The invention discloses a PERC solar cell and a preparation method thereof can improve the photoelectric conversion efficiency of the solar cell includes a bottom electrode, silver back aluminum arranged back field silicon nitride film, back, back, P type silicon alumina film, N type silicon, silicon nitride film and a positive positive silver electrode, aluminum back surface field through back aluminum and P type silicon wafer is connected, the P type silicon battery, N type silicon wafer in positive diffusion type N emitter formed, the silicon nitride film deposited on the front face of the silicon chip, the back of alumina film deposited on the silicon wafer backside, the silicon nitride deposition positive after the film deposition on the back of the alumina membrane, and cleaning in the back before the deposition of alumina film on the silicon wafer back surface. The battery can significantly improve the passivation effect of the back of the alumina film, improve the open circuit voltage and short-circuit current of the battery, thereby enhancing the photoelectric conversion efficiency of the battery. The invention also discloses the preparation method of the solar cell.
【技术实现步骤摘要】
能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池及其制备方法
本专利技术涉及太阳能电池
,具体是指一种能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池及其制备方法。
技术介绍
晶硅太阳能电池是一种有效吸收太阳辐射能,利用光生伏打效应把光能转换成电能的器件,当太阳光照在半导体P~N结上,形成新的空穴~电子对,在P~N结电场的作用下,空穴由N区流向P区,电子由P区流向N区,接通电路后就形成电流。传统晶硅太阳能电池基本上只采用正面钝化技术,在硅片正面用PECVD的方式沉积一层氮化硅,降低少子在前表面的复合速率,可以大幅度提升晶硅电池的开路电压和短路电流,从而提升晶硅太阳电池的光电转换效率。随着对晶硅电池的光电转换效率的要求越来越高,人们开始研究背钝化太阳电池技术。
技术实现思路
本专利技术的目的之一是提供能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池,该电池可以显著提升背面氧化铝膜的钝化效果,减少电池污染,提高电池的开路电压和短路电流,从而提升电池的光电转换效率。本专利技术的这一目的通过如下的技术方案来实现的:能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池,其特征在于:所述电池包括自下而上依次设置的背银电极、铝背场、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极,所述太阳能电池在背面还开设有开通所述背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至P型硅的多条激光开槽区,多条激光开槽区平行设置,每个激光开槽区内均填充有背铝条,所述背铝条与所述的铝背场采用铝浆料一体印刷成型,铝背场通过背铝条与P型硅相连,所述的背银电极、铝背场、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正 ...
【技术保护点】
一种能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池,其特征在于:所述电池包括自下而上依次设置的背银电极、铝背场、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极,所述太阳能电池在背面还开设有开通所述背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至P型硅的多条激光开槽区,多条激光开槽区平行设置,每个激光开槽区内均填充有背铝条,所述背铝条与所述的铝背场采用铝浆料一体印刷成型,铝背场通过背铝条与P型硅相连,所述的背银电极、铝背场、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极自下而上依次相连接,所述P型硅为电池的硅片,N型硅为在硅片正面扩散形成的N型发射极,所述正面氮化硅膜沉积在硅片正面,所述背面氧化铝膜沉积在所述硅片背面,硅片沉积所述正面氮化硅膜后再沉积所述的背面氧化铝膜,并且在沉积所述背面氧化铝膜前对硅片背面进行清洗。
【技术特征摘要】
1.一种能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池,其特征在于:所述电池包括自下而上依次设置的背银电极、铝背场、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极,所述太阳能电池在背面还开设有开通所述背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至P型硅的多条激光开槽区,多条激光开槽区平行设置,每个激光开槽区内均填充有背铝条,所述背铝条与所述的铝背场采用铝浆料一体印刷成型,铝背场通过背铝条与P型硅相连,所述的背银电极、铝背场、背面氮化硅膜、背面氧化铝膜、P型硅、N型硅、正面氮化硅膜和正银电极自下而上依次相连接,所述P型硅为电池的硅片,N型硅为在硅片正面扩散形成的N型发射极,所述正面氮化硅膜沉积在硅片正面,所述背面氧化铝膜沉积在所述硅片背面,硅片沉积所述正面氮化硅膜后再沉积所述的背面氧化铝膜,并且在沉积所述背面氧化铝膜前对硅片背面进行清洗。2.如权利要求1所述的能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池,其特征在于:所述正面氮化硅膜的厚度为50~300微米。3.如权利要求1所述的能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池,其特征在于:所述背面氮化硅膜的厚度为80~300微米。4.如权利要求1所述的能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池,其特征在于:所述背面氧化铝膜的厚度为2~50nm。5.如权利要求1至4任一项所述的能够提高光电转换效率的PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:(1)在硅片正面形成绒面,所述硅片为P型硅;(2)在所述硅片正面进行扩散形成N型硅,即N型发射极;(3)去除硅片周边的PN结和扩散过程形成的正面磷硅玻璃,并对硅片正面进行臭氧氧化处理;(4)在硅片正面沉积正面氮化硅膜;(5)对硅片背面进行清洗;(6)在硅片背面沉积背面氧化铝膜;(7)在硅片背面沉积背面氮化硅膜;(8)对硅片背面进行激光开槽,开通背面氮化硅膜、背面氧化铝膜后直至硅片,形成多条激光开槽区;(9)在所述硅片背面印刷背电极浆料,烘干...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖俊文,方结彬,陈刚,
申请(专利权)人:浙江爱旭太阳能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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