高通量锰钴镍氧薄膜样品、其制备方法及应用技术

本发明专利技术公开了一种高通量锰钴镍氧薄膜样品、其制备方法及应用。制备方法包括：采用电子束蒸发的方式蒸镀0Q2亚层，沿衬底的第一径向方向逐渐移动掩模版进行遮蔽，以使0Q2亚层的厚度沿第一径向呈梯度变化；利用第二靶材蒸镀1L亚层，沿第二径向呈梯度变化；利用第三靶材蒸镀&R2亚层，沿第三径向呈梯度变化；循环重复蒸镀过程，获得叠层前体膜；进行退火处理获得高通量锰钴镍氧薄膜样品；其中，第一、第二和第三径向两两之间呈角度设置。本发明专利技术所提供的技术方案在蒸镀过程中结合高通量技术，在一个衬底上合成多个化学计量比的锰钴镊氧薄膜材料，后续通过表征筛选性能优良的锰钴镍氧化合物，显著提升了该化合物的筛选效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体材料制备，尤其涉及一种高通量锰钴镍氧薄膜样品、其制备方法及应用。

技术介绍

1、“材料高通量实验”是在短时间内完成大量样品的制备与表征的实验方法。其核心思想是将传统材料研究中采用的顺序迭代方法改为并行处理，以量变引起材料研究效率的质变。在1970年hanank提出了高通量实验最基本的特征：1)高通量合成制备，即在1次实验中完成多组分目标材料体系制备，使制备具有高效性、系统性和一致性；2)快速分析测试，即采用扫描式、自动化、快速的分析测试技术，原则上1天制备的样品1天内完成测试分析，避免成为瓶颈；3)计算机数据处理输出，即充分利用计算机数据处理和分析功能，以表格、图形等多种形式输出。

2、在此基础上，经过多年发展与演化，形成了新型高通量组合材料的实验流程。它除保持传统特征外，还具有若干重要的新特点，如：1)强调实验设计的重要性，合理的实验设计减少工作量，提高筛选速度和成功率；2)明确材料数据库在流程中的轴心位置，材料数据库兼具实验管理、数据处理、信息存储、数据挖掘等多项功能；3)注重材料计算模拟与实验的互动，相互验证，便于及时本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高通量锰钴镍氧薄膜样品的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一靶材的材质包括MnO2或金属Mn；

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，至少所述第一靶材或第二靶材为氧化物，和/或所述退火处理在含氧气氛中进行。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述MnO2亚层的沉积速率为沉积时间为160-200s；

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述MnO2亚层、Ni亚层、CoO亚层的循环重复的周期为5-20个周期。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特...

【技术特征摘要】

1.一种高通量锰钴镍氧薄膜样品的制备方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一靶材的材质包括mno2或金属mn；

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，至少所述第一靶材或第二靶材为氧化物，和/或所述退火处理在含氧气氛中进行。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述mno2亚层的沉积速率为沉积时间为160-200s；

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述mno2亚层、ni亚层、coo亚层的循环重复的周期为5-20个周期...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋贺伦，王园园，赵媛媛，朱煜，王荣新，王志鹏，殷志珍，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：