The utility model discloses a sintered ceramic target rotating device to prevent sintering deformation, including cylindrical ceramic, ceramic green under the pad to pad block, as well as for the burning furnace bottom sintering; the ceramic green block is arranged between the pad and burn a plurality of first ball layer for isolation and pad burning between the block and the furnace bottom is provided for isolation of some second ball layer. The utility model is turned into rolling friction by sliding friction between the furnace bottom and pad burning block, ceramic green three, friction is reduced, the ceramic green free shrinkage in the heating process of sintering shrinkage. Burn pad block contraction reduces the relative motion and the bottom of the ceramic green; and the two layer ball is reduced shrinkage deformation resistance and friction, make the process of ceramic green shrink almost perfect.
【技术实现步骤摘要】
一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置
本技术涉及陶瓷旋转靶烧结
,尤其涉及的是一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置。
技术介绍
烧结的圆筒形功能陶瓷旋转靶材目前为节能玻璃、太阳能玻璃镀膜所广泛利用。但作为薄壁圆筒陶瓷件,在烧结过程中极易变形以及开裂。已有技术是采用同种材料的垫烧块的做法。即将与陶瓷同种材料的粉料压制成扁平的生坯垫烧块,垫在陶瓷烧结生坯下面,使其在烧结收缩过程中一起收缩,达到由垫烧块来承受一部分变形的效果。往往在垫烧块下面铺一层耐高温的砂来减少摩擦力。但对于长径比很大的陶瓷生坯,及较长的圆筒形生坯,这种防止变形方法效果并不理想。经常还是出现宝塔形,椭圆形,甚至开裂的情况。因此,现有技术存在缺陷,需要改进。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是:提供一种最大限度地消除炉底板、垫烧块、陶瓷生坯三者之间相对运动的摩擦力,使陶瓷生坯能够自由收缩成完美的形状的旋转陶瓷靶材烧结装置。本技术的技术方案如下:一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置,包括圆筒形的陶瓷生坯、垫到陶瓷生坯下的垫烧块、以及用于烧结的炉底板;其中,陶瓷生坯与垫烧块之间设置有用于隔离的若干第一滚珠层,并且,垫烧块与炉底板之间设置有用于隔离的若干第二滚珠层。应用于上述技术方案,所述的旋转陶瓷靶材烧结装置中,垫烧块设置为一个圆盘形垫烧块。应用于各个上述技术方案,所述的旋转陶瓷靶材烧结装置中,垫烧块设置为一个圆环形垫烧块。应用于各个上述技术方案,所述的旋转陶瓷靶材烧结装置中,垫烧块设置为一具有挡边的垫烧块。应用于各个上述技术方案,所述的旋转陶瓷靶材烧结装置中,陶瓷生坯为圆筒形陶瓷生坯。采 ...
【技术保护点】
一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置,其特征在于:包括陶瓷生坯、垫到陶瓷生坯下的垫烧块、以及用于烧结的炉底板;其中,陶瓷生坯与垫烧块之间设置有用于隔离的若干第一滚珠层,并且,垫烧块与炉底板之间设置有用于隔离的若干第二滚珠层。
【技术特征摘要】
1.一种防止烧结变形的旋转陶瓷靶材烧结装置,其特征在于:包括陶瓷生坯、垫到陶瓷生坯下的垫烧块、以及用于烧结的炉底板;其中,陶瓷生坯与垫烧块之间设置有用于隔离的若干第一滚珠层,并且,垫烧块与炉底板之间设置有用于隔离的若干第二滚珠层。2.根据权利要求1所述的旋转陶瓷靶材烧结装置,其特征在于:垫...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡茂横,
申请(专利权)人:深圳恒泰克科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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