测试设备及其给电治具制造技术

本发明专利技术实施例提供了一种给电治具，用于对半导体激光器未电隔离裸BAR测试时注入大电流，给电治具包括探针夹具和多个弹性探针，探针夹具夹持固定多个弹性探针，多个弹性探针的针尖一端处于同一平面。本发明专利技术实施例还涉及一种测试设备。本发明专利技术实施例的给电治具的弹性探针针尖处于同一平面，通过测试设备，与未电隔离裸BAR接触良好，有利于未电隔离裸BAR测试。

【技术实现步骤摘要】
测试设备及其给电治具
本专利技术涉及半导体激光器芯片测试
，特别是涉及一种测试设备及其给电治具。
技术介绍
随着半导体激光器(LD,LaserDiode)应用领域如LD泵浦固体激光器(DPL，Diode-PumpedSolid-StateLaser)、各类光纤激光器的泵源、激光切割、焊接、医疗以及激光军事应用等的日益拓宽，对半导体激光器输出功率、可靠性的要求也越来越大。半导体激光器芯片是半导体激光器核心部分，具有半导体激光器“CPU”之称。Fullbar是一种未电隔离的大功率半导体激光器芯片，对未电隔离的大功率半导体激光器裸BAR的性能参数(如LIV特性、光谱特性等)进行测试和表征是深刻理解激光器芯片特性、优化芯片结构设计及完善芯片生产工艺的关键，同时也是判断激光器芯片好坏的重要依据。因此对未电隔离的大功率半导体激光器芯片进行无损测试不论对于科研单位、生产厂商、使用客户都具有极为重要的意义。对未电隔离的大功率半导体激光器裸BAR进行无损测试，需保证在测试给电时给电治具与裸BAR以一定压力的可靠接触，且给电治具需稳定、均匀注入较大的电流，因此对裸BAR测试时所需的给电治具提出了较本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种给电治具，用于对半导体激光器未电隔离裸BAR测试时注入大电流，其特征在于，所述给电治具包括探针夹具和多个弹性探针，所述探针夹具夹持固定所述多个弹性探针，所述多个弹性探针的针尖一端处于同一平面。

【技术特征摘要】
1.一种给电治具，用于对半导体激光器未电隔离裸BAR测试时注入大电流，其特征在于，所述给电治具包括探针夹具和多个弹性探针，所述探针夹具夹持固定所述多个弹性探针，所述多个弹性探针的针尖一端处于同一平面。2.根据权利要求1所述的给电治具，其特征在于，所述探针夹具包括探针座和探针固定件，所述探针座设有容置空间，所述多个弹性探针设于所述容置空间内，所述探针固定件用于固定所述多个弹性探针。3.根据权利要求2所述的给电治具，其特征在于，所述探针座包括探针座本体和从所述探针座本体一侧延伸的凸耳，所述容置空间形成于所述探针座本体的中部，所述凸耳用于预固定给电电源输出电线。4.根据权利要求3所述的给电治具，其特征在于，所述探针座本体的中部形成有第一凹槽，所述第一凹槽贯穿所述探针座本体的宽度方向设置，所述第一凹槽内设有容置空间，所述容置空间形成于所述容置块，所述容置空间为第二凹槽。5.根据权利要求4所述的给电治具，其特征在于，所述容置块顶面低于所述探针座本体的顶面，所述容置块的宽度小于所述探针座本体的宽度，所述第一凹槽内临近所述容置块的空间用于放置焊料。6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海，李国泉，王泰山，李成鹏，刘文斌，方继林，
申请(专利权)人：深圳瑞波光电子有限公司，深圳清华大学研究院，
类型：发明
国别省市：广东,44