微机电系统湿度感测器技术方案
Micro electromechanical system humidity sensor
A microelectromechanical system (micro electro mechanical system, MEMS) humidity sensor, which comprises a first substrate, a second substrate and a sensing structure. The second substrate is substantially parallel to the first substrate. Between the sensing structure between the first substrate and the second substrate, and the substrate part engages the first part and the two substrate, the second substrate includes a conductive layer facing the sensor structure, and the first space between the first substrate and structure between sensing and communicating with the outside or in isolation, and between the conductive layer and the second sense of space and atmosphere test the connectivity between the structure, and the sensing structure, space and second conductive layers capacitor set with dielectric constant to measure the atmosphere, and the atmosphere humidity pressure and temperature derived from the dielectric constant, the atmosphere.
【技术实现步骤摘要】
微机电系统湿度感测器
本揭露实施例是有关于一种微机电系统湿度感测器。
技术介绍
湿度感测器广泛使用于各种领域，以量测特定环境下存在于空气中的水蒸气量。然而使用湿度感测器量测的湿度通常是从边缘电容导出，其值小，因此测试的灵敏度太低。
技术实现思路
根据一些实施例，一种微机电系统(micro-electromechanicalsystem,MEMS)湿度感测器，包含第一基板、第二基板及感测结构。第二基板与第一基板大致平行。感测结构介于第一基板与第二基板之间，并接合第一基板的一部分及第二基板的一部分，其中第二基板包含导电层面对感测结构，且介于第一基板与感测结构之间的第一空间与外部连通或隔离，且介于导电层与感测结构之间的第二空间与气氛连通，且感测结构、第二空间及导电层构成电容器。附图说明为让本揭露的上述和其他目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，所附附图的说明如下：图1绘示根据本揭露数个实施例的一种微机电系统(micro-electromechanicalsystem,MEMS)湿度感测器的剖面示意图；图2绘示根据本揭露数个实施例的一种微机电系统湿度感测器的剖面示意图；图3A...
【技术保护点】
一种微机电系统湿度感测器，其特征在于，包含：一第一基板；一第二基板，与该第一基板大致平行；以及一感测结构，介于该第一基板与该第二基板之间，并接合该第一基板的一部分及该第二基板的一部分，其中该第二基板包含一导电层面对该感测结构，且介于该第一基板与该感测结构之间的一第一空间与外部连通或隔离，且介于该导电层与该感测结构之间的一第二空间与一气氛连通，且该感测结构、该第二空间及该导电层构成一电容器。
【技术特征摘要】
2016.02.25 US 15/053,9061.一种微机电系统湿度感测器，其特征在于，包含：一第一基板；一第二基板，与该第一基板大致平行；以及一感测结构，介于该第一基板与该第二基板之间，并接合该...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈东村，朱家骅，黄睿政，郑钧文，谢正祥，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71
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