基于光子晶体的柔性激光器及其制备方法技术

本发明专利技术属于激光器技术领域，尤其涉及一种基于光子晶体的柔性激光器及其制备方法。该柔性激光器包括位于该柔性激光器内部的L3型光子晶体薄板和包裹该L3型光子晶体薄板的柔性材料层；所述L3型光子晶体薄板包括位于所述L3型光子晶体薄板中心的缺陷区和形成在所述缺陷区外围的孔洞区，所述孔洞区包括多个大小均匀、且垂直贯穿所述L3型光子晶体薄板的孔洞，所述缺陷区的大小为三个平行设置的孔洞位点对应的区域大小，且所述L3光子晶体薄板包括依次叠层设置的第一保护层、第一涂层、发光层、第二涂层、第二保护层。该柔性激光器不仅从而实现了激光器件的小型化，而且实现了激光器的柔性化，使其结构参数可调，输出特性可调。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基于光子晶体的柔性激光器及其制备方法
本专利技术属于激光器
，尤其涉及一种基于光子晶体的柔性激光器及其制备方法。
技术介绍
激光器在科学研究，医疗，军事，工程建造等各个领域具有广泛而重要的应用。随着社会的发展及科技的进步，为了拓宽激光器的应用范围，增强其耐用性，人们对于具有效率高、环境友好、柔性可拉伸等优点的新型激光器的需求逐渐增加。近年来，柔性电子学得到了极大的发展。市面上出现的柔性显示器、可穿戴电子等面向于消费级别的电子产品日趋丰富与成熟。然而，柔性光子或光电子器件仍处于起步阶段。目前学界所研发的小型激光器主要是生长在非柔性的半导体衬底上，单个激光器器件的尺度也从几十纳米到几百微米不等。2006年，由美国加州理工ZhaoyuZhang研究小组提出并实验完成了基于L3缺陷光子晶体激光器设计。该激光器是在III-V族外延片经过刻蚀等加工工艺制作而成的。激光器最小特征尺寸在70nm，总体尺寸在几个微米。在可见光频谱范围内实现了670nm附近的红光的单峰激射，并且激射波长可以通过改变结构参数实现在670nm附近范围内移动。然而由于激光器固定在非柔性衬底上，只能通过单次结构参数设计来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于光子晶体的柔性激光器，其特征在于，包括位于所述柔性激光器内部的L3型光子晶体薄板和包裹所述L3型光子晶体薄板的柔性材料层；所述L3型光子晶体薄板包括位于所述L3型光子晶体薄板中心的缺陷区和形成在所述缺陷区外围的孔洞区，所述孔洞区包括多个大小均匀、且垂直贯穿所述L3型光子晶体薄板的孔洞，所述缺陷区的大小为三个平行设置的孔洞位点对应的区域大小，且所述L3光子晶体薄板包括依次叠层设置的第一保护层、第一涂层、发光层、第二涂层、第二保护层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基于光子晶体的柔性激光器，其特征在于，包括位于所述柔性激光器内部的L3型光子晶体薄板和包裹所述L3型光子晶体薄板的柔性材料层；所述L3型光子晶体薄板包括位于所述L3型光子晶体薄板中心的缺陷区和形成在所述缺陷区外围的孔洞区，所述孔洞区包括多个大小均匀、且垂直贯穿所述L3型光子晶体薄板的孔洞，所述缺陷区的大小为三个平行设置的孔洞位点对应的区域大小，且所述L3光子晶体薄板包括依次叠层设置的第一保护层、第一涂层、发光层、第二涂层、第二保护层。2.如权利要求1所述的柔性激光器，其特征在于，所述L3型光子晶体薄板的厚度范围为180nm-200nm，且所述柔性激光器的厚度范围为2μm-3μm。3.如权利要求2所述的柔性激光器，其特征在于，所述L3型光子晶体薄板的周期T范围为0.14μm-0.18μm，所述孔洞的半径范围为0.25T-0.29T。4.如权利要求3所述的柔性激光器，其特征在于，所述孔洞区设有与所述缺陷区在同一直线、且位于所述缺陷区两端的第一孔洞、第二孔洞，所述第一孔洞和所述第二孔洞的两孔中心距为4.4T，所述孔洞区设有与所述缺陷区在同一直线、且与所述第一孔洞相邻的第三孔洞，以及与所述缺陷区在同一直线、且与所述第二孔洞相邻的第四孔洞，所述第一孔洞和所述第三孔洞的两孔中心距为0.8T，所述第二孔洞和所述第四孔洞的两孔中心距为0.8T；和/或所述孔洞区设有与所述缺陷区在同一直线、且位于所述缺陷区两端的第一孔洞、第二孔洞，所述第一孔洞和第二孔洞的半径为所述孔洞区中其他孔洞半径的0.8-1.2倍，且所述第一孔洞和第二孔洞的半径与所述孔洞区中其他孔洞半径不相等。5.如权利要求1所述的柔性激光器，其特征在于，所述柔性材料包括PMDS、PET、PEN、PEEK、PES、PAR、PCO、PNB和PI中的至少一种。6.如权利要求1-5任一所述的柔性激光器，其特征在于，所述第一保护层为N型InGaP层，且所述N型InGaP层的厚度为10-20nm；和/或所述第二保护层为P型InGaP层，且所述P型InGaP层的厚度为10-20...

【专利技术属性】
技术研发人员：张昭宇，周杰，何克波，
申请(专利权)人：香港中文大学深圳，
类型：发明
国别省市：广东,44