使等离子体处理气体快速冷却的洗涤部以及废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及使等离子体处理气体快速冷却的洗涤部以及废气处理装置，本发明专利技术的洗涤部用于构成利用等离子体对所供给的废气进行处理的装置，上述洗涤部包括：壳体(310)，呈中空圆筒形状；第一冷却模块(320)，配置于上述壳体(310)的内部上侧；以及第二冷却模块(340)，在上述第一冷却模块(320)的下部侧，以能够分离的方式与上述壳体(310)的内部相结合，通过借助由上述第一冷却模块(320)向上述壳体(310)供给的第一冷却流体在上述壳体(310)的上端所形成的幕膜及借助由上述第二冷却模块(340)供给的第二冷却流体在上述幕膜的下部侧所形成的喷射区域来执行冷却。

Washing part for quickly cooling plasma processing gas and exhaust gas treatment device

The present invention relates to a washing section and an exhaust gas treatment device for rapid cooling of plasma-treated gases. The washing section of the present invention is used to constitute a device for treating the supplied exhaust gases by means of plasma. The washing section comprises a shell (310) in the shape of a hollow cylinder, and a first cooling module (320) arranged on the shell (310). The inner upper side of the first cooling module (320) and the lower side of the second cooling module (340) are combined with the inner part of the shell (310) in a detachable manner by means of the first cooling fluid supplied to the shell (310) by the first cooling module (320) at the upper end of the shell (310). The curtain film and the jet region formed on the lower side of the curtain film by the second cooling fluid supplied by the second cooling module (340) are used to perform cooling.

【技术实现步骤摘要】
使等离子体处理气体快速冷却的洗涤部以及废气处理装置
本专利技术涉及可使经等离子体处理的气体快速冷却的冷却技术，更详细地，涉及可使在等离子体与废气之间产生反应后所形成的等离子体处理气体快速冷却的洗涤部以及废气处理装置。
技术介绍
通常，等离子体为由具有电极性的电子及离子构成的第四物质状态，整体上以负电荷数和正电荷数几乎相同的密度分布，在电方面几乎形成中性。等离子体分为如电弧等的温度高的高温等离子体和低温等离子体，在低温等离子体中，电子的能量虽高，但离子的能量低，因而实际感受到的温度相当于室温，大多借助直流、交流、超高频、电子束等的电放电来生成。在韩国公开专利10-2016-0043820号中，公开了利用这种等离子体来处理废气等的装置结构。通常，这种等离子体的发生方式之一为通过电弧放电来发生等离子体，在此情况下，废气处理装置包括：等离子体发生部，通过电弧放电产生气炬，即火焰，通过所流入的工作气体来生成等离子体；反应部，使从上述等离子体发生部移送的等离子体与所流入的废气混合来进行处理；以及洗涤部，借助水等来对在上述反应部进行处理的气体进行洗涤，使温度降低。在上述等离子体发生部中，注入用于在阴电极与阳电极之间发生等离子体的氮等的工作气体并施加电源来产生电弧放电，由此形成射流等离子体，通过配置于等离子体发生部的1个以上的供给管来以可使工作气体做回旋运动的方式供给工作气体。另一方面，需要一种在有效管理在反应部混合等离子体和所流入的废气后在通过洗涤部降低温度之后排出的过程中所产生的热量的同时可减少有害产物的方案。专利文献1：韩国公开专利10-2016-0043820A专利
技术实现思路
本专利技术用于解决如上所述的以往的问题，本专利技术的目的在于提供可使在等离子体与废气之间产生反应后所形成的等离子体处理气体快速冷却的洗涤部以及废气处理装置。用于实现如上所述的目的的本专利技术一实施方式的洗涤部用于构成利用等离子体对所供给的废气进行处理的装置，上述洗涤部包括：壳体310，呈中空圆筒形状；第一冷却模块320，配置于上述壳体310的内部上侧；以及第二冷却模块340，在上述第一冷却模块320的下部侧，以可分离的方式与上述壳体310的内部相结合，通过借助由上述第一冷却模块320向上述壳体310供给的第一冷却流体在上述壳体310的上端所形成的幕膜及借助由上述第二冷却模块340供给的第二冷却流体在上述幕膜的下部侧所形成的喷射区域来执行冷却。上述壳体310包括：外部壳体311；内部壳体315，以隔开方式配置于上述外部壳体311的内侧；冷却水腔室117，上述冷却水腔室117为形成于上述外部壳体311与内部壳体315之间的空间；以及腔室孔116，贯通上述内部壳体315的内部面、外部面而成。上述第二冷却模块340在从上述第一冷却模块320朝向下部方向隔开规定距离的状态下以多级的方式配置有多个。上述第二冷却模块340包括：冷却本体341，具有环形结构；冷却水供给喷嘴342，贯通上述冷却本体341的内部面、外部面而成，用于使上述腔室孔116与冷却本体341的内部区域之间相连通；以及冷却水引导部345，在上述冷却本体341的上端朝向内侧延伸而成。用于实现如上所述的目的的本专利技术另一实施方式的废气处理装置包括：等离子体发生部，通过电弧放电产生火焰，通过所流入的工作气体生成等离子体；反应部，使从上述等离子体发生部移送的等离子体与所流入的废气混合来进行处理；以及洗涤部，借助水等来对在上述反应部进行处理的气体进行洗涤，使温度降低。如上所述的本专利技术的可使等离子体处理气体快速冷却的洗涤部可有效管理在等离子体与废气之间产生反应后所形成的等离子体处理气体的温度下降，同时减少氮氧化物等的有害产物的产生。本专利技术可通过氮幕来对包含从反应部向洗涤部移送流入的等离子体处理气体及粒子等的气体分子进行均匀的过滤，同时可减少有害物质，通过以喷射等方式供给水等制冷剂的步骤来实施冷却及化学物质中和反应。即，根据本专利技术，第一次则通过氮幕对从反应部流入的等离子体反应气体进行冷却，第二次则通过由以可分离的方式在洗涤部内相结合的喷射模块喷射冷却水的步骤来执行有效的冷却。附图说明图1为用于说明本专利技术的具有洗涤部的废气处理装置的整体概念的图。图2为从上侧观察构成废气处理装置的洗涤部的外观的图。图3为从下侧观察构成废气处理装置的洗涤部的外观的图。图4为示出构成废气处理装置的洗涤部的内部的剖面立体图。图5为示出构成洗涤部的喷射模块的立体图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施例进行更加详细的说明。但是，本专利技术并不限定于以下所公开的实施例，而是能够以多种互不相同的形态来体现，本专利技术的实施例仅使本专利技术的公开更加完整，并用于向普通技术人员完整地告知本专利技术的范围。附图中的相同的附图标记代表相同的结构要素。以下，参照图1至图5，根据本专利技术的实施例来说明具有洗涤部的废气处理装置的结构及功能。废气处理装置包括：等离子体发生部1，通过电弧放电产生火焰，通过所流入的工作气体来生成等离子体；反应部5，使从上述等离子体发生部1移送的等离子体与所流入的废气混合来进行处理；以及洗涤部3，借助水等来对在上述反应部5进行处理的气体进行洗涤，使温度降低。等离子体发生部1通过借助因工作气体而生成的等离子体来产生的强力自由基和热量对所流入的废气进行第一次分解。反应部5将借助等离子体产生的热量储存到内部的蓄热体，来执行通过热分解对未在等离子体发生部1处理的废气进行处理的步骤。洗涤部3通过氮幕(N2Curtain)执行气体分子及粒子的缓冲，来可形成均匀的过滤。另一方面，通过由以可分离的方式配置于洗涤部3内的喷射模块来以喷射方式供给制冷剂的步骤，执行冷却及化学中和反应。通过如上所述的冷却(cooling)及快速冷却(Quenching)来可减少热氮氧化物(ThermalNox)。作为在本专利技术中使用的工作气体，可使用氦、氩及氮等，但并不限定于此。洗涤部3包括：壳体310，呈上下部开放的中空圆筒形状；第一冷却模块320，配置于壳体310的内部上侧；上部盖330，在壳体310的上部以包围上述第一冷却模块320的边缘的结构配置；第二冷却模块340，以可分离的方式与壳体310的内部相结合；下部盖350，配置于壳体310的下部；以及阻断模块360，配置于壳体310的开放的下部区域。壳体310包括：外部壳体311；内部壳体315，以隔开方式配置于外部壳体311的内侧；冷却水腔室117，上述冷却水腔室117为形成于外部壳体311与内部壳体315之间的空间；以及腔室孔116，贯通内部壳体315的内部面、外部面而成，用于使冷却水腔室117与壳体310的内部空间相连通。在上述外部壳体311上形成额外的冷却水供给口，以可向冷却水腔室117的内部供给冷却水。第一冷却模块320配置于壳体310的内部上侧，具体地，在内部壳体315的上端位于上部盖330的内侧。第一冷却模块320起到对在反应部5通过废气与等离子体气体之间的热反应来上升的温度进行第一次降温的功能，整体上可以是在内部壳体315的上端以规定高度形成的环状结构体。第一冷却模块320在下端沿着半径方向形成槽形态的气体供给喷嘴322，上述气体供给喷嘴322可形成沿着第一冷却模块320的圆周按规定间隔配置有多个气体供给喷嘴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种洗涤部，用于构成利用等离子体对所供给的废气进行处理的装置，其特征在于，所述洗涤部包括：壳体(310)，呈中空圆筒形状；第一冷却模块(320)，配置于所述壳体(310)的内部上侧；以及第二冷却模块(340)，在所述第一冷却模块(320)的下部侧，以能够分离的方式与所述壳体(310)的内部相结合，通过借助由所述第一冷却模块(320)向所述壳体(310)供给的第一冷却流体在所述壳体(310)的上端所形成的幕膜及借助由所述第二冷却模块(340)供给的第二冷却流体在所述幕膜的下部侧所形成的喷射区域来执行冷却。

【技术特征摘要】
2016.12.09 KR 10-2016-01675701.一种洗涤部，用于构成利用等离子体对所供给的废气进行处理的装置，其特征在于，所述洗涤部包括：壳体(310)，呈中空圆筒形状；第一冷却模块(320)，配置于所述壳体(310)的内部上侧；以及第二冷却模块(340)，在所述第一冷却模块(320)的下部侧，以能够分离的方式与所述壳体(310)的内部相结合，通过借助由所述第一冷却模块(320)向所述壳体(310)供给的第一冷却流体在所述壳体(310)的上端所形成的幕膜及借助由所述第二冷却模块(340)供给的第二冷却流体在所述幕膜的下部侧所形成的喷射区域来执行冷却。2.根据权利要求1所述的洗涤部，其特征在于，所述壳体(310)包括：外部壳体(311)；内部壳体(315)，以隔开的方式配置于所述外部壳体(311)的内侧；冷却水腔室(117)，所述冷却水腔室(117)为形成于所述外部壳体(311)与内部壳体(315)...

【专利技术属性】
技术研发人员：金翼年，姜成玉，安在闰，严敏钦，
申请(专利权)人：韩国三重核心株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR