The utility model discloses a zirconia substrate casting production equipment, which is characterized in that the surface of the working platform of the laying of stainless steel plate material casting bearing plate, unwinding mechanism unwinding with membrane levels through the surface of the working platform by the rolling mechanism of end winding, unwinding mechanism in the work platform close to a casting device, a drying chamber is arranged above the working platform, a plurality of mutually communicated and closed drying chamber drying space formed above the working platform, the drying space inside front position is provided with a first exhaust pipe, closed in the middle position is provided with second exhaust pipe, the drying chamber is provided with a glass plate, the glass baffle on the membrane from the drying chamber were blocked on the glass, in the transverse direction and the horizontal baffle is inclined, the casting of the bearing plate is arranged at the bottom of the electric thermocouple Wire heater. The utility model can meet the requirements of high efficiency and high quality production of the zirconia base plate, and the zirconium oxide substrate produced by the utility model has no crack, smooth surface and uniform thickness.
【技术实现步骤摘要】
氧化锆基片的流延生产设备
本技术涉及氧化锆传感器
,具体涉及氧化锆传感器芯片制作的氧化锆基片流延生产设备。
技术介绍
氧化锆传感器用于测量汽车燃烧过程中残余氧量,它在减少环境污染、提高燃烧效率方面起着积极的作用。氧化锆传感器的关键部件是氧化锆芯片,氧化锆芯片最新采用多层氧化锆基片上下叠压工艺。现有技术中,氧化锆基片采用流延方式进行生产,在流延生产的流延阶段,目前通常采用单一刀头的平刮刀来对浆料表面进行刮平来形成坯料,由于浆料的黏度和流变特性的控制比较困难,所以坯片表面在流延阶段易生成表面条纹;另外,当通过多个供料管道对储料槽进行连续供料时,浆料在混合时也会导致因为浆料在移动过程中无法保持均匀而趋于短程有序,使坯片表面产生条纹;还有,在流延生产的干燥阶段,坯片在干燥室内的干燥过程通常采用鼓入热风的方式,鼓入热风的方式会在干燥室内形成较大的空气扰动,由于浆料中含大量的添加剂和溶剂,在坯片的干燥过程中,每种浆料的坯片的干燥行为具有非常大的差异,而且坯片在干燥过程中坯片中的溶剂都是从坯片的上表面单面蒸发,并且因为坯片的厚度薄(一般在0.1-0.2mm),所以坯片在干燥阶段非常容易产生弯曲开裂等现象,严重制约氧化锆基片的高效高质生产,不仅影响氧化锆芯片的制作质量,而且影响氧化锆传感器的测量精度和工作稳定性。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术的目的是提供一种可满足氧化锆基片高效高质生产的流延生产设备。本技术是通过以下技术方案来实施的:氧化锆基片的流延生产设备,其特征在于:包括工作平台和设于工作平台前后端的放卷、收卷机构,工作平台的表面铺设不锈钢板材料的流延承 ...
【技术保护点】
氧化锆基片的流延生产设备,其特征在于:包括工作平台和设于工作平台前后端的放卷、收卷机构,工作平台的表面铺设不锈钢板材料的流延承载板,放卷机构所放卷的膜带在水平经过工作平台的表面后由收卷机构进行收卷,工作平台在靠近放卷机构的一端设有流延装置,工作平台的上方沿前后方向设有多个干燥室,多个干燥室相互相通并在工作平台的上方形成封闭干燥空间,封闭干燥空间内在前端位置设有第一排气管、在中间位置设有第二排气管,第一、第二排气管的排气进口朝上,第一、第二排气管的排气出口与抽风风机相通,干燥室内设有玻璃挡板,玻璃挡板离开工作平台表面的高度距离不超过5cm,玻璃挡板对从干燥室内通过的所述膜带进行上遮挡,玻璃挡板在横向方向上与水平呈倾斜设置,所述流延承载板的底部安装带热电偶的电阻丝加热器,不同干燥室具有不同加热温度控制。
【技术特征摘要】
1.氧化锆基片的流延生产设备,其特征在于:包括工作平台和设于工作平台前后端的放卷、收卷机构,工作平台的表面铺设不锈钢板材料的流延承载板,放卷机构所放卷的膜带在水平经过工作平台的表面后由收卷机构进行收卷,工作平台在靠近放卷机构的一端设有流延装置,工作平台的上方沿前后方向设有多个干燥室,多个干燥室相互相通并在工作平台的上方形成封闭干燥空间,封闭干燥空间内在前端位置设有第一排气管、在中间位置设有第二排气管,第一、第二排气管的排气进口朝上,第一、第二排气管的排气出口与抽风风机相通,干燥室内设有玻璃挡板,玻璃挡板离开工作平台表面的高度距离不超过5cm,玻璃挡板对从干燥室内通过的所述膜带进行上遮挡,玻璃挡板在横向方向上与水平呈倾斜设置,所述流延承载板的底部安装带热电偶的电阻丝加热器,不同干燥室具有不同加热温度控制。2.如权利要求1所述的氧化锆基片的流延生产设...
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