紫外线照射装置及紫外线照射方法制造方法及图纸
Ultraviolet irradiation device and ultraviolet irradiation method
The present invention relates to an ultraviolet irradiation device and an ultraviolet irradiation method. The subject of the present invention is to increase the service life of a pipe that discharges heat from the irradiation section. The implementation of the ultraviolet irradiation device comprises an illumination part, the part of the irradiation to the substrate can ultraviolet irradiation; exhaust, the exhaust pipe can be discharged with the irradiation of heat; and the moving part, the moving part can make the irradiation and the synchronous movement of piping.
【技术实现步骤摘要】
紫外线照射装置及紫外线照射方法
本专利技术涉及紫外线照射装置及紫外线照射方法。
技术介绍
在构成液晶显示器等的显示面板的玻璃基板上，形成有布线图案及电极图案等微细的图案。例如，这样的图案可利用光刻法等方法形成。光刻法包括以下工序：将抗蚀剂膜涂布于玻璃基板的工序，将抗蚀剂膜曝光的工序，将曝光后的抗蚀剂膜显影的工序及向显影后的抗蚀剂膜照射紫外线等光的工序(固化(cure)工序)。上述固化工序可利用向基板照射紫外线的紫外线照射装置进行。例如，专利文献1中公开了具有沿水平方向搬运基板的带式搬运机构、和向基板照射紫外线的紫外线照射机构的构成。专利文献2中公开了具有保持基板的基板保持器、向基板照射紫外线的紫外线发生源、和改变从紫外线发生源发出的紫外线的照射方向的反射板的构成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平4-97515号公报专利文献2：日本特开2006-114848号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题但是，就紫外线照射装置而言，一般考虑的是使向基板照射紫外线的照射部移动的构成。在照射部处连接有将照射部的热排出的配管。然而，对于这样的构成而言，由于在移动照射部时...
【技术保护点】
一种紫外线照射装置，包括：照射部，所述照射部能向基板照射紫外线；排气部，所述排气部具有能排出所述照射部的热的配管；和移动部，所述移动部能使所述照射部及所述配管同步移动。
【技术特征摘要】
2016.01.19 JP 2016-0077241.一种紫外线照射装置，包括：照射部，所述照射部能向基板照射紫外线；排气部，所述排气部具有能排出所述照射部的热的配管；和移动部，所述移动部能使所述照射部及所述配管同步移动。2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其中，所述排气部进一步包括排气箱，所述排气箱以能移动的方式连接所述配管，并以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，而且具有能排出来自所述配管的热的排气口。3.如权利要求2所述的紫外线照射装置，其中，所述排气部进一步包括片材，所述片材以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，并覆盖所述排气箱的内部空间，而且能随着所述配管的移动而移动。4.如权利要求3所述的紫外线照射装置，其中，所述片材以沿着所述照射部的移动方向的方式、从所述配管与所述排气箱的连接部向一侧和另一侧延伸，并且以连接成环状的方式通过同一构件形成为一体。5.如权利要求3所述的紫外线照射装置，其中，所述片材包括第一片材和第二片材，所述第一片材以沿着所述照射部的移动方向的方式、从所述配管与所述排气箱的连接部向一侧延伸，所述第二片材从所述连接部向另一侧延伸，并且能与所述第一片材同步移动。6.如权利要求4或5所述的紫外线照射装置，其中，所述片材是以包围所述内部空间的方式沿着所述排气箱的外周而配置的。7.如权利要求3～5中任一项所述的紫外线照射装置，其中，所述片材为树脂片材。8.如权利要求3～5中任一项所述的紫外线照射装置，其中，所述排气部进一步包括张紧器，所述张紧器能调节所述片材的张力。9.如权利要求3～5中任一项所述的紫外线照射装置，其中，所述排气部进一步包括引导板，所述引导板以沿着所述照射部的移动方向的方式延伸，并引导所述片材，而且形成有能使来自所述配管的热通过的贯穿孔。10.如权利要求9...
【专利技术属性】
技术研发人员：稻尾吉浩，佐藤晶彦，小针伦，小西清孝，细田浩，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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