。离子室和腔室之后的冷却水管路上连接有增压水泵，增压水泵之后的冷却水管路与板式热交换器的右端连接。本实用新型专利技术可以优化冷却系统，从而节约工艺时间，提高生产效率，控制冷凝水的产生，杜绝电气隐患，保证设备安全。

Cooling system of vacuum coating equipment

The utility model discloses a cooling system for vacuum coating equipment, including plate heat exchanger, three automatic switching valve and water heater, heat exchanger connected to the cooling water inlet pipe and a cooling water return pipe, a first interface and a plate heat exchanger three through the automatic switch valve is connected with the second interface plate heat exchanger three automatic switching valve connected to the right end of the three, through the automatic switch valve third is connected with the water heater interface, cooling water pipe water heater connected way is connected with the thermometer and pressure gauge, pressure gauge, a cathode chamber of the cooling water pipe is connected with the vacuum coating equipment and chamber. A cooling water pump is connected with the cooling water pipe after the ion chamber and the chamber, and the cooling water pipe is connected with the right end of the plate heat exchanger after the booster water pump. The utility model can optimize the cooling system, thereby saving the processing time, improving the production efficiency, controlling the generation of condensed water, eliminating the electric hidden trouble and ensuring the safety of the equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种真空涂层设备的冷却系统
本技术涉及涂层
，特别涉及一种真空涂层设备的冷却系统。
技术介绍
目前，一般涂层工艺可分为待机准备状态－抽真空－加热－刻蚀清洁－涂层，即整个过程中，真空涂层设备采用单一冷却系统进行冷却工作。真空涂层设备的腔体冷却水温度的高低可以直接影响腔室抽真空的速率，低温度的腔体冷却水容易导致腔体内的大气中的水分子被凝固并黏附于腔体表面，被凝固和黏附的水分子将严重影响抽真空的速率从而造成整个工艺时间的延长，在时间上形成了严重的浪费，并且由于环境温度的升高，低温度的冷却水容易产生冷凝水凝结从而危害设备的安全及产生严重的电气隐患。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种真空涂层设备的冷却系统，可以优化冷却系统，从而节约工艺时间，提高生产效率，控制冷凝水的产生，杜绝电气隐患，保证设备安全。为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本技术通过以下技术方案实现：一种真空涂层设备的冷却系统，包括板式热交换器、三通自动切换阀和水加热器，所述板式热交换器连接冷却水进水管和冷却水回水管，所述三通自动切换阀具有第一接口、第二接口和第三接口，所述三通自动切换阀的第一接口与板式热交换器的左端连接，三通自动切换阀的第二接口与板式热交换器的右端连接，三通自动切换阀的第三接口与水加热器连接，水加热器的出水端所连接的冷却水管路上又连接有温度表和水压表，水压表之后的冷却水管路连接真空涂层设备的阴极部、离子室和腔室，真空涂层设备的离子室和腔室之后的冷却水管路上连接有增压水泵，增压水泵之后的冷却水管路最终与板式热交换器的右端连接。进一步的，水压表之后的冷却水管路上连接有冷却水进水阀。进一步的，真空涂层设备的阴极部之后的冷却水管路上连接有冷却水排水阀和冷却水回水阀。本技术的有益效果是：本技术通过三通自动切换阀将其第一接口或第二接口打开或关闭，从而控制冷冷却水和热冷却水之间的转换，从而避免低温度的腔体冷却水所导致的腔体内大气中水分子的凝固及对墙体的黏附，不仅提高了抽真空的速率，节约了工艺时间，而且保证了设备安全，杜绝了电气隐患。本技术中的水加热器可以对冷却系统进行加热。另外，本技术中的温度表可以对冷却水的水温进行监测和控制。附图说明图1为本技术真空涂层设备的冷却系统的示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。如图1所示，一种真空涂层设备的冷却系统，包括板式热交换器1、三通自动切换阀2和水加热器3，所述板式热交换器1连接冷却水进水管4和冷却水回水管5，所述三通自动切换阀2具有第一接口21、第二接口22和第三接口23，所述三通自动切换阀2的第一接口21与板式热交换器1的左端连接，三通自动切换阀2的第二接口22与板式热交换器1的右端连接，三通自动切换阀2的第三接口23与水加热器3连接，水加热器3的出水端所连接的冷却水管路上又连接有温度表6和水压表7，水压表7之后的冷却水管路连接真空涂层设备的阴极部8、离子室9和腔室10。在本技术中，真空涂层设备具有四个阴极部。真空涂层设备的离子室和腔室之后的冷却水管路上连接有增压水泵11，增压水泵11之后的冷却水管路最终与板式热交换器1的右端连接。进一步说，水压表7之后的冷却水管路上连接有冷却水进水阀12。进一步说，真空涂层设备的阴极部8之后的冷却水管路上连接有冷却水排水阀13和冷却水回水阀14。工作时，外部的冷却水通过冷却水进水管4进入板式热交换器1，板式热交换器1对冷却水进行热交换处理，得到冷冷却水。三通自动切换阀2的第一接口21与第三接口23接通，冷冷却水经过水加热器3的加热后，最终为真空涂层设备的阴极部8、离子室9和腔室10提供冷却水，之后，冷却水再经过板式热交换器1，如此循环为真空涂层设备提供冷冷却水。当三通自动切换阀2的第二接口22与第三接口23接通时，冷却水不经过板式热交换器1，而是经过三通自动切换阀2直接进入水加热器3进行加热，从而为真空涂层设备提供热冷却水。在工作过程中，在待机准备状态时，通过切换三通自动切换阀2，使用40℃左右的热冷却水进行冷却，以此来避免在待机时由于温度原因造成腔体内大气中水分子的凝固及对墙体的黏附。在抽真空状态时，也可通过切换三通自动切换阀2，使用40℃左右的热冷却水进行冷却以此来提高抽真空的速率。具体的，0-200℃腔体温度采用热冷却水方式冷却，200-500℃腔体温度采用冷冷却水方式冷却，以此来提高抽真空的速率。在刻蚀清洁步骤中，腔室温度一般在400-500℃之间，从而采用冷冷却水进行冷却。在涂层步骤中，腔室温度一般也在400-500℃之间，故也采用冷冷却水进行冷却。本技术通过三通自动切换阀2控制冷冷却水和热冷却水之间的转换，从而避免低温度的腔体冷却水所导致的腔体内大气中水分子的凝固及对墙体的黏附，不仅提高了抽真空的速率，节约了工艺时间，而且保证了设备安全，杜绝了电气隐患。整个系统中，水加热器3可以对冷却系统进行加热，温度表6可以对冷却水的水温进行监测和控制，水压表7可以监测和控制冷却水的水压。以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空涂层设备的冷却系统，其特征在于：包括板式热交换器、三通自动切换阀和水加热器，所述板式热交换器连接冷却水进水管和冷却水回水管，所述三通自动切换阀具有第一接口、第二接口和第三接口，所述三通自动切换阀的第一接口与板式热交换器的左端连接，三通自动切换阀的第二接口与板式热交换器的右端连接，三通自动切换阀的第三接口与水加热器连接，水加热器的出水端所连接的冷却水管路上又连接有温度表和水压表，水压表之后的冷却水管路连接真空涂层设备的阴极部、离子室和腔室，真空涂层设备的离子室和腔室之后的冷却水管路上连接有增压水泵，增压水泵之后的冷却水管路最终与板式热交换器的右端连接。

【技术特征摘要】
1.一种真空涂层设备的冷却系统，其特征在于：包括板式热交换器、三通自动切换阀和水加热器，所述板式热交换器连接冷却水进水管和冷却水回水管，所述三通自动切换阀具有第一接口、第二接口和第三接口，所述三通自动切换阀的第一接口与板式热交换器的左端连接，三通自动切换阀的第二接口与板式热交换器的右端连接，三通自动切换阀的第三接口与水加热器连接，水加热器的出水端所连接的冷却水管路上又连接有温度表和水压表，水压表之后...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建明，金章斌，邓晓良，
申请(专利权)人：苏州吉恒纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32