【技术实现步骤摘要】
具有高抗短路能力的IGBT器件
本技术涉及一种IGBT器件,本技术尤其是涉及一种具有高抗短路能力的IGBT器件,本技术属于半导体功率器件领域。
技术介绍
现有技术的结构,为了追求更低的饱和压降,可以将原胞密度增大(沟槽密度增大,沟槽间距降低),这样会带来饱和电流较大的负面影响,进而降低器件的抗短路能力。如图2所示,现有的器件结构中栅极2的宽度一致,这样会导致在原胞密度较高的情况下,器件的短路电流较高。当器件发生短路时,较高短路电流会引起较高的发热量,更容易导致器件失效,抗短路能力较差。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种可以在极小改变器件饱和压降的前提下有效降低短路电流,提高器件抗短路能力的具有高抗短路能力的IGBT器件。按照本技术提供的技术方案,所述包括P阱、第一栅极、发射极、第一绝缘氧化层、P+区域、金属层、FS层、集电极、第二栅极、基区与第二绝缘氧化层;在集电极上设有FS层,在FS层上设有基区,在基区上设有P阱,在P阱上设有金属层,在金属层内设有左右两个第一绝缘氧化层,在左右两个第一绝缘氧化层之间的金属层内设有第二绝缘氧化层,在第一绝 ...
【技术保护点】
一种具有高抗短路能力的IGBT器件,包括P阱(1)、第一栅极(2)、发射极(3)、第一绝缘氧化层(4)、P+区域(5)、金属层(6)、FS层(7)、集电极(8)、第二栅极(9)、基区(10)与第二绝缘氧化层(11),其特征是:在集电极(8)上设有FS层(7),在FS层(7)上设有基区(10),在基区(10)上设有P阱(1),在P阱(1)上设有金属层(6),在金属层(6)内设有左右两个第一绝缘氧化层(4),在左右两个第一绝缘氧化层(4)之间的金属层(6)内设有第二绝缘氧化层(11),在第一绝缘氧化层(4)的下端部连接有第一栅极(2),在第二绝缘氧化层(11)的下端部连接有第二 ...
【技术特征摘要】
1.一种具有高抗短路能力的IGBT器件,包括P阱(1)、第一栅极(2)、发射极(3)、第一绝缘氧化层(4)、P+区域(5)、金属层(6)、FS层(7)、集电极(8)、第二栅极(9)、基区(10)与第二绝缘氧化层(11),其特征是:在集电极(8)上设有FS层(7),在FS层(7)上设有基区(10),在基区(10)上设有P阱(1),在P阱(1)上设有金属层(6),在金属层(6)内设有左右两个第一绝缘氧化层(4),在左右两个第一绝缘氧化层(4)之间的金属层(6)内设有第二绝缘氧化层(11),在第一绝缘氧化层(4)的下端部连接有第一栅极(2),在第二绝缘氧化...
【专利技术属性】
技术研发人员:程炜涛,姚阳,王海军,叶甜春,
申请(专利权)人:江苏中科君芯科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。