基于三坐标的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法技术

一种基于三坐标的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法，包括：首先将待检测元件放置于三坐标同一稳定环境中，放置8小时以上，然后对待检测元件进行清洁，将清洁后的待检测元件放置于三坐标的工作台上，在三坐标内导入待检测元件理论模型，建立测针测量路径对待检测元件进行测量。本发明专利技术测量误差小于(0.4+L/1000)μm。

Detection method of large diameter and complex free-form surface element based on three coordinate

Based on the three coordinates of the large scale and complicated free surface element detection method, which includes: first detecting element is arranged in the same stable three coordinate environment, placed more than 8 hours, and then treat the detecting element for cleaning, after cleaning the table will be placed on the three coordinates of the detection element, in three coordinate detecting element into the theoretical model, a probe measuring path towards detecting element measurement. The measuring error of the invention is less than (0.4+L/1000) mu m.

【技术实现步骤摘要】
基于三坐标的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法
本专利技术涉及光学元件测量，特别是一种基于三坐标的口径大于100mm的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法。
技术介绍
自由曲面没有严格确切的定义,通常是指无法用球面或者非球面系数来表示的光学曲面,主要是指非旋转对称的曲面或者只能用参数向量来表示的曲面，如NURBS曲面。虽然自由曲面已经取得了越来越多的应用,但是无论是制作成本还是其加工的精度都远不能和传统的非球面相比,其中的主要障碍之一是面形的精密检测。目前复杂自由曲面的检测方法主要有2种，一种是非接触式的激光测量法，此方法测量最高精度远远高于三坐标，但是此方法只是对光学复杂自由曲面的测量时才能达到高精度，有局限性。另一种是接触式的测量方法，主要设备以轮廓仪和三坐标为主，轮廓仪虽然精度也普遍高于三坐标，但是高精度的轮廓仪测量量口径往往很小，同样有局限性。当前较高精度的三坐标理论测量误差在1μm-2μm左右，超高精度三坐标理论测量误差可以＜1μm，但是在实际测量中测量误差要＜1μm，仍然是一技术难题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于三坐标的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于三坐标的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法，其特征在于，包括：首先将待检测元件放置于三坐标同一稳定环境中，放置8小时以上，然后对待检测元件进行清洁，将清洁后的待检测元件放置于三坐标的工作台上，在三坐标内导入待检测元件理论模型，建立测针测量路径对待检测元件进行测量，其中：测针的测杆直径为2.0mm，有效工作长度为15mm，测针总长度为25mm，测球直径为3mm，测针的测力为100mN。

【技术特征摘要】
1.一种基于三坐标的大口径、复杂自由曲面元件的检测方法，其特征在于，包括：首先将待检测元件放置于三坐标同一稳定环境中，放置8小时以上，然后对待检测元件进行清洁，将清洁后的待检测元件放置于三坐标的工作台上，在三坐标内导入待检测元件理论模型，建立测针测量路径对待检测元件进行测量，其中：测针的测杆直径为2.0mm，有效工作长度为15mm，测针总长度为25mm，测球直径为3mm，测针的测力为100mN。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的稳定环境具体是：温度为20°±0.5°，湿...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴国涛，
申请(专利权)人：上海现代先进超精密制造中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31