阴极电极的散热结构及等离子体洗涤器制造技术

本实用新型专利技术涉及阴极电极的散热结构及等离子体洗涤器，上述阴极电极的散热结构包括，与构成气炬部(110)的阴极电极的一侧相连接来向上述阴极电极传递冷却水的冷却水供给管(1141)，在上述阴极电极的散热结构中，通过使与上述冷却水相接触的上述阴极电极的表面(114a)不平坦，来增加上述阴极电极与上述冷却水之间的接触面积。

【技术实现步骤摘要】
阴极电极的散热结构及等离子体洗涤器
本技术涉及阴极电极(cathode)的散热结构及等离子体洗涤器，更详细地，涉及以可增加阴极电极与冷却水之间的接触面积的方式构成的阴极电极的散热结构及等离子体洗涤器。
技术介绍
通常，等离子体为由具有电极性的电子及离子构成的第四物质状态，整体上以负电荷数和正电荷数几乎相同的密度分布，在电方面几乎形成中性。等离子体分为如电弧等的温度高的高温等离子体和低温等离子体，在低温等离子体中，电子的能量虽高，但离子的能量低，因而实际感受到的温度相当于室温，大多借助直流、交流、超高频、电子束等的电放电来生成。在韩国公开专利10-2016-0043820号中，公开了利用这种等离子体来处理废气等的装置结构。通常，这种等离子体的发生方式之一为通过电弧放电来产生等离子体，在此情况下，等离子体洗涤器包括：气炬部，通过电弧放电产生气炬，即火焰；反应部，使由上述气炬部产生的气炬延伸来对所流入的处理气体进行处理，即对废气进行处理；以及洗涤部，借助水等来对在上述反应部进行处理的气体进行洗涤，使温度降低。若在如上所述的气炬部的阴极电极和阳极电极产生电弧，则在阴极电极流通高电流来形成高温状态，因高温氧化而导致阴极电极被侵蚀，存在经常更换阴极电极的问题。现有技术文献专利文献韩国授权专利第10-1645813号，“等离子体处理装置”(2016年07月29日)韩国授权专利第10-0904663号，“利用等离子体电弧气炬的洗涤器”(2009年06月18日)
技术实现思路
本技术用于解决如上所述的问题，本技术的目的在于可通过使阴极电极与冷却水之间的接触部位形成非平坦面来提高电极与冷却水之间的接触面积的阴极电极的散热结构及等离子体洗涤器。另一方面，在可从后述的详细说明及效果轻松推导的范围内追加考虑在本技术中未明示的其他目的。用于实现上述目的的本技术的阴极电极的散热结构包括与构成气炬部110的阴极电极的一侧相连接来向上述阴极电极传递冷却水的冷却水供给管(1141)，在上述阴极电极的散热结构中，使与上述冷却水相接触的上述阴极电极的表面(114a)不平坦。优选地，在上述冷却水供给管的内部设置有与上述冷却水供给管的内部面隔开的吸管形态的排出管1142。本技术的阴极电极的散热结构及等离子体洗涤器可使电极内部的与冷却水供给管相接触的电极的表面呈圆锥形、倒圆锥形、波浪形等的非平坦面，来增加阴极电极与冷却水之间的接触面积，从而具有增加电极的散热的效果。并且，通过在冷却水供给管设置吸管形态的排出管，来使冷却水快速、顺畅地循环，从而具有增加向阴极电极传递的冷却水的散热效率的效果。附图说明图1为包括本技术实施例的阴极电极的散热结构的等离子洗涤器的立体图。图2为图1所示的A-A线的剖视图。图3的(a)部分和(b)部分为示出本技术一实施例的反应部的作用的剖切立体图。图4为示出本技术一实施例的阻隔壁的另一实施例的剖视图。图5为本技术一实施例的阴极电极的剖切立体图。图6的(a)部分为图5所示的阴极电极的剖视图，图6的(b)部分和(c)部分为示出阴极电极的另一实施例的剖视图。符号说明100：等离子体洗涤器110：气炬部112：阳极电极114：阴极电极1141：冷却水供给管1142：排出管116：反应气体供给管120：反应部122：反应室124：阻隔壁1241：排出口126：废气供给管130：洗涤部具体实施方式可通过与附图相关的以下详细说明和优选实施例来更加明确本技术的目的、特定优点及新特征等。并且，所使用的术语为考虑到在本技术中的功能而定义的术语，这可根据使用人员、应用人员的意图或惯例而不同。因此，对这种术语的定义应根据本说明书中的全文内容来定义。在对附图中的多个结构要素赋予附图标记方面，即使相同的结构要素在不同的附图中出现，也尽可能对相同的结构要素赋予相同的附图标记。并且，在对本技术进行说明的过程中，若判断对相关公知结构或功能的具体说明有可能使本技术的主旨变得模糊，则省略相应的详细说明。并且，在对本技术的结构要素进行说明的过程中，可使用第一、第二、A、B、(a)、(b)等的术语。这种术语仅用于对该结构要素和其他结构要素进行区分，相应结构要素的本质、排序或顺序等并不受术语的限制。在记载某个结构要素与其他结构要素“相连接”、“相结合”或“相接触”的情况下，该结构要素可与其他结构要素直接连接或直接接触，但应理解为可在各个结构要素之间有其他结构要素“相连接”、“相结合”、“相接触”。参照图1本技术一实施例的包括阴极电极的散热结构的等离子体洗涤器100包括气炬部110、反应部120以及洗涤部130。气炬部110为产生高温火焰即气炬的腔室，反应部120为使在气炬部110产生的高温火焰扩张并向所扩张的火焰的周边分散供给废气来对废气进行热分解而进行净化处理的腔室。洗涤部130为为了防止反应部120过热而对反应部120进行冷却的腔室。参照图2，气炬部110包括阳极电极112、阴极电极114及反应气体供给管116。在阳极电极112的内部形成有用于使反应气体流入的移送通道1121，移送通道1121以上宽下窄的形态，直径朝着下方逐渐变小。在移送通道1121的下端部设置有阴极电极114，阴极电极114和阳极电极112以隔开规定距离的状态设置。若向如上所述的阴极电极114和阳极电极112施加电源，并通过移送通道1121注入反应气体，则通过引起电弧放电来生成高温火焰即气炬。此时，所使用的反应气体主要是氦、氩及氮等，在本实施例中，以使用氮气(N2)来进行说明。参照图5及图6，阳极电极112及阴极电极114的材质主要使用无氧铜或钨，在本实施例中，以使用钨的情况进行说明，但并不限定于此。并且，若在阴极电极114与阳极电极112之间产生电弧，则在阴极电极114流通高电流来处于高温状态，因高温氧化而发生阴极电极114被侵蚀，为了防止这种情况，阴极电极114与用于投入冷却水的冷却水供给管1141相连接。在冷却水供给管1141的内部设置有吸管(straw)形态的排出管1142。在冷却水供给管1141与排出管1142之间形成有间隙，若使冷却水通过排出管1141流入，则冷却水沿着排出管1141与冷却水供给管1141之间的间隙排出，使冷却水快速顺畅地循环，这种冷却水的有效循环具有可对与冷却水供给管1141的内部相接触的阴极电极的表面114a迅速散热的效果。此时，为了借助冷却水更有效地对阴极电极114进行散热，使更多的冷却水与阴极电极114相接触尤为重要。为此，优选地，露出于冷却水供给管1141的内部的阴极电极的表面114a形成非平坦面。这是因为，即使是相同的面积，非平坦面的露出的部分比平坦面的露出的部分大。如图5和图6的(a)部分、(b)部分及(c)部分所示，如上所述的非平坦面可形成圆锥形、倒圆锥形及波浪形等多种形态，但并不限定于此。即，只要是阴极电极112的向冷却水供给管1141露出的表面114a由不平坦的非平坦面形成，则均可成为在本实施例的阴极电极112。重新参照图2，反应气体供给管116与移送通道1121相连接。通过反应气体供给管116供给反应气体，通过反应气体供给管116流入的反应气体以按螺旋形在移送通道112本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阴极电极的散热结构，包括与构成气炬部(110)的阴极电极的一侧相连接来向所述阴极电极传递冷却水的冷却水供给管(1141)，其特征在于，通过使与所述冷却水相接触的所述阴极电极的表面(114a)不平坦，来增加所述阴极电极与所述冷却水之间的接触面积。

【技术特征摘要】
2016.12.09 KR 20-2016-00071731.一种阴极电极的散热结构，包括与构成气炬部(110)的阴极电极的一侧相连接来向所述阴极电极传递冷却水的冷却水供给管(1141)，其特征在于，通过使与所述冷却水相接触的所述阴极电极的表面(114a)不平坦，来增加所述阴极电极与所述冷却水之间的接触面积。2.根据权利要求1所述的阴极电极的散热结构，其特征在于，在所述冷却水供给管的内部设置有与所述冷却水供...

【专利技术属性】
技术研发人员：金翼年，姜成玉，安在闰，严敏钦，
申请(专利权)人：韩国三重核心株式会社，
类型：新型
国别省市：韩国,KR