弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种难以产生IDT电极彼此相邻的部分处的汇流条的形成不良、并且能够促进小型化的弹性波装置。本发明专利技术所涉及的弹性波装置具备：压电基板(2)；和多个弹性波元件，构成于压电基板(2)，分别具有IDT电极。多个弹性波元件之中，第1弹性波元件的IDT电极具有第1、第2汇流条(9a、9b)，第2弹性波元件的IDT电极具有第3、第4汇流条(9c、9d)。第2汇流条(9b)与第3汇流条(9c)大致平行地延伸，并且在垂直于弹性波传播方向的方向上隔开间隙而被配置。第2、第3汇流条(9b、9c)具有：第1电极层、和至少一部分在该第1电极层上层叠的第2电极层。第2汇流条(9b)的第2电极层在至少1个部位，在与弹性波传播方向交差的方向上被断开。

【技术实现步骤摘要】
弹性波装置
本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
以往，弹性波装置被广泛用于移动电话的滤波器等。在下述的专利文献1中，表示了具有IDT电极的弹性波装置的一个例子。上述IDT电极的汇流条具有：下层布线、和层叠在下层布线上的上层布线。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2002-100952号公报近年来，为了应对弹性波装置的进一步的小型化要求，随着弹性波谐振器在垂直于弹性波传播方向的方向上相互更进一步接近地配置，相邻的IDT电极的汇流条间的距离变短。另一方面，在梯子型滤波器等中，为了提高滤波器特性，弹性波谐振器的IDT电极的沿着弹性波传播方向的尺寸变大，汇流条也变长。因此，若将专利文献1的具有采用2层汇流条的横长的IDT电极的弹性波谐振器接近配置，则容易产生汇流条的形成不良，此外，相互的汇流条彼此可能短路。因此，难以将IDT电极彼此充分接近配置，不能充分实现弹性波装置的小型化。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种难以产生IDT电极彼此相邻的部分处的汇流条的形成不良、并且能够促进小型化的弹性波装置。本专利技术所涉及的弹性波装置具备：压电基板；和多个弹性波元件，构成于所述压电基板，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种弹性波装置，具备：压电基板；和多个弹性波元件，构成于所述压电基板，且分别具有IDT电极，所述多个弹性波元件之中，第1弹性波元件的所述IDT电极具有对置的第1汇流条、第2汇流条，第2弹性波元件的所述IDT电极具有对置的第3汇流条、第4汇流条，所述第2汇流条与所述第3汇流条大致平行地延伸，并且在垂直于弹性波传播方向的方向上隔开间隙而被配置，所述第2汇流条、第3汇流条具有：第1电极层、和至少一部分层叠在该第1电极层上的第2电极层，所述第2汇流条的所述第2电极层在至少1个部位，在与弹性波传播方向交差的方向上被断开。

【技术特征摘要】
2015.12.25 JP 2015-2541571.一种弹性波装置，具备：压电基板；和多个弹性波元件，构成于所述压电基板，且分别具有IDT电极，所述多个弹性波元件之中，第1弹性波元件的所述IDT电极具有对置的第1汇流条、第2汇流条，第2弹性波元件的所述IDT电极具有对置的第3汇流条、第4汇流条，所述第2汇流条与所述第3汇流条大致平行地延伸，并且在垂直于弹性波传播方向的方向上隔开间隙而被配置，所述第2汇流条、第3汇流条具有：第1电极层、和至少一部分层叠在该第1电极层上的第2电极层，所述第2汇流条的所述第2电极层在至少1个部位，在与弹性波传播方向交差的方向上被断开。2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，所述第2汇流条的所述第2电极层在垂直于弹性波传播方向的方向上被断开。3.根据权利要求1或者2所述的弹性波装置，其中，所述第3汇流条的所述第2电极层在至少1个部位，在与弹性波传播方向交差的方向上被断开。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：龟冈义宣，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP