柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法技术

柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法属于光电器件制作技术领域。现有物理方法制作成本高。本发明专利技术其特征在于：步骤1，配制可旋涂溶胶，在室温及搅拌工艺条件下，在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质，其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为(4.7～5):(2.8～3)，掺杂物质的加入量按杂质离子相对于锌离子其摩尔浓度为1～3％而定，至此获得可旋涂溶胶；步骤2，制作溶胶膜，将所述可旋涂溶胶均匀滴加在柔性衬底上，在3000～3500rad/min的速度下旋涂20～30s，在70～90℃温度下加热10～15m，获得溶胶膜；步骤3，形成产物薄膜，将所述溶胶膜在240～260℃温度下退火25～35m，获得柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜。

【技术实现步骤摘要】
柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法
本专利技术涉及一种柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法，属于光电器件制作

技术介绍
在化学制作方法中，有一种溶胶凝胶法被用来在刚性衬底上制作ZnO基透明导电薄膜，主要制作步骤是先将乙酸锌的乙醇溶液水解成溶胶，再通过旋涂、退火等工艺在衬底上形成ZnO基透明导电薄膜。在该方法的实施过程中，所使用的都是一些常规的化学化工器具和装置，如常规的容器、搅拌装置、旋涂装置(如匀胶机)、加热设备(如加热板)、退火设备(如退火炉)，制作过程均在常压条件下进行，制膜成本较低。但是，为了使得化学反应能够完成，所述退火工艺的退火温度需要达到500℃以上，而常用的柔性透明衬底材料如耐热型PET膜其形变温度也不高于300℃，因此，该方法无法直接用于在柔性衬底上制作ZnO基透明导电薄膜。现有能够用来在柔性衬底制作ZnO基透明导电薄膜的方法有磁控溅射法、化学气相沉积法、脉冲激光沉积法或者原子层沉积法等物理制作方法，这些方法是在真空条件下进行，溅射靶材沉积成膜，可见，该工艺需要使用昂贵的专门设备，制备能耗也高，因此，透明导电薄膜的制作成本较高，并且，相比本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法，其特征在于：步骤1，配制可旋涂溶胶，在室温及搅拌工艺条件下，在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质，其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为(4.7～5):(2.8～3)，掺杂物质的加入量按杂质离子相对于锌离子其摩尔浓度为1～3％而定，至此获得可旋涂溶胶；步骤2，制作溶胶膜，将所述可旋涂溶胶均匀滴加在柔性衬底上，在3000～3500rad/min的速度下旋涂20～30s，在70～90℃温度下加热10～15m，获得溶胶膜；步骤3，形成产物薄膜，将所述溶胶膜在240～260℃温度下退火25～35m，获得柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法，其特征在于：步骤1，配制可旋涂溶胶，在室温及搅拌工艺条件下，在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质，其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为(4.7～5):(2.8～3)，掺杂物质的加入量按杂质离子相对于锌离子其摩尔浓度为1～3％而定，至此获得可旋涂溶胶；步骤2，制作溶胶膜，将所述可旋涂溶胶均匀滴加在柔性衬底上，在3000～3500rad/min的速度下旋涂20～30s，在70～90℃温度下加热10～15m，获得溶胶膜；步骤3，形成产物薄膜，将所述溶胶膜在240～260℃温度下退火25～35m，获得柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜。2.根据权利要求1所述的柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法，其特征在于，所述有机溶剂为乙二醇甲醚或者乙醇...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐铭泽，王洋，李金华，楚学影，金芳军，徐英明，魏志鹏，方铉，王晓华，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：吉林,22