样品传送装置及超高真空传输设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种样品传送装置及超高真空传输设备，所述样品传送装置包括：轨道，以及沿所述轨道延伸方向，分设于所述轨道两侧的引导轨；与所述两个引导轨分别对应的两个悬浮架，所述引导轨和/或悬浮架上设置有电磁机构，所述电磁机构用于提供所述悬浮架悬浮的作用力；设置在悬浮架和引导轨上的驱动电机，用于驱动所述悬浮架沿所述引导轨运动；样品室，连接至所述两个悬浮架。本发明专利技术的优点在于，解决了在真空设备中样品的传送距离过短，摩擦阻力过大等问题，实现了在真空设备中样品无阻畅通地传送的目的。

Sample transfer device and ultrahigh vacuum transmission equipment

The present invention provides a sample conveying device and ultra high vacuum transmission equipment, the sample transfer device includes a rail, and along the track extending direction, guide rail arranged on both sides of the track; and the two guide rail respectively corresponding to the two suspension frame, the guide rail and / or the suspension frame is arranged on the electromagnetic mechanism, the electromagnetic force provides the mechanism for suspension suspension; set in the suspension frame and the guide rail driving motor, to drive the suspension frame along the guide rail; the sample room, connected to the two suspension. The invention has the advantages that the transmission distance of the sample in the vacuum device is too short and the frictional resistance is too large, etc., and the purpose of unimpeded unimpeded delivery of the sample in the vacuum device is realized.

【技术实现步骤摘要】
样品传送装置及超高真空传输设备
本专利技术涉及真空传送领域，尤其涉及一种样品传送装置及超高真空传输设备。
技术介绍
在超高真空材料的生长及测试领域中，由于在传统的真空实验设备腔室内，样品进出真空腔室一般都依靠传送杆传送。在常规的样品传送过程中，首先，将样品放在带有样品放置台的传送杆上；然后，将样品传递窗口关闭；传送室抽真空，当真空度低于一定值的时候，打开真空腔室的样品传送门，这时手动推动样品传送杆将样品慢慢推进超高真空腔室内。当样品到达真空腔室，将样品卸下来，同时将传送杆缓慢移出真空腔室内，并关闭真空腔室。但是，这种方法在样品传送过程中存在以下不足：1、由于样品是放在传送杆上的，所以传送杆的长度直接决定了样品的传送距离；对于超高真空互联装置这种需要样品传输距离较长的实验室，机械传送臂的适用性大打折扣；2、由于整个实验设备都处在真空环境下，当我们手动推送传送杆时，传送杆和传送轨之间的摩擦力很大，这都大大限制了这种方法的使用范围。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种样品传送装置及超高真空传输设备，其能够方便地在真空中传送样品，且提高了样品的传输速率和效率。为了解决上述问题，本专利技术提供了一种样品传送装置，包括：轨道，以及沿所述轨道延伸方向，分设于所述轨道两侧的引导轨；与所述两个引导轨分别对应的两个悬浮架，所述引导轨和/或悬浮架上设置有电磁机构，所述电磁机构用于提供所述悬浮架悬浮的作用力；设置在悬浮架和引导轨上的驱动电机，用于驱动所述悬浮架沿所述引导轨运动；样品室，连接至所述两个悬浮架。进一步，还包括设置在所述引导轨或悬浮架上的气隙传感器，所述气隙传感器用于控制所述悬浮架的悬浮高度。进一步，所述悬浮架凹设有安装槽，所述引导轨配合于所述安装槽内。进一步，所述驱动电机分别设置于所述引导轨上表面、以及所述安装槽的对应内侧表面上。进一步，所述电磁机构设置于所述悬浮架安装槽与所述引导轨下表面对应的内侧表面上。进一步，所述引导轨为F形轨道，和/或所述引导轨与所述轨道固定连接。进一步，还包括一轨道底座，所述轨道设置在所述轨道底座上方且与所述轨道底座连接以支撑所述轨道。进一步，所述驱动电机为直线电机。进一步，所述悬浮架与所述样品室通过一连接器可拆卸连接。本专利技术还提供一种超高真空传输设备，包括样品传送室以及位于所述样品传送室内如上述的样品传送装置。本专利技术的优点在于，解决了在超高真空设备中样品的传送距离过短，摩擦阻力过大等问题，实现了在真空设备中样品无阻畅通地传送的目的。附图说明图1是本专利技术样品传送装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术提供的样品传送装置及超高真空传输设备的具体实施方式做详细说明。图1是本专利技术样品传送装置的结构示意图。参见图1，本专利技术样品传送装置包括轨道1、两个悬浮架2、驱动电机3及样品室4。所述轨道1延伸至所述超高真空设备的样品传送室内，所述轨道1可延伸至真空设备末端，进而不会限制样品的传送距离。沿所述轨道1延伸方向，在所述轨道1两侧分别设置有引导轨5。优选地，所述引导轨5为F形轨道，其形状像英文F，是悬浮架承受悬浮力、导向力及牵引力的基础构件，实现悬浮、导向、牵引、制动、悬浮间隙测量等功能。进一步，所述引导轨5与所述轨道1固定连接。本专利技术样品传送装置还包括一轨道底座6，所述轨道1设置在所述轨道底座6上方且与所述轨道底座6连接，所述轨道底座6支撑所述轨道1。且所述轨道底座6加高引导轨5的悬空高度，进而避免影响悬浮架2运行。两个悬浮架2与所述两个引导轨5分别对应。进一步，每一悬浮架2凹设有安装槽10，在本具体实施方式中，所述悬浮架2为凹型结构，所述凹型结构的凹陷即为安装槽10。所述引导轨5配合于所述安装槽10内，即所述引导轨5延伸入所述安装槽10内，以使所述悬浮架2与所述引导轨5配合进行传送。进一步，所述引导轨5和/或悬浮架2上设置有电磁机构7，所述电磁机构7用于提供所述悬浮架5悬浮的作用力。在本具体实施方式中，所述电磁机构7设置于所述悬浮架安装槽10与所述引导轨5下表面对应的内侧表面上，即所述电磁机构7嵌入安装槽10内侧表面。所述驱动电机3设置在悬浮架2和引导轨5上，用于驱动所述悬浮架2沿所述引导轨5运动，驱动电机的作用是牵引和导向。在本具体实施方式中，所述驱动电机3为直线电机。所述驱动电机3的两部分分别设置在所述引导轨5上表面、以及所述安装槽10的对应内侧表面上。所述样品室4用于放置样品，所述样品室4设置在所述轨道1及悬浮架2上方，每一悬浮架2的顶端连接至所述样品室4的下端，所述悬浮架2可对所述样品室4起到支撑作用。优选地，所述悬浮架2与所述样品室4通过一连接器9可拆卸连接，所述样品室4可从所述连接器9上拆卸，安装样品或者清洗，待需要使用时，再将所述样品室4与所述连接器9连接。进一步，还包括设置在所述引导轨5或悬浮架2上的气隙传感器8，所述气隙传感器8用于控制所述悬浮架2的悬浮高度。在本具体实施方式中，所述气隙传感器8设置在引导轨5下方，例如引导轨5的F形状的两个横杆之间。所述气隙传感器8用于检测悬浮架2与引导轨5之间的距离，并可通过控制器调节两者之间的距离。进而控制所述悬浮架2的悬浮高度。当引导轨5和电磁机构7受到外界作用距离发生变化时，气隙传感器8感受到的磁相互作用发生变化，通过反馈改变电磁机构的电流大小来控制引导轨5和电磁机构7的磁相互作用力，从而达到调节距离的作用。,本专利技术还提供一种超高真空传输设备，包括样品传送室（附图中未标示）以及位于所述样品传送室内如上述的样品传送装置。本专利技术样品传送装置的工作过程如下。电磁机构7通电后产生磁力，此时安装在轨道1上的引导轨5和电磁机构7相互吸引，由于磁相互吸引力将悬浮架2向上吸引，进而使悬浮架2及设置于悬浮架2上的样品室4悬浮，悬浮高度通过安装在引导轨5下方的气隙传感器8控制。启动驱动电机3，悬浮的样品室4在驱动电机3的驱动下沿轨道1延伸方向运动，将载有样品的样品室4送入真空腔室。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种样品传送装置，其特征在于，包括： 轨道，以及沿所述轨道延伸方向，分设于所述轨道两侧的引导轨； 与所述两个引导轨分别对应的两个悬浮架，所述引导轨和/或悬浮架上设置有电磁机构，所述电磁机构用于提供所述悬浮架悬浮的作用力；设置在悬浮架和引导轨上的驱动电机，用于驱动所述悬浮架沿所述引导轨运动； 样品室，连接至所述两个悬浮架。

【技术特征摘要】
1.一种样品传送装置，其特征在于，包括：轨道，以及沿所述轨道延伸方向，分设于所述轨道两侧的引导轨；与所述两个引导轨分别对应的两个悬浮架，所述引导轨和/或悬浮架上设置有电磁机构，所述电磁机构用于提供所述悬浮架悬浮的作用力；设置在悬浮架和引导轨上的驱动电机，用于驱动所述悬浮架沿所述引导轨运动；样品室，连接至所述两个悬浮架。2.根据权利要求1所述的样品传送装置，其特征在于，还包括设置在所述引导轨或悬浮架上的气隙传感器，所述气隙传感器用于控制所述悬浮架的悬浮高度。3.根据权利要求1所述的样品传送装置，其特征在于，所述悬浮架凹设有安装槽，所述引导轨配合于所述安装槽内。4.根据权利要求3所述的样品传送装置，其特征在于，所述驱动电机分别设置于所述引导轨上表面、以及所述安装槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：蓝剑越，刘争晖，徐耿钊，钟海舰，陈科蓓，张春玉，徐科，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：江苏,32