分级过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种化学机械抛光中的分级过滤装置，包括固定架、连接板、第一壳体、第二壳体、第一密封圈和第一过滤网，所述连接板与固定架连接，所述第一壳体与连接板连接，所述第一壳体顶部设置有抛光液流入口，所述第一壳体的内腔底部设置有环形台阶，所述第一密封圈安装在所述环形台阶上，所述第二壳体通过卡扣与第一壳体连接，所述第二壳体内腔上部设置有环形槽，第一过滤网安装在环形槽中，所述第一壳体、第二壳体和第一过滤网构成一级过滤装置。本实用新型专利技术可根据过滤精度来增加、减少层级，不同层级间使用卡扣连接，便于拆卸和更换，能承受较大液压而不外溢，有效控制杂质及大颗粒的产生，对抛光后的划痕和缺陷有明显的改善效果。

Grading filter

The utility model provides a hierarchical filtering device in chemical mechanical polishing, which comprises a fixing frame, a connecting plate, a first shell and a second shell, a first sealing ring and the first filter, the connecting plate is connected with the fixed frame is connected with the connecting plate of the first casing and the first casing is arranged on the top of the polishing liquid flow entrance, the bottom of the inner cavity of the first housing is provided with an annular step, the first sealing ring is arranged in the annular steps, the second shell through a fastener is connected with the first shell, the second shell cavity is arranged at the upper part of the annular groove, the first filter is installed in the ring groove, a filtering device. The first and the second shells and the first filter. The utility model can be used according to the filter precision to increase, reduces the level, between different levels of use of snap connection, convenient disassembly and replacement, can withstand greater hydraulic and not spill, effective control of impurities and large particles, have a significant effect on polishing scratches and defects.

【技术实现步骤摘要】
分级过滤装置
本技术涉及光学加工
，尤其涉及一种化学机械抛光中抛光磨料的分级过滤装置。
技术介绍
随着现代光学(光电)技术的发展，对系统中的光学元件表面及亚表面提出了越来越高的要求，表面质量甚至趋于“零缺陷”。特别是强激光装置运行在高能量通量环境下，对光学材料有极高的抗激光损伤能力的要求，光学元器件表面及亚表面的缺陷已成为限制强激光装置损伤阈值的瓶颈，同时还有可能影响强光的传输。化学机械抛光广泛应用于光学元件的超精密加工，是目前公认的唯一纳米级全局平面化技术。在抛光过程中需要严格控制划痕及表面缺陷的产生，而抛光过程中的大颗粒，即比磨料平均粒度大很多的颗粒是划痕和缺陷产生的主要原因，大颗粒的来源通常有：环境污染、研磨残留、抛光液初始粒度的不均匀分布、颗粒团聚、抛光磨料干燥结块等。为抑制大颗粒的不利影响，通常会采用抛光液出口过滤或回流过滤等手段，回流过滤控制水平较低，对抛光液中已经存在的颗粒及团聚物没有效果；而常规的出口过滤是在抛光液循环泵上增加一个过滤器，该过滤器尺寸较大，只有一级过滤，过滤水平较低，且抛光液通常需要经过长管路运输至抛光盘上，在运输过程中抛光磨料也会产生可见的沉积和团聚，不利于缺陷的控制。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种化学机械抛光中的分级过滤装置。本技术解决技术问题所采用的技术方案是：分级过滤装置，包括固定架、连接板、第一壳体、第二壳体、第一密封圈和第一过滤网，所述连接板与固定架连接，所述第一壳体与连接板连接，所述第一壳体顶部设置有抛光液流入口，所述第一壳体的内腔底部设置有环形台阶，所述第一密封圈安装在所述环形台阶上，所述第二壳体通过卡扣与第一壳体连接，所述第二壳体内腔上部设置有环形槽，第一过滤网安装在环形槽中，所述第一壳体、第二壳体和第一过滤网构成一级过滤装置。进一步的，所述卡扣相互配合的两个部件分别安装在第一壳体和第二壳体上。进一步的，所述第二壳体的内径与所述第一壳体的外径相匹配。进一步的，还包括第三壳体、第二密封圈和第二过滤网，所述第二壳体内腔底部设置有环形台阶，所述第二密封圈安装在所述环形台阶上，所述第三壳体通过卡扣与第二壳体连接，所述第三壳体内腔上部设置有环形槽，所述第二过滤网安装在所述环形槽中，所述第二壳体、第三壳体和第二过滤网构成二级过滤装置。进一步的，所述卡扣相互配合的两个部件分别安装在第二壳体和第三壳体上。进一步的，所述第二壳体的内径与所述第三壳体的外径相匹配。进一步的，所述固定架上开有一字型槽。本技术的有益效果是：本技术采用层级设置，可根据过滤精度来增加、减少层级，不同层级间使用卡扣连接，便于拆卸和更换，能承受较大液压而不外溢。对抛光磨料过滤时，可根据使用需求选择相应等级的过滤网及过滤层级，能有效控制杂质及大颗粒的产生，对抛光后的划痕和缺陷有明显的改善效果。本技术具有较好通用性，可在单轴机、二轴机、环抛机等多种设备上使用，对不同的抛光设备，可根据需要调整固定架的尺寸和结构，安装在机床后，可对其空间位置和姿态进行调整，以适应加工需求。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的剖视图。图3是本技术的连接板的示意图。图4是本技术的第一壳体的示意图。图5是本技术的第二壳体的示意图。图6是本技术的第三壳体的示意图。具体实施方式如图1-6所示，本技术的分级过滤装置包括固定架1、连接板3、第一壳体5、第二壳体7、第一密封圈6和第一过滤网8。所述连接板3通过螺钉2与固定架1连接，连接板3可以调整其在水平面的位置。第一壳体5通过螺钉2与连接板3连接，第一壳体5顶部设置有流入口9，抛光液从第一壳体5顶部的流入口9引入。第一壳体5的内腔底部设置有环形台阶，第一密封圈6安装在环形台阶上。第二壳体7通过两个卡扣12与第一壳体5连接，卡扣12相互配合的两个部件分别安装在第一壳体5和第二壳体7上，第二壳体7的内径与第一壳体5的外径相匹配，当锁紧卡扣12后，第一壳体5与第二壳体7间形成一定压力作用在第一密封圈6上，第一密封圈6对抛光液起防溢流作用。第二壳体7内腔上部设置有环形槽，第一过滤网8安装在环形槽中。第一壳体5、第二壳体7和第一过滤网8构成了抛光液循环系统的一级(粗)过滤装置。为了提高过滤精度，本技术还包括第三壳体10、第二密封圈11和第二过滤网4，第二壳体7内腔底部设置有环形台阶，第二密封圈11安装在环形台阶上。第三壳体10通过两个卡扣12与第二壳体7连接，卡扣12相互配合的两个部件分别安装在第二壳体7和第三壳体10上，第二壳体7的内径与第三壳体10的外径相匹配，当锁紧卡扣12后，第二壳体7与第三壳体10之间形成一定压力作用在第二壳体7内腔底部的第二密封圈11上，第二密封圈11对抛光液起防溢流作用。第三壳体10内腔上部设置有环形槽，第二过滤网4安装在环形槽中，第二壳体7、第三壳体10和第二过滤网4构成了抛光液循环系统的二级(细)过滤装置。上述过滤层级可按照过滤精度需求增加或减少。工作时，固定架1采用螺钉固定到抛光设备13上，固定架1上开有一字型槽，可以调节安装高度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
分级过滤装置，其特征在于：包括固定架(1)、连接板(3)、第一壳体(5)、第二壳体(7)、第一密封圈(6)和第一过滤网(8)，所述连接板(3)与固定架(1)连接，所述第一壳体(5)与连接板(3)连接，所述第一壳体(5)顶部设置有抛光液流入口(9)，所述第一壳体(5)的内腔底部设置有环形台阶，所述第一密封圈(6)安装在所述环形台阶上，所述第二壳体(7)通过卡扣(12)与第一壳体(5)连接，所述第二壳体(7)内腔上部设置有环形槽，所述第一过滤网(8)安装在环形槽中，所述第一壳体(5)、第二壳体(7)和第一过滤网(8)构成一级过滤装置。

【技术特征摘要】
1.分级过滤装置，其特征在于：包括固定架(1)、连接板(3)、第一壳体(5)、第二壳体(7)、第一密封圈(6)和第一过滤网(8)，所述连接板(3)与固定架(1)连接，所述第一壳体(5)与连接板(3)连接，所述第一壳体(5)顶部设置有抛光液流入口(9)，所述第一壳体(5)的内腔底部设置有环形台阶，所述第一密封圈(6)安装在所述环形台阶上，所述第二壳体(7)通过卡扣(12)与第一壳体(5)连接，所述第二壳体(7)内腔上部设置有环形槽，所述第一过滤网(8)安装在环形槽中，所述第一壳体(5)、第二壳体(7)和第一过滤网(8)构成一级过滤装置。2.如权利要求1所述的分级过滤装置，其特征在于：所述卡扣(12)相互配合的两个部件分别安装在第一壳体(5)和第二壳体(7)上。3.如权利要求1所述的分级过滤装置，其特征在于：所述第二壳体(7)的内径与所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵世杰，谢瑞清，陈贤华，廖德锋，田亮，周炼，钟波，王健，
申请(专利权)人：成都精密光学工程研究中心，
类型：新型
国别省市：四川,51