The utility model provides a semiconductor factory fresh air unit, comprises an upper box and a lower box body and the box body through a horizontally spaced insulation partition plate, which is characterized in that the lower box body comprises a filter chamber, air chamber and air chamber, the filter cavity is provided with a primary filter, high efficiency filter, filter, a number of chemical chlorine filters and ultraviolet germicidal lamp, cold air cavity are sequentially arranged on the wet membrane filter and cooler, air cavity are arranged at both sides of No. two and No. two air blower air valve, a heating device is provided with a hot blast chamber; No. two, No. two wet chemical filter membrane filter and activated carbon filter is arranged on the box body. The utility model has the advantages of simple structure, convenient operation, can achieve the fresh air for sterilization, the filtering effect of removal of corrosive gases, modular and output filter settings, air return air pressure is stable, within the plant, providing clean working space, the output of gas filter corrosive gases, protect the environment.
【技术实现步骤摘要】
一种半导体厂房新风机组
本技术涉及半导体
,特别是涉及一种半导体厂房新风机组。
技术介绍
目前,半导体厂房存在四大类污染,颗粒、纤维、细菌、粘液等,有一部分是操作中产生的,而有一部分是新风系统导致的。现有新风系统大多包括空气过滤装置,除菌效果差,氯的含量过高将导致晶片表面受到不需要的刻蚀,也无模块化式部署,结构复杂,成本高,空气洁净度达不到半导体厂房的等级。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点,本技术的目的在于提供一种半导体厂房新风机组,用于解决现有技术的难点。为实现上述目的及其他相关目的,本技术提供一种半导体厂房新风机组,包括:箱体,所述箱体包括通过水平放置的保温隔板隔开的上箱体1和下箱体2,其特征在于,所述下箱体包括通过水平放置的T字型保温隔板隔开的过滤腔3、冷风腔4和热风腔5,所述过滤腔3远离冷风腔4的一侧设置有一号进风风阀31,所述过滤腔3内随新风输入方向依次设置有初效过滤器32、中高效过滤器33、氯气过滤器34和一号化学过滤器35,所述过滤腔3顶部安装有紫外线杀菌灯36;所述冷风腔4靠近过滤腔3的一侧设置有一号风机41,所述冷风腔4的另一侧设置有一号出风风阀42,所述冷风腔4内随新风输入方向依次设置一号湿膜过滤器43和表冷器44,所述热风腔5靠近过滤腔3的一侧设置有二号风机51,所述热风腔5的另一侧设置有二号出风风阀52,所述热风腔5内设置有电热装置53;所述上箱体1靠近一号出风风阀42的一侧设置有一号回风风阀11,所述上箱体1内随回风输出方向依次设置有二号化学过滤器12、二号湿膜过滤器13和活性炭过滤装置14,所述上箱体1远离一号回风风 ...
【技术保护点】
一种半导体厂房新风机组,包括:箱体,所述箱体包括通过水平放置的保温隔板隔开的上箱体(1)和下箱体(2),其特征在于,所述下箱体包括通过水平放置的T字型保温隔板隔开的过滤腔(3)、冷风腔(4)和热风腔(5),所述过滤腔(3)远离冷风腔(4)的一侧设置有一号进风风阀(31),所述过滤腔(3)内随新风输入方向依次设置有初效过滤器(32)、中高效过滤器(33)、氯气过滤器(34)和一号化学过滤器(35),所述过滤腔(3)顶部安装有紫外线杀菌灯(36);所述冷风腔(4)靠近过滤腔(3)的一侧设置有一号风机(41),所述冷风腔(4)的另一侧设置有一号出风风阀(42),所述冷风腔(4)内随新风输入方向依次设置一号湿膜过滤器(43)和表冷器(44),所述热风腔(5)靠近过滤腔(3)的一侧设置有二号风机(51),所述热风腔(5)的另一侧设置有二号出风风阀(52),所述热风腔(5)内设置有电热装置(53);所述上箱体(1)靠近一号出风风阀(42)的一侧设置有一号回风风阀(11),所述上箱体(1)内随回风输出方向依次设置有二号化学过滤器(12)、二号湿膜过滤器(13)和活性炭过滤装置(14),所述上箱体(1 ...
【技术特征摘要】
1.一种半导体厂房新风机组,包括:箱体,所述箱体包括通过水平放置的保温隔板隔开的上箱体(1)和下箱体(2),其特征在于,所述下箱体包括通过水平放置的T字型保温隔板隔开的过滤腔(3)、冷风腔(4)和热风腔(5),所述过滤腔(3)远离冷风腔(4)的一侧设置有一号进风风阀(31),所述过滤腔(3)内随新风输入方向依次设置有初效过滤器(32)、中高效过滤器(33)、氯气过滤器(34)和一号化学过滤器(35),所述过滤腔(3)顶部安装有紫外线杀菌灯(36);所述冷风腔(4)靠近过滤腔(3)的一侧设置有一号风机(41),所述冷风腔(4)的另一侧设置有一号出风风阀(42),所述冷风腔(4)内随新风输入方向依次设置一号湿膜过滤器(43)和表冷器(44),所述热风腔(5)靠近过滤腔(3)的一侧设置有二号风机(51),所述热风腔(5)的另一侧设置有二号出风风阀(52),所述热风腔(5)内设置有电热装置(53);所述上箱体(1)靠近一号出风风阀(42)的一侧设置有一号回风风阀(11),所述上箱体(1)内随回风输出方向依次设置有二号化学过滤器(12)、二号湿膜过滤器(...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨林峰,
申请(专利权)人:海太半导体无锡有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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