热式流量传感器制造技术

在现有的空气流量计中，对于粒径较大的异物利用惯性力来应对接触检测元件，但是对于粒径在10μm以下的质量非常小的异物，存在在旁通结构内部惯性力几乎不起作用而附着在检测元件上的可能性。另外，上述粒径在10μm以下的质量非常小的异物主要可列举美国SAE标准J726C中规定的AC粉尘等，是对美国亚利桑那的沙漠的沙进行精炼而制造的，已知该沙(沙尘)易于带电，存在带有静电的粒径较小的粉尘附着在检测元件上时，因其库仑力而难以脱离的课题。上述课题能够用以下特征的热式流量传感器解决，其包括检测流量的半导体元件，该半导体元件在硅等半导体基片上形成绝缘层和电阻配线层，存在除去上述基片的一部分而薄膜化的区域(薄膜)，在该薄膜区域内设置至少一个以上的加热电阻体(加热部)，在其上游和下游配置有检测温度差的测温电阻体，在半导体元件上形成导电性膜，以使上述薄膜内的配线电阻周边区域中的向空气流暴露的表面一侧的电位成为任意的固定电位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】热式流量传感器
本专利技术涉及检测物理量的传感器，特别涉及热式流量传感器。
技术介绍
以往，作为设置在汽车等的内燃机的吸入空气通路中的、测定吸入空气量的空气流量传感器，热式的空气流量传感器因为能够直接检测质量空气量，所以逐渐成为主流。最近，利用半导体微细加工技术在硅基片上堆积电阻体和绝缘层膜之后，用以KOH等为代表的溶剂除去硅基片的一部分，形成薄膜部(diaphragm)的空气流量元件因为具有高速响应性、并且能够检测逆流，所以受到关注。另一方面，关于对作为汽车用部件的热式流量计要求的性能之一，可以列举防尘性。作为汽车用部件的热式流量计，一般而言如图11所示设置在空气滤清器滤芯的下游。混入进气导管的异物(粉尘、水、纤维屑、碎石)大部分被空气滤清器滤芯捕获。但是，上述空气滤清器滤芯的网眼尺寸较多在100μm以下。从而，100μm以下的尺寸的异物不会被空气滤清器滤芯捕获，而是进入进气导管中。该异物到达上述热式流量计的传感元件的薄膜部并附着在表面时，热容量变化，散热特性变化，因此传感元件的输出改变，存在产生检测误差这样的课题。作为解决上述课题的技术，存在专利文献1中记载的技术。根据专利文献1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热式空气流量传感器，其特征在于：包括半导体基片、设置在该半导体基片上的层叠结构体和除去该半导体基片的一部分而成的空洞部，所述层叠结构体包括电阻层和形成在该电阻层的上层一侧的固定电位层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.28 JP 2014-2407311.一种热式空气流量传感器，其特征在于：包括半导体基片、设置在该半导体基片上的层叠结构体和除去该半导体基片的一部分而成的空洞部，所述层叠结构体包括电阻层和形成在该电阻层的上层一侧的固定电位层。2.如权利要求1所述的热式空气流量传感器，其特征在于：所述固定电位层形成在最上层。3.如权利要求1所述的热式空气流量传感器，其特征在于：所述层叠结构体包括形成在...

【专利技术属性】
技术研发人员：土井良介，田代忍，小野瀬保夫，佐久间宪之，
申请(专利权)人：日立汽车系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP