双旋子高频感应等离子发生器制造技术

双旋子高频感应等离子发生器，内环气旋子、内环与外环旋子连接件、外环气旋子、固定罩、外石英管、外石英管紧固环和内石英管同轴布置；内环气旋子、外环气旋子为中空且外环面为旋转沟槽结构，外环气旋子沟槽旋转方向与内环气旋子旋转方向一致；内环气旋子与外环气旋子之间通过内环与外环旋子连接件固连；内石英管套在内环气旋子的旋转沟槽外环面并与外环气旋子之间通过阶梯限位；外石英管套在外环气旋子的旋转沟槽外环面并通过外石英管紧固环紧固；外环气旋子固定在固定罩的上部，固定罩的下部与辐射屏蔽仓的上部固连，外石英管与内石英管部分置于辐射屏蔽仓内；辐射屏蔽仓的下部连接发生器与喷嘴连接件；水冷电感线圈缠绕在位于辐射屏蔽仓内外石英管的外围，线圈末端接高频电源。

【技术实现步骤摘要】
双旋子高频感应等离子发生器
本专利技术涉及高温等离子体
，具体涉及一种双旋子兆瓦级高频感应等离子发生器。
技术介绍
高频感应热等离子体由于其频率高，又称射频感应耦合等离子体。高频等离子体产生的原理为：高频电源提供的高频电流通过反应器的线圈产生变化的磁场与放电管内的等离子体耦合，使气体发生电离，线圈中的交变磁场产生的感应交变电场，在导电气体中引起电流并产生焦耳热。高频等离子体具有如下特点：(1)高频等离子体主要依靠强烈的电磁耦合产生，不需要电极，因此不存在电极蒸发污染的问题，因此产生的等离子体气氛纯净；(2)焦耳热效应的作用，可以使等离子体流达到3000～10000K的极高温度；(3)高频等离子体体积较大，焰流速度低，温度分布均匀平坦。因此，高频等离子体特别适用于难熔颗粒的加工(如球化、固气反应、超细粉制备等)以及对热环境气氛要求较高的深空探测器热防护材料的地面加热实验研究等。较为典型的高频等离子体发生器主要由石英管、高频线圈以及气体通道组成，石英管作为感应放电室室壁，石英管外饶有水冷的高频感性线圈，工作气由上部引入发生器。但目前现有等离子发生器由于结构相对简单，工作气体的进气位置、进气方式、工作气体量与电源参数的匹配、石英管的冷却较差大功率条件下难以维持等方面的原因，等离子发生器的最大功率为500kW左右，一定程度上限制了高频等离子体这一纯净高温的加热技术的发展和应用。
技术实现思路
本专利技术提供一种双旋子兆瓦级高频感应等离子发生器，发生器采用双旋子旋转进气方式的高频等离子体发生器。本专利技术进一步解决的技术问题是，提供在一种兆瓦级别的高频等离子体发生器。本专利技术的技术解决方案是：双旋子高频感应等离子发生器，包括内环气旋子、内环与外环旋子连接件、外环气旋子、固定罩、外石英管、外石英管紧固环、内石英管、水冷电感线圈、发生器与喷嘴连接件、辐射屏蔽仓；内环气旋子、内环与外环旋子连接件、外环气旋子、固定罩、外石英管、外石英管紧固环和内石英管同轴布置；所述的内环气旋子、外环气旋子为中空且外环面为旋转沟槽结构，外环气旋子沟槽旋转方向与内环气旋子旋转方向一致；内环气旋子与外环气旋子之间通过内环与外环旋子连接件固连；内石英管套在内环气旋子的旋转沟槽外环面并与外环气旋子之间通过阶梯限位；外石英管套在外环气旋子的旋转沟槽外环面并通过外石英管紧固环紧固；外环气旋子固定在固定罩的上部，固定罩的下部与辐射屏蔽仓的上部固连，外石英管与内石英管部分置于辐射屏蔽仓内；辐射屏蔽仓的下部连接发生器与喷嘴连接件；水冷电感线圈缠绕在位于辐射屏蔽仓内外石英管的外围，线圈末端接高频电源。还包括压力监测孔，安装在内环气旋子的上部，用于监测等离子发生器内的压力。所述的内环与外环旋子连接件还包括一个保护内石英管的薄壁结构，该薄壁结构直接套装在内环气旋子的旋转沟槽外环面，且与内石英管内壁之间保留间隙。固定罩还包括一个保护外石英管的薄壁结构，该薄壁结构直接套装在外环气旋子的旋转沟槽外环面，且与外石英管内壁之间保留间隙。所述的薄壁结构的壁厚1-2mm。所述内环气旋子旋转沟槽数量为30～60个，旋转角度α设为15～45°。所述外环气旋子旋转沟槽数量为30～60个，旋转角度β设为15～60°。所述通过内环气旋子的气体量与通过外环气旋子的气体量比例设为：1/10～5/10。当高频电源提供的电压10kV以上，通过内环气旋子和外环气旋子的气体总量保持在20g/s以上，且外环气旋子旋转沟槽旋转角度在45～60°范围内调整，等离子发生器能够达到兆瓦级且稳定运行。本专利技术与现有技术相比的优点为：1、内环旋子和外环旋子采用旋转沟槽结构使气体产生旋转，这种结构易于加工且阻力小，能够保证经过旋转沟槽的气体的旋转强度。2、采用内环和外环两层旋子，工作气体分层旋转进入等离子发生器，一方面满足发生器产生高频等离子体所需的工作气体，另一方面外环进入的工作气体作为冷却气体对外石英管进行充分的冷却，保证了发生器在大功率运行时外石英管的安全性和可靠性。3、由与外石英管和内石英管强度较低，若直接与旋子配合易使石英管破碎，在固定罩和内环与外环旋子连接件上分别设置一层薄壁结构，薄壁与旋子旋转沟槽外环面配合且与石英管内壁保留间隙，避免了金属旋子与易碎的石英管直接配合，对石英管起到保护作用。4、通过设计内环气旋子、外环气旋子旋转沟槽数量和角度、内环气与外环气的比例、工作气体量与电源参数的匹配等参数，可实现高频等离子发生器的不同工作气体和不同功率条件下的安全稳定工作。5、在本专利技术结构的基础上，通过调整工作气体量、高频电源输出电压、外环旋子的旋转沟槽角度等参数，可使高频等离子发生器的最大功率达到1MW并安全稳定运行，提高了高频等离子体技术的研究和应用水平。附图说明图1为本专利技术装置的示意图；图2为本专利技术装置的侧视图；图3为图1的A-A示意图；图4为图2的B-B示意图；图5为内环气旋子示意图；图6为外环气旋子示意图；图中标号：1-内环气旋子；2-内环与外环旋子连接件；3-外环气旋子；4-固定罩；5-外石英管紧固环；6-外石英管；7-内石英管；8-水冷电感线圈；9-发生器与喷嘴连接件；10-辐射屏蔽仓；11-压力监测孔；具体实施方式本专利技术的工作原理是：水冷电感线圈缠绕在外石英管外围，线圈末端接高频电源，当交变的高频电流通过电感线圈时在外石英管内产生变化的磁场，由法拉第定律得知，石英管内变化的磁场又感应出电场，进入发生器的气体在变化的磁场作用下发生电离并产生焦耳热，适当控制电流和气体流量以形成稳定持续的高温等离子体气流。工作气体分内外两层旋转进入等离子发生器，内环工作气体通过内环气旋子沿内石英管内壁旋转进入发生器，通过电磁感应区发生电离产生高温等离子体；外环工作气体通过外环气旋子沿外石英管内壁旋转进入发生器，一方面作为工作气体通过电磁感应区发生电离产生高温等离子体，另一方面紧贴外石英管壁面的冷气流对外石英管进行冷却，保证发生器在大功率运行时外石英管不被高温等离子体气流烧损。以下结合附图对专利技术做进一步的详细描述。如图1-3所示，双旋子兆瓦级高频感应等离子发生器，包括：内环气旋子1、内环与外环旋子连接件2、外环气旋子3、固定罩4、外石英管6、外石英管紧固环5、内石英管7、水冷电感线圈8、发生器与喷嘴连接件9、辐射屏蔽仓10和压力监测孔11。内环气旋子1、内环与外环旋子连接件2、外环气旋子3、固定罩4、外石英管6、外石英管紧固环5和内石英管7同轴布置；部分工作气体通过内环气旋子1沿内石英管7内壁旋转进入发生器，作为工作气体通过电磁感应区发生电离产生高温等离子体，内环气旋子1沟槽旋转角度为α；另一部分工作气体通过外环气旋子3沿外石英管6内壁旋转进入发生器，一方面作为工作气体通过电磁感应区发生电离产生高温等离子体，另一方面紧贴外石英管壁面的冷气流对外石英管进行冷却以防止其被高温等离子体气流烧损，外环气旋子3沟槽旋转方向与内环气旋子旋转方向一致，沟槽旋转角度为β。水冷电感线圈8缠绕在外石英管外围，线圈末端接高频电源，交变的高频电流通过电感线圈时在外石英管6内产生变化的磁场，通过外环气旋子和内环气旋子进入发生器的气体在变化的磁场作用下发生电离并产生焦耳热，适当控制电流和气体流量以形成稳定持续的高温等离子体气流。如图4所示，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
双旋子高频感应等离子发生器，其特征在于：包括内环气旋子(1)、内环与外环旋子连接件(2)、外环气旋子(3)、固定罩(4)、外石英管(6)、外石英管紧固环(5)、内石英管(7)、水冷电感线圈(8)、发生器与喷嘴连接件(9)、辐射屏蔽仓(10)；内环气旋子(1)、内环与外环旋子连接件(2)、外环气旋子(3)、固定罩(4)、外石英管(6)、外石英管紧固环(5)和内石英管(7)同轴布置；所述的内环气旋子(1)、外环气旋子(3)为中空且外环面为旋转沟槽结构，外环气旋子(3)沟槽旋转方向与内环气旋子旋转方向一致；内环气旋子(1)与外环气旋子(3)之间通过内环与外环旋子连接件(2)固连；内石英管(7)套在内环气旋子(1)的旋转沟槽外环面并与外环气旋子(3)之间通过阶梯限位；外石英管(6)套在外环气旋子(3)的旋转沟槽外环面并通过外石英管紧固环(5)紧固；外环气旋子(3)固定在固定罩(4)的上部，固定罩(4)的下部与辐射屏蔽仓(10)的上部固连，外石英管(6)与内石英管(7)部分置于辐射屏蔽仓(10)内；辐射屏蔽仓(10)的下部连接发生器与喷嘴连接件(9)；水冷电感线圈(8)缠绕在位于辐射屏蔽仓(10)内外石英管(6)的外围，线圈末端接高频电源。...

【技术特征摘要】
1.双旋子高频感应等离子发生器，其特征在于：包括内环气旋子(1)、内环与外环旋子连接件(2)、外环气旋子(3)、固定罩(4)、外石英管(6)、外石英管紧固环(5)、内石英管(7)、水冷电感线圈(8)、发生器与喷嘴连接件(9)、辐射屏蔽仓(10)；内环气旋子(1)、内环与外环旋子连接件(2)、外环气旋子(3)、固定罩(4)、外石英管(6)、外石英管紧固环(5)和内石英管(7)同轴布置；所述的内环气旋子(1)、外环气旋子(3)为中空且外环面为旋转沟槽结构，外环气旋子(3)沟槽旋转方向与内环气旋子旋转方向一致；内环气旋子(1)与外环气旋子(3)之间通过内环与外环旋子连接件(2)固连；内石英管(7)套在内环气旋子(1)的旋转沟槽外环面并与外环气旋子(3)之间通过阶梯限位；外石英管(6)套在外环气旋子(3)的旋转沟槽外环面并通过外石英管紧固环(5)紧固；外环气旋子(3)固定在固定罩(4)的上部，固定罩(4)的下部与辐射屏蔽仓(10)的上部固连，外石英管(6)与内石英管(7)部分置于辐射屏蔽仓(10)内；辐射屏蔽仓(10)的下部连接发生器与喷嘴连接件(9)；水冷电感线圈(8)缠绕在位于辐射屏蔽仓(10)内外石英管(6)的外围，线圈末端接高频电源。2.根据权利要求1所述的等离子发生器，其特征在于：还包括压力监测孔(11)，安装在内环气旋子(1)的上部，用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海群，陈连忠，董永晖，郑鲁平，马建平，刘祥，杨国铭，袁国伍，朱兴营，林国胜，
申请(专利权)人：中国航天空气动力技术研究院，
类型：发明
国别省市：北京,11