温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及紫外线照射装置及紫外线照射方法。本发明的课题是提高将照射部的热排出的配管的寿命。实施方式的紫外线照射装置包括：照射部，所述照射部能向基板照射紫外线；排气部，所述排气部具有能排出所述照射部的热的配管；和移动部，所述移动部能使所述照射...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。