有机电致发光器件制备方法及装置和有机电致发光器件制造方法及图纸

本文公开了一种有机电致发光器件制备方法及装置和有机电致发光器件，其制备方法包括：调整周期性光栅结构的光栅周期，以使SP耦合出射的光波波长处于有机电致发光器件的发光峰预设范围内；按照得到的光栅周期，在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构。通过在有机电致发光器件如OLED器件中设置周期性光栅结构，使得光波与SP耦合，实现了将在金属电极界面损失的光子能量通过SPP的调控重新取回，增加了有机电致发光器件如OLED器件的光输出，从而提高了发光器件如OLED器件的发光效率。

Organic electroluminescent device, method and device for producing the same, and organic electroluminescent device

Disclosed is an organic electroluminescent device and method for producing light-emitting device and organic electroluminescent device, the preparation method comprises: adjusting the grating period grating structure, so that the SP coupling wavelength radiation in organic electroluminescent devices peaks within a preset range according to the grating period; set, periodic grating structures in organic electroluminescent devices. The light emitting device in organic electric structure such as a set of periodic grating OLED devices, so that the coupling wave and SP, will be achieved in the photon energy metal electrode interface loss through the SPP control to retrieve, increase in organic electroluminescent devices such as light output of the OLED device, thereby improving the luminous efficiency of light-emitting devices such as OLED device.

【技术实现步骤摘要】
有机电致发光器件制备方法及装置和有机电致发光器件
本专利技术涉及但不限于电子技术，尤指一种有机电致发光器件制备方法及装置和有机电致发光器件。
技术介绍
有机电致发光器件的发光过程就是一个能量转移的过程，它将电能转化为光能，在这个转化的过程中，可以把有机电致发光器件看成是一个注入型的发光二极管。如果在有机电致发光器件的两端加上电压，通过这个电压所产生的电场，使得电子(electron)从器件的阴极(cathode)被注入到电子传输层中，而空穴(hole)则从器件的阳极(anode)注入到空穴传输层中，两种载流子迁移进入发光层中并结合形成激子，激子再通过辐射复合发光。一般，在有机电致发光二极管(OLED，OrganicLight-EmittingDiode)器件中，金属电极被普遍使用。而金属表面通常会产生表面等离子体(SP，SurfacePlasmon)。其中，SP是处于金属表面电子横向(垂直于金属表面)运动受到面的阻挡，造成表面附近的电子浓度出现梯度分布，从而形成的局限于金属表面的等离子体振荡。这种等离子体振荡在金属表面上形成的电子疏密波被定义为SP。SP的传播方向是：沿金属与有机界面方向，电场强度在垂直界面方向呈指数衰减。由于SP能与激子发生耦合，产生激子淬灭，导致电激发光(EL，ElectroLuminescence)材料产生的光子无法射出器件以外，并以SP振荡局域化被金属吸收或以热量形式损失，这样，无疑大大降低了EL器件的外量子效率。金属与EL材料界面发生的SP与激子耦合所导致的能量损耗能够大大降低EL器件的发光效率。特别是在小分子有机电致发光器件中，比如Alq3造成的能量损耗高达40％。图1显示了聚合物如MEH-PPV与小分子如Alq3有机电致发光器件中SP耦合造成能量损失随激子距阴极长度的变化曲线，如图1所示，在激子与阴极距离30纳米(nm)之前，SP耦合导致的能量损失急剧增加；在激子与阴极距离30nm之后，损耗有一个下降的过程。也就是说，对于OLED发光器件，特别是底发射器件，由于SP能与激子发生耦合，存在着相当大的光损耗。
技术实现思路
本专利技术提供一种有机电致发光器件制备方法及装置和有机电致发光器件，能够提高发光器件的发光效率。为了达到本专利技术目的，本专利技术提供了一种有机电致发光器件制备方法，包括：调整周期性光栅结构的光栅周期，以使表面等离子体SP耦合出射的光波波长处于有机电致发光器件的发光峰预设范围内；按照得到的光栅周期，在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构。可选地，所述有机电致发光器件为底发射器件；所述在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构包括：按照所述光栅周期，将金属阴极制备成周期光栅结构以形成所述周期性金属光栅结构；或者，采用透明导电氧化物作为阴极，按照所述光栅周期将所述周期性金属光栅制备在透明导电氧化物沿背离出光方向的覆盖玻璃上。可选地，所述有机电致发光器件为顶发射器件；所述在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构包括：按照所述光栅周期，将金属阳极制备成周期光栅结构以形成所述周期性金属光栅结构；或者，采用透明导电氧化物作为阳极，按照所述光栅周期将所述周期性金属光栅结构放置在透明导电氧化物沿背离出光方向。可选地，在所述周期性金属光栅结构和所述透明导电氧化物两层之间采用透明绝缘物质隔开。可选地，所述光栅周期与所述有机电致发光器件的出射光波长呈正比。可选地，所述在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构包括：由上至下，在薄膜晶体管TFT基板的钝化层PVX上对应的电激发光EL发光区域采用干刻或曝光显影方式制备所述周期性光栅结构；在所述周期性光栅结构上以溅射方式沉积一层反射金属层，使其在EL发光区域能够复制其下方的周期性光栅结构；在反射金属层之上以等离子气相沉积PCVD技术沉积一层绝缘层；在绝缘层上以溅射方式沉积透明导电氧化物作为阳极，在透明导电氧化物之上以蒸镀方式沉积EL发光层；在EL发光层之上以热蒸发方式制备透明金属阴极。本申请还提供了一种有机电致发光器件，包括：呈现周期性金属光栅结构的金属阴极；或者，采用透明导电氧化物形成的阴极，在透明导电氧化物上方的覆盖玻璃上的周期性金属光栅结构；或者，呈现周期性金属光栅结构的金属阳极；或者，采用透明导电氧化物形成的阳极，放置在透明导电氧化物下方的周期性金属光栅结构。可选地，在所述周期性金属光栅结构和所述透明导电氧化物两层之间采用透明绝缘物质隔开。可选地，所述透明绝缘物质为透明绝缘无机膜。可选地，所述周期性光栅结构的光栅周期与所述有机电致发光器件的出射光波长呈正比。可选地，当所述有机电致发光器件包括：呈现周期性金属光栅结构的金属阴极；或者，采用透明导电氧化物形成的阴极，在透明导电氧化物沿背离出光方向的覆盖玻璃上的周期性金属光栅结构时，所述有机电致发光器件为底发射器件。可选地，当所述有机电致发光器件包括：呈现周期性金属光栅结构的金属阳极；或者，采用透明导电氧化物形成的阳极，放置在透明导电氧化物沿背离出光方向的周期性金属光栅结构时，所述有机电致发光器件为顶发射器件。可选地，所述有机电致发光器件为有机电致发光二极管OLED。与现有技术相比，本专利技术制备方法包括：调整周期性光栅结构的光栅周期，以使SP耦合出射的光波波长处于有机电致发光器件的发光峰预设范围内；按照得到的光栅周期，在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构。通过在发光器件如OLED器件中设置周期性光栅结构，使得光波与SP耦合，实现了将在金属电极界面损失的光子能量通过SPP的调控重新取回，增加了发光器件如OLED器件的光输出，从而提高了发光器件如OLED器件的发光效率。进一步地，对于顶发射器件，当采用透明导电氧化物作为阳极，周期性金属光栅结构放置透明导电氧化物下方，此时，周期性金属光栅结构和透明导电氧化物两层之间采用透明绝缘物质隔开。这样，对于顶发射器件，一方面，采用透明氧化物作为阳极有效提高了空穴注入能力；另一方面，周期性金属光栅结构和透明导电氧化物两层之间采用绝缘透明膜隔开，通过调控该绝缘透明膜的介电常数方便实现了调控耦合发射的光波段，而且，阻止了金属中电子对透明电极的扩散。本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：图1为相关技术中有机电致发光器件中SP耦合造成能量损失随激子距阴极长度的变化曲线；图2为本专利技术有机电致发光器件制备方法的分析参考图；图3为本专利技术有机电致发光器件制备方法的流程图；图4为本专利技术有机电致发光器件制备方法的第一实施例的示意图；图5为本专利技术有机电致发光器件制备方法的第二实施例的示意图；图6为本专利技术有机电致发光器件制备方法的第三实施例的示意图；图7为本专利技术有机电致发光器件制备方法的第四实施例的示意图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本专利技术的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机电致发光器件制备方法，其特征在于，包括：调整周期性光栅结构的光栅周期，以使表面等离子体SP耦合出射的光波波长处于有机电致发光器件的发光峰预设范围内；按照得到的光栅周期，在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构。

【技术特征摘要】
1.一种有机电致发光器件制备方法，其特征在于，包括：调整周期性光栅结构的光栅周期，以使表面等离子体SP耦合出射的光波波长处于有机电致发光器件的发光峰预设范围内；按照得到的光栅周期，在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构。2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件制备方法，其特征在于，所述有机电致发光器件为底发射器件；所述在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构包括：按照所述光栅周期，将金属阴极制备成周期光栅结构以形成所述周期性金属光栅结构；或者，采用透明导电氧化物作为阴极，按照所述光栅周期将所述周期性金属光栅制备在透明导电氧化物沿背离出光方向的覆盖玻璃上。3.根据权利要求1所述的有机电致发光器件制备方法，其特征在于，所述有机电致发光器件为顶发射器件；所述在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构包括：按照所述光栅周期，将金属阳极制备成周期光栅结构以形成所述周期性金属光栅结构；或者，采用透明导电氧化物作为阳极，按照所述光栅周期将所述周期性金属光栅结构放置在透明导电氧化物沿背离出光方向。4.根据权利要求2或3所述的有机电致发光器件制备方法，其特征在于，在所述周期性金属光栅结构和所述透明导电氧化物两层之间采用透明绝缘物质隔开。5.根据权利要求1～3任一项所述的有机电致发光器件制备方法，其特征在于，所述光栅周期与所述有机电致发光器件的出射光波长呈正比。6.根据权利要求1所述的有机电致发光器件制备方法，其特征在于，所述在有机电致发光器件中设置周期性光栅结构包括：由上至下，在薄膜晶体管TFT基板的钝化层PVX上对应的电激发光EL发光区域采用干刻或曝光显影方式制备所述周期性光栅结构；在所述周期性光栅结构上以溅射方式沉积一层反射金属层，使其在EL发光区域能够复制其下方的周期性...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪军，赵策，王东方，周斌，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34