本发明公开了一种全口径低缺陷平面工件的加工设备，包括：表面设有用以供工件抛光加工的抛光模层的转台；用以带动工件自转实现抛光并能够使工件沿着抛光模层的表面摆动以防止工件表面产生环形痕迹的偏摆式平面抛光装置；用以过滤抛光液并能够向抛光模层的...

本申请公开了一种平面光学元件及其加工方法，包括研磨待加工平面光学元件的第一表面，使研磨后第一表面的反射面形误差数据小于第一面形误差阈值，得到第一平面光学元件；抛光研磨后第一表面，使抛光后第一表面的反射面形误差数据小于第二面形误差阈值，得...

本发明公开了一种基于共聚焦兆声波微射流的抛光装置和方法，属于超精密光学表面加工领域。所述抛光装置包括顶部外罩1、兆声波换能器2、换能器集束座3、连接座4、储液腔5、密封圈6、喷嘴7，所述喷嘴7上设有用于供抛光液8喷出的小孔71。该共聚焦...

本实用新型公开了一种红外低折射率光学薄膜，属于光学薄膜领域。所述红外低折射率光学薄膜通过有效的制备方法并采用稀土族元素氟化物YF3制备得到，得到的红外低折射率光学薄膜具有无定形结构的特征，较之单晶、多晶结构的薄膜具有更低的散射损耗；折射...

本发明公开了一种用于调节环形抛光机沥青盘表面面形的装置，包括铸铁盘，其固定设置于环形抛光机的大理石盘上方，所述铸铁盘的顶部浇注有沥青抛光膜层，待加工光学元件和校正盘均设置于所述沥青抛光膜层上；热电阻温度传感器，其设置于所述沥青抛光膜层外...

本发明公开了一种低缺陷薄膜制备方法及其制品。薄膜制备方法包括：热处理过程、采用离子束溅射方式镀制第一膜层的过程、采用离子束辅助电子束蒸镀方式镀制第二膜层的过程、薄膜表面平坦化处理的过程，采用电子束蒸镀方式镀涂第三膜层和第四膜层的过程，采...

本实用新型公开了一种基于覆盖折射率匹配层的偏振无关光栅，涉及光学领域。所述光栅在熔石英衬底(1)上依次镀制有反射膜(2)和光栅功能层(3)。本实用新型提供的光栅结构针对TE模式和TM模式在利特罗角入射条件下在1050～1080nm带宽范...

本发明公开了一种基于多粒子沉积的低缺陷多腔体镀膜装置。包括依次排列的4个真空腔室：第一真空腔室、第二真空腔室、第三真空腔室和第四真空腔室，第一真空腔室用于元件热平衡；第二真空腔室采用离子束溅射镀膜方式对镀膜元件表面镀制第一膜层，第三真空...

本发明公开了一种应用于多腔体镀膜装置的机械手及多腔体镀膜装置。机械手包括主轴电机、伸缩机械臂和抓取机械手；伸缩机械臂的一端安装于所述主轴电机的竖轴上，并在主轴电机竖轴的带动下旋转，伸缩机械臂的另一端连接抓取机械手；伸缩机械臂具备X轴和Z...

本发明公开一种光学元件抛光工具，包括连接杆、磨盘、压圈和抛光膜层，连接杆的上端与抛光机构连接，连接杆的下端与磨盘的顶部连接，连接杆的中心轴线与磨盘中心线重合，磨盘的底部中心设置向下凸起的凸台，抛光膜层包覆在凸台上，压圈中心开设中心孔，压...

本实用新型涉及一种基于折射率调控薄膜的偏振无关反射式介质光栅，属于光学领域，所述光栅包括衬底1和光栅层4，并且衬底1上依次镀制有反射膜2、氧化物介质膜连接层3，并在光栅层刻蚀光栅槽结构；所述反射膜2为折射率调控多层介质薄膜，该折射率调控...

本发明公开了一种中心波长在近红外波段的高刻线密度、基于覆盖折射率匹配层的宽带偏振无关反射式介质光栅及其制备方法，涉及光学领域。所述光栅在熔石英衬底(1)上依次镀制有反射膜(2)和光栅功能层(3)。本发明提供的光栅结构针对TE模式和TM模...

本发明公开了一种红外低折射率光学薄膜及其制备方法，属于光学薄膜领域。所述红外低折射率光学薄膜通过有效的制备方法并采用稀土族元素氟化物YF3制备得到，通过该方法制备得到的红外低折射率光学薄膜具有无定形结构的特征，较之单晶、多晶结构的薄膜具...

本发明公开了一种可用于球面、非球面反射镜或透镜的焦距检测的双刀口差分检测装置、检测方法及数据处理方法，特别适用于大口径长焦距光学元件的焦距检测，涉及光学检测领域。沿光路方向该装置主要包括光源（1）、光束聚焦透镜组（2）、第一光束分光元件...

本发明提供的结构参数计算方法和结构参数计算装置，涉及光学薄膜制造技术领域。所述结构参数计算方法包括：获取需要制作的激光反射膜的反射率、残余应力以及电场强度，其中，所述激光反射膜包括内部周期结构和外部匹配结构，所述内部周期结构包括多层子结...

本发明公开了一种用于高陡度光学元件进行研磨抛光的装置和相应的加工方法，涉及光学元件加工领域，该装置包括连接块（8）、第一驱动部、加工部、第二驱动部、支撑架（2）、竖向导轨（5）、竖向滑块（6）、横向导轨（13）、横向滑块（12）、张紧及...

本发明公开了一种用于双转子数控抛光机的异形抛光盘设计与制作方法，涉及光学制造与光学材料加工领域。该方法包括：(1)首先确定抛光盘特征参数；(2)对抛光盘进行环带分割，并计算环带去除函数hi；(3)根据优化目标计算环带权重值：将目标去除函...

本发明涉及一种基于折射率调控薄膜的偏振无关反射介质光栅，属于光学领域，所述光栅包括衬底1和光栅层4，并且衬底1上依次镀制有反射膜2、氧化物介质膜连接层3，并在光栅层刻蚀光栅槽结构；所述反射膜2为折射率调控多层介质薄膜，该折射率调控多层介...

本实用新型公开一种数控抛光工具，包括金属盘、非金属套圈、清扫层、过滤网和抛光模层，所述金属盘与数控抛光机构可拆卸地连接，所述非金属套圈可拆卸地安装于所述金属盘周向侧壁上，所述清扫层设置于所述非金属套圈底部，所述抛光模层设置于所述金属盘底...

本实用新型公开了一种医用微型集成芯片式电子内窥镜，包括前端头罩、板载照明LED、微型组合透镜组、图像接收处理芯片、外壳和结构支撑，所述前端头罩、外壳与结构支撑依次连结为一体结构，板载照明LED、微型组合透镜组与图像接收处理芯片均位于外壳...