一种图像获取装置的坐标校正方法及图像获取装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种图像获取装置的坐标校正方法及图像获取装置，所述方法包括：制程检测到缺陷坐标后，首先根据前序制程检测的缺陷的坐标初始化拍照装置的位置，然后可以根据拍照装置捕获的画面中缺陷的位置调整拍照装置的位置，使得拍照装置捕获的画面中缺陷在画面中心位置，记录缺陷在画面中心位置的坐标，并将缺陷在画面中心位置的坐标提供至数据管理系统。通过该方法可以避免不同机台之间的机械误差造成的坐标偏移，还可以为后续制程提供校正后的坐标，提高后续修复制程的效率，减小后续制程设备的损耗。

【技术实现步骤摘要】
一种图像获取装置的坐标校正方法及图像获取装置
本专利技术属于坐标校正
，尤其涉及一种图像获取装置的坐标校正方法及图像获取装置。
技术介绍
在液晶面板制作流程中，由于基板本身存在的缺陷或者制程中引入的缺陷都可能对液晶面板造成一定的影响，通常会采用自动光学检测(AutomaticOpticInspection，AOI)机台基于光学原理对待拍照样品进行缺陷检测，当AOI机台检测到缺陷后，会记录缺陷的坐标并将缺陷的坐标上传制造企业生产过程执行管理系统(ManufacturingExecutionSystem，MES)，将待拍照的样品装载于彩膜拍照机后，彩膜拍照机从MES系统中下载AOI机台上传的缺陷的坐标后，直接移动到该坐标对缺陷进行拍照，通过拍摄的缺陷照片可以用于制程缺陷分析和良率分析，后序制程的自动修复过程读取AOI机台上传的缺陷坐标后，移动到该缺陷坐标位置用低倍镜头搜寻缺陷后，再切换到高倍镜头对缺陷进行修复。但是现有的拍照以及修复过程存在以下问题，一方面，由于机台之间的机械误差会出现彩膜拍照机根据AOI机台上传的缺陷坐标移动到该缺陷位置进行拍照时，缺陷未在视野中心，严重的情况甚至视野中都未出现缺陷或者出现的缺陷并不是该坐标下记录的缺陷，会影响缺陷类别的判断和良率分析。另一方面，自动修复制程读取的AOI上传的缺陷坐标对缺陷进行修复时，由于缺陷有可能不在视野中心，需要先用低倍镜头搜寻缺陷后，再在高倍下对缺陷进行修复，每个待修复样品可能存在多个缺陷，来回切换高低倍镜头造成修复制程的效率低，并且增加设备损耗。
技术实现思路
鉴于此，本专利技术提供一种图像获取装置的坐标校正方法及图像获取装置，避免不同机台之间的机械误差造成的坐标偏移，提高后续缺陷修复制程的效率，减小设备损耗。本专利技术提供一种图像获取装置的坐标校正方法，所述方法包括：获取前序制程检测的待拍照样品中的缺陷以及所述缺陷的第一坐标；根据所述缺陷的第一坐标初始化拍照装置的位置，并获取所述拍照装置当前捕获的画面；若所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷未位于所述画面的中心位置，则根据所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷的位置调整所述拍照装置的位置，直到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置；当检测到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置时，对所述缺陷进行拍照并记录所述缺陷当前的坐标为第二坐标；提供所述缺陷的第二坐标至数据管理系统，以便于后序制程根据所述缺陷的第二坐标定位所述缺陷，并对所述缺陷进行相应的操作。本专利技术还提供一种图像获取装置，所述图像获取装置包括：第一坐标获取模块，用于获取前序制程检测的待拍照样品中的缺陷以及所述缺陷的第一坐标；拍照装置初始化模块，用于根据所述缺陷的第一坐标初始化拍照装置的位置，并获取所述拍照装置当前捕获的画面；拍照装置调整模块，用于若所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷未位于所述画面的中心位置，则根据所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷的位置调整所述拍照装置的位置，直到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置；第二坐标获取模块，用于当检测到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置时，对所述缺陷进行拍照并记录所述缺陷当前的坐标为第二坐标；上传模块，用于提供所述缺陷的第二坐标至数据管理系统，以便于后序制程根据所述缺陷的第二坐标定位所述缺陷，并对所述缺陷进行相应的操作。本专利技术还提供一种图像获取装置，所述图像获取装置包括：存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现以下步骤：获取前序制程检测的待拍照样品中的缺陷以及所述缺陷的第一坐标；根据所述缺陷的第一坐标初始化拍照装置的位置，并获取所述拍照装置当前捕获的画面；若所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷未位于所述画面的中心位置，则根据所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷的位置调整所述拍照装置的位置，直到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置；当检测到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置时，对所述缺陷进行拍照并记录所述缺陷当前的坐标为第二坐标；提供所述缺陷的第二坐标至数据管理系统，以便于后序制程根据所述缺陷的第二坐标定位所述缺陷，并对所述缺陷进行相应的操作。本专利技术还提供一种计算机存储介质，所述计算机存储介质可以是非易失性的，所述计算机存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序在被一个或多个处理器读取并执行时可实现上述第一方面提供的所述方法。本专利技术与现有技术相比存在的有益效果是：本专利技术在获取前序制程检测的缺陷坐标后，首先根据前序制程检测的缺陷的坐标初始化拍照装置的位置，然后可以根据拍照装置捕获的画面中缺陷的位置调整拍照装置的位置，使得拍照装置捕获的画面中缺陷在画面中心位置，记录缺陷在画面中心位置的坐标，并将缺陷在画面中心位置的坐标提供至数据管理系统。通过该方法可以避免不同机台之间的机械误差造成的坐标偏移，还可以为后续制程提供校正后的坐标，提高后续修复制程的效率，减小后续制程设备的损耗。而且，本专利技术操作方便、实现简单，适应面广，具有较强的易用性和实用性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一实施例提供的图像获取装置的坐标校正方法的示意流程图；图2是本专利技术又一实施例提供的图像获取装置的示意框图；图3是本专利技术又一实施例提供的图像获取装置的示意框图；图4是本专利技术再一实施例提供的图像获取装置的示意框图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。还应当理解，在此本专利技术说明书中所使用的术语仅仅是出于描述特定实施例的目的而并不意在限制本专利技术。如在本专利技术说明书和所附权利要求书中所使用的那样，除非上下文清楚地指明其它情况，否则单数形式的“一”、“一个”及“该”意在包括复数形式。还应当进一步理解，在本专利技术说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。如在本说明书和所附权利要求书中所使用的那样，术语“如果”可以依据上下文被解释为“当...时”或“一旦”或“响应于确定”或“响应于检测到”。类似地，短语“如果确定”或“如果检测到[所描述条件或事件]”可以依据上下文被解释为意指“一旦确定”或“响应于确定”或“一旦检测到[所描述条件或事件]”或“响应于检测到[所描述条件或事件]”。为了说明本专利技术所述的技术方案本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图像获取装置的坐标校正方法，其特征在于，所述方法包括：获取前序制程检测的待拍照样品中的缺陷以及所述缺陷的第一坐标；根据所述缺陷的第一坐标初始化拍照装置的位置，并获取所述拍照装置当前捕获的画面；若所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷未位于所述画面的中心位置，则根据所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷的位置调整所述拍照装置的位置，直到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置；当检测到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置时，对所述缺陷进行拍照并记录所述缺陷当前的坐标为第二坐标；提供所述缺陷的第二坐标至数据管理系统，以便于后序制程根据所述缺陷的第二坐标定位所述缺陷，并对所述缺陷进行相应的操作。

【技术特征摘要】
1.一种图像获取装置的坐标校正方法，其特征在于，所述方法包括：获取前序制程检测的待拍照样品中的缺陷以及所述缺陷的第一坐标；根据所述缺陷的第一坐标初始化拍照装置的位置，并获取所述拍照装置当前捕获的画面；若所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷未位于所述画面的中心位置，则根据所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷的位置调整所述拍照装置的位置，直到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置；当检测到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置时，对所述缺陷进行拍照并记录所述缺陷当前的坐标为第二坐标；提供所述缺陷的第二坐标至数据管理系统，以便于后序制程根据所述缺陷的第二坐标定位所述缺陷，并对所述缺陷进行相应的操作。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷的位置调整所述拍照装置的位置，直到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置包括：根据所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷的位置计算所述拍照装置的位移信息；根据所述位移信息调整所述拍照装置的位置，并获取调整位置后的拍照装置当前捕获的画面；识别调整位置后的拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷的位置；若调整位置后的拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷未位于画面的中心位置，则继续调整所述拍照装置的位置直到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置；若调整位置后的拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于画面的中心位置，则对所述缺陷进行拍照并记录所述缺陷当前的坐标为第二坐标。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述提供所述缺陷的第二坐标至数据管理系统包括：更新前序制程检测的待拍照样品中所述缺陷的第一坐标为第二坐标，并提供更新后的所述缺陷的第二坐标至数据管理系统；或者提供所述缺陷的第二坐标至数据管理系统，以便于所述数据管理系统将前序制程检测的所述缺陷的第一坐标更新为第二坐标。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，当检测到所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于当前捕获的画面的中心位置时，对所述缺陷进行拍照并记录所述缺陷当前的坐标为第二坐标之后，所述方法还包括：根据所述缺陷的第二坐标以及前序制程检测的所述缺陷的第一坐标计算坐标偏移量，以便于对所述待拍照样品中的其它位置的缺陷进行拍照时，根据所述其他位置的缺陷的第一坐标以及所述坐标偏移量初始化所述拍照装置的位置。5.根据权利要求1至4任一项所述的方法，其特征在于，在根据所述缺陷的坐标初始化拍照装置的位置，并获取所述拍照装置当前捕获的画面之后，所述方法还包括：若所述拍照装置当前捕获的画面中所述缺陷位于所述画面的中心位置，对所述缺陷进行拍照。6.一种图像获取装置，其特征在于，所述图像获取装置包括：第一坐标获取模块，用于获取前序制程检测的待拍照样品中的缺陷以及所述缺陷的第一坐标；拍照装置初始化模块，用于根据所述缺陷的第一坐标初始化拍照装置的位置，并获取所述拍照装置当前捕获的画...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯虎，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，重庆惠科金渝光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44