测量数据对制造工具位置和处理批次或时间的映射制造技术

技术编号:15919954 阅读:44 留言:0更新日期:2017-08-02 05:04
本发明专利技术提供用于光伏产品的制造过程控制的方法和系统。一些实施方案涉及追踪用于光伏产品的晶片关于哪个制造工具处理它们和它们在该制造工具中的位置的方法。一些实施方案涉及测量和表征部分完成的光伏产品的品质关键性参数,所述部分完成的光伏产品由所讨论的制造工具产生。一些实施方案涉及所测量的参数在计算机屏幕上的显示和可视化,使得各制造单元的参数可在以下范围中直接观察:哪个制造工具处理它们、在处理期间它们位于具体制造工具内的哪个位置、和哪个批次或在连续处理的情况下何时单元被处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测量数据对制造工具位置和处理批次或时间的映射
本专利技术涉及光伏(“PV”)产品及其制造的领域,和特别地涉及通过使用在由制造工具处理后的部分完成的制品(半成品)的品质关键性参数的测量而显示和控制制造工具的性能的方式(手段)。
技术介绍
光伏(“PV”)产品和设备将吸收的照明直接转换为电能,其具有无污染并且操作无声的优点。它们容易适应于集中式或分布式的发电系统,并且因此是有吸引力的对化石燃料和核动力源的替代品。PV产业的总体需求在于充分地降低所制造的PV产品的成本以在高度竞争的定价下实现产品盈利能力。对于晶片、电池(元件)和模块制造商而言,该降低成本的驱动具有三个方面:改善的产品技术(所谓的“高效率(效力)”产品),对于给定的市场价格提供更高的功率输出;通过规模经济降低材料和资本设备(固定设备)的单位成本;以及改善的制造效率和产率。特别地,目前的制造工艺例如通过进一步提供用于工艺监控和优化的工具而经历改进。因此,需要不受现有技术的一个或多个限制的用于光伏和类似的基于硅晶片的产品的品质控制方法和系统。提供该背景信息以揭示申请人认为可能与本专利技术相关的信息。不必意图承认,也不应该解释为,本文档来自技高网...
测量数据对制造工具位置和处理批次或时间的映射

【技术保护点】
用于在光伏产品中使用的硅电池的制造期间的品质监控的方法,所述方法包括:在制造操作后测量硅晶片的特性,所述制造操作包括通过制造工具的处理;确定在处理期间在制造工具内的硅晶片的空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者;和基于硅晶片的经测量的特性提供信息的图形显示,所述信息根据空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者空间地排列在图形显示上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.20 US 62/066,1801.用于在光伏产品中使用的硅电池的制造期间的品质监控的方法,所述方法包括:在制造操作后测量硅晶片的特性,所述制造操作包括通过制造工具的处理;确定在处理期间在制造工具内的硅晶片的空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者;和基于硅晶片的经测量的特性提供信息的图形显示,所述信息根据空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者空间地排列在图形显示上。2.根据权利要求1所述的方法,其中基于硅晶片的经测量的特性的所述信息指示所述制造工具的一个或多个操作特性。3.根据权利要求1所述的方法,进一步包括使所述硅晶片的经测量的特性与所述制造操作的一个或多个方面相关联,所述方面包括在所述制造工具内的处理时间和处理位置之一或两者。4.根据权利要求3所述的方法,进一步包括显示所述制造操作的一个或多个方面。5.根据权利要求3所述的方法,进一步包括显示相对于能够保持硅晶片的所述制造工具的位置的所述制造工具的性能的变化。6.根据权利要求3所述的方法,进一步包括基于在处理期间在制造工具内的硅晶片的所述空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者的变化来确定所述制造工具的操作特性。7.根据权利要求1所述的方法,其中所述制造工具为批次制造工具或线式制造工具。8.根据权利要求1所述的方法,其中所述制造工具为批次扩散炉、抗反射涂覆工具、或湿式化学系统。9.根据权利要求1所述的方法,进一步包括追踪通过多个制造操作的晶片,所述追踪包括为硅晶片各自提供用于处理所述硅晶片各自的制造工具的历史的指示、以及在处理期间在制造工具内的硅晶片各自的空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者的指示。10.根据权利要求1所述的方法,其中所述晶片的特性对应于指示硅晶片的制造品质的品质关键性(CTQ)参数。11.用于在光伏产品中使用的硅电池的制造期间的品质监控的系统,所述系统包括:晶片测量模块,其配置为在制造操作后测量硅晶片的特性,所述制造操作包括通过制造工具的处理;晶片追踪模块,其配置为确定在处理期间在制造工具内的硅晶片的空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者;和操作员界面模块,其配置为基于硅晶片的经测量的特性提供信息的图形化显示,所述信息根据空间次序、时间次序、或空间次序和时间次序两者空间地排列在图形显示上。12.根据权利要求11所述的系统,其中基于硅晶片的经测量的特性的所述信息指示所述制造工具的一个或多个操作特性。13.根据权利要求11所述的系统,进一步包括制造性能监控模块,其配置为使所述硅晶片的经测量的特性与所述制...

【专利技术属性】
技术研发人员:G艾尔斯S麦克唐纳
申请(专利权)人:奥罗拉太阳能技术加拿大股份有限公司
类型:发明
国别省市:加拿大,CA

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